一种防断裂晶圆抛光装置的制作方法

1.本实用新型涉及半导体技术领域，具体为一种防断裂晶圆抛光装置。


背景技术：

2.半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件。无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的。大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联。常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，硅是各种半导体材料应用中最具有影响力的一种。晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。目前国内晶圆生产线以 8英寸和 12 英寸为主，而晶圆在进行生产前需要进行研磨，其一种防断裂晶圆抛光装置则是对晶圆加工抛光的打磨设备。
3.（1）目前晶圆抛光装置在对晶圆进行加工抛光时需要用到需要注油防止抛光盘和晶圆之间的摩擦过大而断裂，而现有的注油存在添加不均匀的情况；
4.（2）目前晶圆抛光装置在进行添加注油时比较分散，不能将注油集中在打磨区域，从而不能满足加工的需求。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供一种防断裂晶圆抛光装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
6.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种防断裂晶圆抛光装置，包括：抛光平台主体，所述抛光平台主体上端的对角处焊接连接有龙门架，且龙门架上表面开设的穿孔内螺栓连接有导架，所述导架的上端通过螺栓连接有直流电机，且导架的内壁上卡合连接有滑块件，所述滑块件竖向穿孔内套合有螺纹导杆，所述滑块件的外表面通过螺栓连接有侧板，且侧板的外表面通过螺栓连接有第一电机，并且第一电机的下端安装有抛光盘。
7.优选的，所述抛光平台主体的上表面开设有承载台，且承载台呈环形结构，所述承载台的右侧面开设有缺槽口，且缺槽口的内腔底面上螺栓连接有第二电机。
8.优选的，所述承载台的内腔底表面上焊接有挡圈件，且挡圈件和承载台的内腔底表面可形成盆体结构，所述挡圈件上环绕贯穿外壁分布有第二通孔。
9.优选的，所述承载台的内壁与挡圈件形成u型凹槽结构，且承载台的内壁与挡圈件形成的u型凹槽结构内匹配安放有注油组件。
10.优选的，所述注油组件包括凸齿、第一通孔、内圈槽和内圈板，所述注油组件的外壁上环绕分布有凸齿，且凸齿与第二电机上的转轴呈啮合连接，并且凸齿绕着第二电机上
的转轴呈圆周运动，所述注油组件上开设有内圈槽，且内圈槽的内侧固定焊接有内圈板，所述内圈板上环绕贯穿外壁分布有第一通孔。
11.优选的，所述内圈槽呈u型结构，且内圈槽的高度小于凸齿的高度。
12.优选的，所述内圈板上的第一通孔与挡圈件上的第二通孔相对应。
13.优选的，所述注油组件与承载台和挡圈件形成的u型凹槽结构相匹配。
14.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
15.（1）该防断裂晶圆抛光装置通过承载台和挡圈件形成u型槽结构，而承载台和挡圈件形成u型槽结构内放置有注油组件，接着注油组件在外壁上的凸齿和第二电机啮合转动下可将内圈槽内的油通过第一通孔环形均与洒出，然后洒出的油通过挡圈件上的第二通孔进入到挡圈件内，这样就可均匀的注油了；
16.（2）本实用新型中通过挡圈件和承载台形成的盆体结构，从而挡圈件和承载台形成的盆体结构可将第二通孔进入的油得到集中圈存。
附图说明
17.图1为本实用新型一种防断裂晶圆抛光装置的立体图；
18.图2为本实用新型一种防断裂晶圆抛光装置的俯视图；
19.图3为本实用新型一种防断裂晶圆抛光装置的抛光平台主体和挡圈件结构示意图；
20.图4为本实用新型一种防断裂晶圆抛光装置的抛光平台主体、挡圈件和注油组件结构图；
21.图5为本实用新型一种防断裂晶圆抛光装置的注油组件和第二电机结构图；
22.图6为本实用新型一种防断裂晶圆抛光装置注油组件和第二电机俯视图。
23.图中：1、龙门架，2、第一电机，3、抛光平台主体，4、滑块件，5、螺纹导杆，6、直流电机，7、导架，8、抛光盘，9、挡圈件，10、缺槽口，11、承载台，12、注油组件，121、凸齿，122、第一通孔，123、内圈槽，124、内圈板，13、第二电机，14、第二通孔，15、侧板。
具体实施方式
24.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
25.请参阅图1
