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一种高效的多晶硅还原炉的制作方法

2022-02-20 04:45:13 来源:中国专利 TAG:


1.本实用新型涉及多晶硅还原炉技术领域,具体为一种高效的多晶硅还原炉。


背景技术:

2.传统的多晶硅还原炉一般采用静置高温的方式进行还原,还原效果一般,导致还原效率较低,因此,亟待一种改进的技术来解决现有技术中所存在的这一问题。


技术实现要素:

3.本实用新型的目的在于提供一种,罩盖内部设置有转盘,转盘下表面设置有搅动板,通过转盘的转动及搅动板的配合,实现还原炉内气流的流动,从而提高还原反应的效率及效果,以解决上述背景技术中提出的问题。
4.为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种高效的多晶硅还原炉,包括底座、加热硅棒、罩盖、转盘及电机,所述底座内部设置有若干混合气体进料口,所述底座上表面还纵向设置有若干加热硅棒,所述罩盖设置于底座上表面,所述加热硅棒均设置于罩盖内,所述罩盖顶端设置有尾气排出口,所述罩盖上端内壁设置有支撑环,所述支撑环上表面支撑有转盘,所述转盘贯穿开设有若干通孔,所述转盘下表面设置有若干搅动板,所述转盘上表面设置有第一链轮,所述罩盖上表面设置有电机座,所述电机座内安装有电机,所述电机的输出轴与耐高温连接杆相连,所述耐高温连接杆穿设于罩盖上表面并位于罩盖内,所述耐高温连接杆底端通过第二链轮与耐高温链条相连,所述耐高温链条远离第二链轮一端与第一链轮相连。
5.优选的,所述支撑环外侧设置有外围环体,所述转盘的外径与外围环体的内径一致。
6.优选的,所述搅动板均沿转盘的径向布置。
7.优选的,所述底座上表面设置有密封环,所述罩盖的内径与密封环的外径一致。
8.与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
9.罩盖内部设置有转盘,转盘下表面设置有搅动板,通过转盘的转动及搅动板的配合,实现还原炉内气流的流动,从而提高还原反应的效率及效果。
附图说明
10.图1为本实用新型的结构示意图。
11.图2为转盘结构示意图。
12.图中:底座1、加热硅棒2、罩盖3、转盘4、电机5、混合气体进料口6、尾气排出口7、支撑环8、搅动板9、第一链轮10、耐高温连接杆11、第二链轮12、耐高温链条13、外围环体14、密封环15。
具体实施方式
13.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
14.需要说明的是,在本实用新型的描述中,需要说明的是,术语“内”、“外”、“上”、“下”、“两侧”、“一端”、“另一端”“左”“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。
15.请参阅图1-2,本实用新型提供一种技术方案:一种高效的多晶硅还原炉,包括底座1、加热硅棒2、罩盖3、转盘4及电机5,底座1内部设置有若干混合气体进料口6,底座1上表面还纵向设置有若干加热硅棒2,罩盖3设置于底座1上表面,底座1上表面设置有密封环15,罩盖3的内径与密封环15的外径一致,加热硅棒2均设置于罩盖3内,罩盖3顶端设置有尾气排出口7,罩盖3上端内壁设置有支撑环8,支撑环8上表面支撑有转盘4,支撑环8外侧设置有外围环体14,转盘4的外径与外围环体14的内径一致,转盘4贯穿开设有若干通孔,转盘4下表面设置有若干搅动板9,搅动板9均沿转盘4的径向布置,转盘4上表面设置有第一链轮10,罩盖3上表面设置有电机5座,电机5座内安装有电机5,电机5的输出轴与耐高温连接杆11相连,耐高温连接杆11穿设于罩盖3上表面并位于罩盖3内,耐高温连接杆11底端通过第二链轮12与耐高温链条13相连,耐高温链条13远离第二链轮12一端与第一链轮10相连。
16.使用方法及原理:先将罩盖3放置于底座1上表面,并且将罩盖3底端与密封环15相连,随后将混合气体从混合气体进料口6引入到罩盖3内,再将通过电源将各个加热硅棒2进行升温,从而使混合气体在内部进行反应,接着使还原尾气从罩盖3顶端的尾气排出口7排出,此过程中,电机5带动第二链轮12转动,第二链轮12通过耐高温链条13带动第一链轮10转动,从而带动转盘4转动,转盘4带动底部的搅动板9转动,从而使内部气体实现流动,从而提高反应效率及效果。本实用新型结构合理,罩盖3内部设置有转盘4,转盘4下表面设置有搅动板9,通过转盘4的转动及搅动板9的配合,实现还原炉内气流的流动,从而提高还原反应的效率及效果。
17.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。


技术特征:
1.一种高效的多晶硅还原炉,其特征在于:包括底座(1)、加热硅棒(2)、罩盖(3)、转盘(4)及电机(5),所述底座(1)内部设置有若干混合气体进料口(6),所述底座(1)上表面还纵向设置有若干加热硅棒(2),所述罩盖(3)设置于底座(1)上表面,所述加热硅棒(2)均设置于罩盖(3)内,所述罩盖(3)顶端设置有尾气排出口(7),所述罩盖(3)上端内壁设置有支撑环(8),所述支撑环(8)上表面支撑有转盘(4),所述转盘(4)贯穿开设有若干通孔,所述转盘(4)下表面设置有若干搅动板(9),所述转盘(4)上表面设置有第一链轮(10),所述罩盖(3)上表面设置有电机(5)座,所述电机(5)座内安装有电机(5),所述电机(5)的输出轴与耐高温连接杆(11)相连,所述耐高温连接杆(11)穿设于罩盖(3)上表面并位于罩盖(3)内,所述耐高温连接杆(11)底端通过第二链轮(12)与耐高温链条(13)相连,所述耐高温链条(13)远离第二链轮(12)一端与第一链轮(10)相连。2.根据权利要求1所述的一种高效的多晶硅还原炉,其特征在于:所述支撑环(8)外侧设置有外围环体(14),所述转盘(4)的外径与外围环体(14)的内径一致。3.根据权利要求1所述的一种高效的多晶硅还原炉,其特征在于:所述搅动板(9)均沿转盘(4)的径向布置。4.根据权利要求1所述的一种高效的多晶硅还原炉,其特征在于:所述底座(1)上表面设置有密封环(15),所述罩盖(3)的内径与密封环(15)的外径一致。

技术总结
本实用新型公开了一种高效的多晶硅还原炉,底座内部设有若干混合气体进料口,底座上表面还纵向设置有若干加热硅棒,罩盖设置于底座上表面,罩盖顶端设置有尾气排出口,罩盖上端内壁设置有支撑环,支撑环上表面支撑有转盘,转盘贯穿开设有若干通孔,转盘下表面设置有若干搅动板,转盘上表面设置有第一链轮,罩盖上表面设置有电机,电机的输出轴与耐高温连接杆相连,耐高温连接杆穿设于罩盖上表面并位于罩盖内,并通过第二链轮与耐高温链条相连,耐高温链条分别与第二链轮和第一链轮相连,该实用新型结构合理,罩盖内部设置有转盘,转盘下表面设置有搅动板,通过转盘的转动及搅动板的配合,实现还原炉内气流的流动,从而提高还原反应的效率及效果。原反应的效率及效果。原反应的效率及效果。


技术研发人员:徐建均 王强
受保护的技术使用者:南通友拓新能源科技有限公司
技术研发日:2021.09.22
技术公布日:2022/1/7
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