锆合金产品上溅射耐锈蚀薄膜保护层的离子等离子体方法与流程

技术特征：
1.一种在锆合金产品上溅射耐锈蚀保护层的方法，包括将产品放置行星立式机械中，将产品加热，用水冷非平衡磁控管对产品进行离子浸蚀处理和表面活化处理，在加速电压在5000v内以及向产品给偏电压条件下用气离子发生器对于表面进行补充活化，采用剩余磁场强度0.03至0.1t通过使用非平衡磁控管和平衡磁控管同时用于溅射保护层，该方法的特征在于，被溅射保护层的产品以竖直方式放置在行星立式机械中并在溅射过程当中受到加热到150
°
с～600
°
с，同时加热器布置在产品的整个长度上。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，每一个非平衡磁控管电击功率密度为5至80w/cm2。3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，每一个平衡磁控管电击功率密度为40至600w/cm2。4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，溅射的保护层是铬制的。5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，溅射的保护层是铬合金制的，成分为сг:0
–
75％、аl:0
–
2.1％、fe:0
–
22％、ni:0
–
2.5％。

技术总结
一种使用离子等离子体方法在锆合金产品上溅射耐锈蚀薄膜保护层，该方法包括将产品放置到行星立式机械里，用水冷非平衡磁控管对产品进行加热，离子浸蚀处理和表面活化，用气离子发生器对产品表层进行补充活化，处理期间的加速电压5000V以内，产品被给偏电压，溅射保护层时同时使用剩余磁场强度0.03至0.1T的平衡磁控管和非平衡磁控管，同时溅射保护层的产品以竖直的方式放置行星立式机械中，溅射保护层时产品被加热到150℃～600℃，同时加热器位于产品全长。该方法在锆合金产品外层表层上获得均匀厚度耐锈蚀薄膜保护层，通过产品的全长均匀加热提高所制作的薄膜保护层质量，同时通过增加磁控管电击功率密度提高产能。增加磁控管电击功率密度提高产能。增加磁控管电击功率密度提高产能。


技术研发人员：弗拉迪斯拉夫
受保护的技术使用者：TVEL股份公司
技术研发日：2020.04.20
技术公布日：2022/1/6