‑
6，本实用新型提供一种技术方案：一种防断裂晶圆抛光装置，包括：抛光平台主体3，所述抛光平台主体3上端的对角处焊接连接有龙门架1，且龙门架1上表面开设的穿孔内螺栓连接有导架7，所述导架7的上端通过螺栓连接有直流电机6，且导架7的内壁上卡合连接有滑块件4，所述滑块件4竖向穿孔内套合有螺纹导杆5，所述滑块件4的外表面通过螺栓连接有侧板15，且侧板15的外表面通过螺栓连接有第一电机2，并且第一电机2的下端安装有抛光盘8，通过第一电机2带动抛光盘8对抛光平台主体3内的晶圆进行抛光，同时可通过注油组件12进行加油，然后注油组件12可将油通过第一通孔122均匀的抛入到挡圈件9内，这样晶圆就不会因为添加不均匀而产生断裂了。
26.所述抛光平台主体3的上表面开设有承载台11，且承载台11呈环形结构，所述承载台11的右侧面开设有缺槽口10，且缺槽口10的内腔底面上螺栓连接有第二电机13，此结构使得通过第二电机13轴上啮合的凸齿121可将注油组件12进行带动，然后注油组件12就可绕着第二电机13轴进行圆周运动，接着注油组件12可将油从第一通孔122内环型抛出，从而可均匀的进行注油。
27.所述承载台11的内腔底表面上焊接有挡圈件9，且挡圈件9和承载台11的内腔底表面可形成盆体结构，所述挡圈件9上环绕贯穿外壁分布有第二通孔14，此结构使得注油组件12可将抛洒的油通过挡圈件9上的第二通孔14进入到内腔中，然后挡圈件9和承载台11的内腔底表面形成的盆体结构就可将油进行集中收集。
28.所述承载台11的内壁与挡圈件9形成u型凹槽结构，且承载台11的内壁与挡圈件9形成的u型凹槽结构内匹配安放有注油组件12，此使得注油组件12通过第二电机13得到带动后，接着注油组件12内的油通过第一通孔122得到抛出，然后抛出的油可通过挡圈件9上的第二通孔14进入到挡圈件9内，从而晶圆和抛光盘8之间的摩擦得到减弱。
29.所述注油组件12包括凸齿121、第一通孔122、内圈槽123和内圈板124，所述注油组件12的外壁上环绕分布有凸齿121，且凸齿121与第二电机13上的转轴呈啮合连接，并且凸齿121绕着第二电机13上的转轴呈圆周运动，所述注油组件12上开设有内圈槽123，且内圈槽123的内侧固定焊接有内圈板124，所述内圈板124上环绕贯穿外壁分布有第一通孔122，此结构使得通过将准备好的油注入到注油组件12上的内圈槽123，然后通过第二电机13带动注油组件12外壁上的凸齿121进行转动，接着注油组件12可将内圈槽123内的油进行带动，然后油在惯性的作用下抛到挡圈件9的外壁上通过第二通孔14进入到挡圈件9的内侧，这样挡圈件9内侧就均匀的洒满了油，从而晶圆和抛光盘8直接的摩擦的有效的减弱，使其晶圆断裂的情况得到减少。
30.所述内圈槽123呈u型结构，且内圈槽123的高度小于凸齿121的高度，此结构使得通过凸齿121的高度高于内圈槽123的高度可有效的避免油抛洒时被甩出。
31.所述内圈板124上的第一通孔122与挡圈件9上的第二通孔14相对应，这样可使第一通孔122抛出的油可水平穿过第二通孔14进入到挡圈件9内，然后挡圈件9内腔就可通过第二通孔14得到均匀的铺设。
32.所述注油组件12与承载台11和挡圈件9形成的u型凹槽结构相匹配，这样油组件12可在承载台11和挡圈件9形成的u型凹槽结构内进行转动，从而油组件12可将油抛洒到挡圈件9内。
33.工作原理：在进行该防断裂晶圆抛光装置进行使用时，请先检查机器的部件是否有损坏，然后再对防断裂晶圆抛光装置进行正确操作使用，接着可将准备好的晶圆对准到挡圈件9与承载台11形成的腔体内，然后将晶圆缓缓放入，接着可将直流电机6进行启动，然后直流电机6可将螺纹导杆5进行顺时针旋转，接着螺纹导杆5上的滑块件4可在导架7上进行滑动，然后滑块件4可带动侧板15同时进行移动，接着侧板15可带动第一电机2向下进行移动，然后可将第一电机2进行启动，接着第一电机2可带动抛光盘8进行旋转，然后抛光盘8可对放置的晶圆的抛光处理，而需要将注油时，可将准备的油倒入到注油组件12上的内圈槽123内，接着可将第二电机13进行启动，然后第二电机13可带动啮合的凸齿121进行转动，然后凸齿121可将注油组件12在承载台11和挡圈件9形成的u型槽内进行转动，在转动的过
程中注油组件12上内圈槽123内的油随之惯性的作用进行环绕抛出，然后抛出的油通过第一通孔122水平进入到第二通孔14内，接着油通过第二通孔14进入到承载台11和挡圈件9形成的盆体结构内，然后油就均匀的洒在晶圆放置的加工位置，这样就可使晶圆和抛光盘8之间得到充分的润滑，从而不会产生断裂的情况，这就是该防断裂晶圆抛光装置的工作原理。
34.尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。