一种保压测漏系统的制作方法

1.本实用新型涉及钢瓶保压测漏的技术领域，特别是一种保压测漏系统。


背景技术：

2.电子气体，半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气，高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延，掺杂和蚀刻工艺；高纯气体主要用作稀释气和运载气。钢瓶，即贮存高压氧气、煤气、石油液化气等的钢制瓶。气体钢瓶一般盛装永久气体、液化气体或混合气体。
3.目前的电子气体大部分采用钢瓶进行存储和运输，除了对气体要求特别，对气瓶阀门的性能也有一定的要求，钢瓶阀门的接口的内外表面若存在缺陷，就会导致阀门微漏，影响后续用气方工艺。


技术实现要素：

4.针对上述缺陷，本实用新型的目的在于提出一种保压测漏系统，解决现有技术无法对钢瓶阀门气密性进行检测的问题。
5.为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：
6.一种保压测漏系统，包括主控制阀、保压进气管、气体主输入管、放空管、放空阀门和主测漏组件；
7.所述主控制阀设置于保压进气管；所述保压进气管与所述气体主输入管首尾相连；所述放空管与所述保压输出管连接，所述放空管设置有放空阀门；所述主测漏组件包括主保压输出管、主保压阀门、主压力表和主保压连接管；
8.所述主保压输出管与所述气体主输入管的输出端连接；所述主保压输出管设置有所述主保压阀门；所述主压力表设置于所述主保压输出管；所述主保压连接管设置于所述保压输出管的输出端。
9.优选的，还包括有次级测漏机构；所述次级测漏机构和所述主测漏组件并联连接于所述气体主输入管；
10.所述次级测漏机构包括气体副输入管和若干副测漏组件；
11.所述气体副输入管与所述气体主输入管的输出端连接；若干所述副测漏组件并联连接于所述气体副输入管。
12.优选的，所述副测漏组件包括副保压输出管、副保压阀门、副压力表和副保压连接管；
13.所述副保压输出管与所述气体主输入管的输出端连接；所述副保压输出管设置有所述副保压阀门；所述副压力表设置于所述副保压输出管；所述副保压连接管设置于所述保压输出管的输出端。
14.优选的，所述主保压连接管和副保压连接管均为可自由伸缩的盘管。
15.优选的，所述副测漏组件排列设置于所述气体副输入管，且若干所述副测漏组件
相隔的间距一致。
16.优选的，所述副测漏组件设置有三组，其中一组所述副测漏组件设置于所述气体副输入管的末端输出端，其余两组设置于所述气体副输入管的中部。
17.上述技术方案中的一个技术方案具有如下优点或有益效果：
18.主控制阀防止系统意外泄漏时可以快速切断氦气的输入，保证系统的安全；放空管有效保证拆卸的安全，避免高压气体对拆卸的工作造成意外，通过本保压测漏系统可以快速便捷的对钢瓶阀门进行气密性的检测，操作简单，检测精确有效且效率高，有效保证钢瓶的气密性。
附图说明
19.图1是本实用新型中一个实施例的结构连接示意图；
20.图2是本实用新型中一个实施例的次级测漏机构的连接示意图；
21.图3是本实用新型中另一个实施例的结构连接示意图。
22.其中：主控制阀1、保压进气管2、气体主输入管3、放空管4、放空阀门5、主测漏组件6、主保压输出管61、主保压阀门62、主压力表63、主保压连接管64、次级测漏机构7、气体副输入管71、副测漏组件8、副保压输出管81、副保压阀门82、副压力表83、副保压连接管84。
具体实施方式
23.下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。
24.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“纵向”、“横向”“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征，用于区别描述特征，无顺序之分，无轻重之分。
25.在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
26.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
27.下面结合图1至图3描述本实用新型实施例的一种保压测漏系统，包括主控制阀1、保压进气管2、气体主输入管3、放空管4、放空阀门5和主测漏组件6；
28.所述主控制阀1设置于保压进气管2；
29.所述保压进气管2与所述气体主输入管3首尾相连；
30.所述放空管4与所述保压输出管连接，所述放空管4设置有放空阀门5；
31.所述主测漏组件6包括主保压输出管61、主保压阀门62、主压力表63和主保压连接管64；
