晶片检查装置的制作方法

技术特征：
1.一种晶片检查装置，其特征在于，包括用于搭放清洗花篮的台架(10)，以及可绕自身轴线转动地设置在台架中的滚筒(20)，所述滚筒(20)的至少外周面形成为软质层(21)，所述滚筒(20)的轴线垂直于放置在所述清洗花篮中的晶片，用于在转动时通过摩擦带动所述晶片转动。2.根据权利要求1所述的晶片检查装置，其特征在于，所述台架(10)的顶部形成有能够定位所述清洗花篮的限位部。3.根据权利要求2所述的晶片检查装置，其特征在于，所述清洗花篮的底部形成有相间隔的两个插板，所述限位部包括位于所述滚筒(20)的两侧并与所述滚筒(20)同向延伸的两个滑槽(30)，每个所述插板分别插接到相对应的所述滑槽(30)中，所述滑槽(30)由相间隔的两个同向延伸的凸条(31)形成。4.根据权利要求1所述的晶片检查装置，其特征在于，所述软质层(21)的材质为橡胶。5.根据权利要求1所述的晶片检查装置，其特征在于，还包括用于驱动所述滚筒(20)转动的驱动件。6.根据权利要求5所述的晶片检查装置，其特征在于，所述驱动件包括与所述滚筒(20)同轴连接的转盘(40)，以及立设在所述转盘(40)上的摇把(50)，所述摇把(50)偏离于所述转盘(40)的中心设置。7.根据权利要求1所述的晶片检查装置，其特征在于，所述台架(10)的位于所述滚筒(20)的轴向两端的位置分别设置有立在所述台架(10)上的挡板(60)；所述滚筒(20)包括芯轴(22)，所述软质层(21)套设在所述芯轴(22)的外侧，所述芯轴(22)两端可转动地分别插入到两个所述挡板(60)中。8.根据权利要求7所述的晶片检查装置，其特征在于，所述晶片检查装置还包括：转盘(40)，设置在所述挡板(60)的远离滚筒(20)的一侧并与所述滚筒(20)同轴设置，所述芯轴(22)两端分别穿过两个所述挡板(60)并连接在所述转盘(40)上；以及摇把(50)，立设在所述转盘(40)上，所述摇把(50)偏离于所述转盘(40)的中心设置。9.根据权利要求1所述的晶片检查装置，其特征在于，所述台架(10)上设置有能够朝向所述清洗花篮中的晶片照射的照明装置。10.根据权利要求1所述的晶片检查装置，其特征在于，所述晶片为蓝宝石晶片或晶圆基片。

技术总结
本公开涉及一种用于晶片检查的装置，包括用于搭放清洗花篮的台架(10)，以及可绕自身轴线转动地设置在台架中的滚筒(20)，所述滚筒(20)的至少外周面形成为软质层(21)，所述滚筒(20)的轴线垂直于放置在所述清洗花篮中的晶片，用于在转动时通过摩擦带动所述晶片转动，晶片在转动过程中，操作人员可以检查晶片在周向的每个位置的外观，从而确定晶片是否为良品。由于清洗花篮中可以同时放置一组多个晶片，操作人员可以一次性检查多个晶片的质量，从而能够在减少材料浪费和产能浪费的前提下对基片的质量进行有效、无接触快速地检查。无接触快速地检查。无接触快速地检查。


技术研发人员：陆继波
受保护的技术使用者：江苏吉星新材料有限公司
技术研发日：2021.08.13
技术公布日：2022/1/7