组合磁场与内衬偏压直管和多孔挡板复合的过滤装置的制作方法

技术特征：
1.组合磁场与内衬偏压直管和多孔挡板复合的过滤装置，其特征在于，该装置包括偏压电源（1）、弧电源（2）、电弧离子镀靶源（3）、多级磁场装置（4）、多级磁场电源（5）、内衬偏压直管和多孔挡板组合装置（6）、内衬偏压电源（7）、活动线圈装置（8）、活动线圈装置电源（9）、变阻器装置（10、）样品台（11）、偏压电源波形示波器（12）和真空室（13）；该装置中：待处理基体工件置于真空室（13）内的样品台（11）上，多级磁场装置（4）、内衬偏压直管和多孔挡板组合装置（6）、活动线圈装置（8）和真空室（13）之间相互绝缘，工件放置在样品台（11），样品台（11）接偏压电源（1）的负极输出端，电弧离子镀靶源（3）安装在真空室（13）上，接弧电源（2）的负极输出端，多级磁场装置（4）的各级磁场接多级磁场电源（5）的各个输出端，内衬偏压直管和多孔挡板组合装置（6）接内衬偏压电源（7）的正极输出端，活动线圈装置（8）通过法兰口上的正负极输入端连接活动线圈装置电源（9），变阻器装置（10）与活动线圈装置（8）串联，接入与活动线圈装置电源（9）的回路中；薄膜沉积：直管的内径d大于电弧离子镀靶源（3）的外径，外径小于多级磁场装置（4）的内径，多孔挡板的外径与直管的内径相配合，通过无磁性不锈钢材料的铆钉连接固定在一起；内衬偏压直管与多孔挡板组合装置（6）的直管长度h和多级磁场装置（4）的长度相同，内衬偏压直管与多孔挡板组合装置（6）的多孔挡板间距和多级磁场装置（4）的各级磁场长度相配合；多级磁场装置（4）和内衬偏压直管与多孔挡板组合装置（6）的材料选择无磁性、耐清理的304不锈钢材料；电弧离子镀靶源（3）、多级磁场装置（4）和活动线圈装置（8）采用直接水冷方式。

技术总结
组合磁场与内衬偏压直管和多孔挡板复合的过滤装置，属于表面技术领域，本发明为解决多级磁场过滤装置中大颗粒对薄膜的污染和电弧等离子体传输过程中的损失问题。本发明的装置包括：偏压电源、电弧离子镀靶源及电源、多级磁场装置及电源、内衬偏压直管和多孔挡板组合装置及偏压电源、活动线圈装置及电源、偏压电源波形示波器和真空室；薄膜沉积：连接装置，启动系统，待真空室内的真空度小于10-4


技术研发人员：魏永强 王好平 刘源 张华阳 侯军兴 蒋志强
受保护的技术使用者：郑州航空工业管理学院
技术研发日：2018.12.29
技术公布日：2022/1/6