32.所述主保压输出管61与所述气体主输入管3的输出端连接；所述主保压输出管61设置有所述主保压阀门62；所述主压力表63设置于所述主保压输出管61；所述主保压连接管64设置于所述保压输出管的输出端。
33.具体的，在工作中，储气钢瓶在完成气体的充装后，利用本技术的保压测漏系统对钢瓶进行气密性的测试，将充满气体的钢瓶安装在主保压连接管64上，打开主控制阀1，外部的氦气从保压进气管2进入至气体输入管内，氦气经过主保压输出管61输出，打开主保压阀门62，氦气就会经过主保压连接管64与钢瓶的阀门连接，钢瓶的阀门处于关闭状态，此时氦气经过主压力表63，通过主压力表63可以测出主保压输出管61内的压力，充入一定压力的氦气(可以是300psig或以上)后，待主压力表63的读数稳定，记录主压力表63的读数，保压不低于半个小时的时间后，再次记录主压力表63的读数，对比前后两次的主压力表63的读数，压差≤5psig，表示钢瓶阀门的气密性符合要求，若压差大于5psig，则表示该钢瓶的阀门气密性不符合要求；测试结束后，打开放空阀门5，将保压气放空后拆卸钢瓶；主控制阀1控制氦气的输入和停止，防止系统意外泄漏时可以快速切断氦气的输入，保证系统的安全；通过放空管4将保压氦气放空后再拆卸钢瓶，有效保证拆卸的安全，避免高压气体对拆卸的工作造成意外，导致拆卸人员受伤；通过本保压测漏系统可以快速便捷的对钢瓶阀门进行气密性的检测，操作简单，检测精确有效且效率高，有效保证钢瓶的气密性。
34.进一步的是，还包括有次级测漏机构7；所述次级测漏机构7和所述主测漏组件6并联连接于所述气体主输入管3；所述次级测漏机构7包括气体副输入管71和若干副测漏组件8；所述气体副输入管71与所述气体主输入管3的输出端连接；若干所述副测漏组件8并联连接于所述气体副输入管71。
35.具体的，本实施例设置有次级测漏机构7，氦气经过气体主输入管3进入气体副输入管71中，并从若干副测漏组件8输出，工作人员可以同时将多个钢瓶分别安装在主测漏组件6和副测漏组件8上，可以实现多个钢瓶同时进行气密性检测，有效提高工作效率。
36.另外，在一个实施例中，在气体主输入管3连接有泄压管，泄压上设置有泄压阀，泄压阀设置一定的泄压阈值，当气体输入管的压力过大时，泄压阀的阀门就会打开，氦气就会通过泄压管向外排放氦气，从而降低气体主输入管3的气体压力，防止气体压力过大造成气体主输入管3破裂，有利于保护气体主输入管3。
37.进一步的是，所述副测漏组件8包括副保压输出管81、副保压阀门82、副压力表83和副保压连接管84；
38.所述副保压输出管81与所述气体主输入管3的输出端连接；所述副保压输出管81设置有所述副保压阀门82；所述副压力表83设置于所述副保压输出管81；所述副保压连接管84设置于所述保压输出管的输出端。
39.副测漏组件8的具体工作中，氦气在气体副输入管71中，分别进入若干副测漏组件8的副保压输出管81，当需要该组副测漏组件8进行气密性检测，就将钢瓶连接该组的副保压连接管84，然后打开改组的副保压阀门82，充入氦气稳定后读取副压力表83的读数，然后关闭副保压阀门82保压一段时间后，再次读取副压力表83的读数，相比两次的读数就可以测出该钢瓶的气密性，操作简单，检测精确有效且效率高，有效保证钢瓶的气密性。
40.进一步的是，所述主保压连接管64和副保压连接管84均为可自由伸缩的盘管。具体的，在本实施例中，主保压连接管64和副保压连接管84均为可自由伸缩的盘管，盘管采用硬盘管，不仅可以保证本系统氦气运输的气密性，而且可以根据不同钢瓶的高度和空间大小进行拉伸，方便主保压连接管64和副保压连接管84与钢瓶的连接，适应性高，安装方便快捷。
41.进一步的是，所述副测漏组件8排列设置于所述气体副输入管71，且若干所述副测漏组件8相隔的间距一致。具体的，在本实施例中，若干副测漏组件8相隔一定的距离进行排列，使得钢瓶在安装后也可以相隔一定的距离，不仅整齐有序，而且保证钢瓶之间留有足够的空间，方便工作人员进行安装和拆卸工作，避免钢瓶之间的碰撞，保证安全。
42.进一步的是，所述副测漏组件8设置有三组，其中一组所述副测漏组件8设置于所述气体副输入管71的末端输出端，其余两组设置于所述气体副输入管71的中部。具体的，在本实施例中副测漏组件8设置有三组，加上主测漏组件6一共四组，气体副输入管71的输入端与气体主输入管3连接，气体副输入管71的输出端与其中一组副测漏组件8连接，有效利用气体副输入管71的长度，可以同时进行四个钢瓶的气密性检测，有效提高工作效率。
43.根据本实用新型实施例的一种保压测漏系统的其他构成等以及操作对于本领域普通技术人员而言都是已知的，这里不再详细描述。
44.在本说明书的描述中，参考术语“实施例”、“示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
45.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。