一种靶材孔位检具的制作方法

1.本实用新型属于溅射靶材技术领域，涉及一种靶材检具，尤其涉及一种靶材孔位检具。


背景技术：

2.芯片是电子设备中必不可少的重要组成部件，而芯片的制造离不开溅射靶材。在芯片的制造过程中，需要将靶材固定于溅射机台上进行磁控溅射操作，为了确保溅射的稳定性和安全性，用于固定靶材的孔位尺寸就显得尤为重要。若是孔位角度及孔径与溅射机台不相匹配，则会导致靶材无法稳定地安装在机台上。因此，有必要对溅射靶材的孔位尺寸进行检测。
3.目前，技术人员普遍采用三坐标测量机对靶材的孔位尺寸进行检测，以检测各个孔位的角度是否符合规定。但是，这种方法存在检测效率低、出错率高的问题。
4.由此可见，如何提供一种靶材孔位检具，提升检测效率，降低出错率，且适用于特定款式靶材的孔位尺寸检测，成为了目前本领域技术人员迫切需要解决的问题。


技术实现要素：

5.针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种靶材孔位检具，所述靶材孔位检具提升了检测效率，降低了出错率，且适用于特定款式靶材的孔位尺寸检测。
6.为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：
7.本实用新型提供了一种靶材孔位检具，所述靶材孔位检具包括检具主体和检具插销。
8.所述检具主体的边缘设置有限位环和检测钉。
9.所述检测钉的数量和排布与靶材标准孔位的数量和排布相适应。
10.所述检具插销包括插销柄和分别设置于所述插销柄两端的第一插销头与第二插销头。
11.所述第一插销头的直径小于靶材标准孔径。
12.所述第二插销头的直径大于靶材标准孔径。
13.本实用新型提供的靶材孔位检具在检测过程中，将靶材与检具主体相贴合。所述限位环起到了限定靶材位置的作用；所述检测钉插入靶材的下沉孔中，用以检测靶材的孔位角度及孔径是否符合靶材标准沉孔的要求；所述检具插销的两个插销头用以检测靶材的上沉孔尺寸，若第一插销头能够插入靶材的上沉孔，且第二插销头无法插入，则说明上沉孔的尺寸符合标准沉孔的要求，否则不符合要求。采用本实用新型提供的检具检测靶材孔位，提升了检测效率，降低了出错率，且适用于特定款式靶材的孔位尺寸检测。
14.优选地，所述限位环上还开设有至少1个观察槽，例如可以是1个、2个、3个或4个，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
15.优选地，所述观察槽的深度与限位环的高度之比为(1
‑
2):1，例如可以是1:1、1.1:
1、1.2:1、1.3:1、1.4:1、1.5:1、1.6:1、1.7:1、1.8:1、1.9:1或2:1，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
16.本实用新型中，所述观察槽用以观察靶材与检具主体的贴合程度，防止靶材与检具主体之间存在较大空隙。为了便于观察两者的贴合面，需要保证观察槽的深度不小于限位环的高度，否则限位环阻挡了观察视线。
17.优选地，所述限位环的高度为6
‑
10mm，例如可以是6mm、6.5mm、7mm、7.5mm、8mm、8.5mm、9mm、9.5mm或10mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
18.优选地，所述检测钉的高度为4
‑
6mm，例如可以是4mm、4.2mm、4.4mm、4.6mm、4.8mm、5mm、5.2mm、5.4mm、5.6mm、5.8mm或6mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
19.优选地，所述检测钉的直径为4
‑
6mm，例如可以是4mm、4.2mm、4.4mm、4.6mm、4.8mm、5mm、5.2mm、5.4mm、5.6mm、5.8mm或6mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
20.优选地，所述插销柄的直径为14
‑
16mm，例如可以是14mm、14.2mm、14.4mm、14.6mm、14.8mm、15mm、15.2mm、15.4mm、15.6mm、15.8mm或16mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
21.优选地，所述第一插销头的长度为5
‑
5.5mm，例如可以是5mm、5.05mm、5.1mm、5.15mm、5.2mm、5.25mm、5.3mm、5.35mm、5.4mm、5.45mm或5.5mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
22.优选地，所述第二插销头的长度为5.5
‑
6mm，例如可以是5.5mm、5.55mm、5.6mm、5.65mm、5.7mm、5.75mm、5.8mm、5.85mm、5.9mm、5.95mm或6mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
23.优选地，所述检具主体的直径为400
‑
425mm，例如可以是400mm、405mm、410mm、415mm、420mm或425mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
24.与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：
25.本实用新型提供的检具在检测靶材孔位的过程中，操作方便，检测迅速，节约了检测人力，提升了检测效率；检测准确可靠，出错率最低可降至1％，且适用于特定款式靶材的孔位尺寸检测。
附图说明
26.图1为实施例1
‑
3与对比例1提供的靶材孔位检具中检具主体的示意图；
27.图2为实施例1
‑
3与对比例1提供的靶材孔位检具中检具主体的断面图；
28.图3为实施例1
‑
3提供的靶材孔位检具中检具插销的示意图；
29.图4为实施例4提供的靶材孔位检具中检具主体的示意图。
30.其中：1
‑
限位环；2
‑
检测钉；3
‑
插销柄；4
‑
第一插销头；5
‑
第二插销头；6
‑
观察槽。
具体实施方式
31.需要理解的是，在本实用新型的描述中，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
32.需要说明的是，在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
33.下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。
34.实施例1
35.本实施例提供一种靶材孔位检具，所述靶材孔位检具用于检测sip型靶材，包括：检具主体(见图1)和检具插销(见图3)。如图2所示，所述检具主体的边缘设置有限位环1和检测钉2，所述检测钉2的数量和排布与sip型靶材标准孔位的数量和排布相适应。如图3所示，所述检具插销包括插销柄3和分别设置于所述插销柄3两端的第一插销头4与第二插销头5；所述第一插销头4的直径为9mm(小于靶材标准孔径9.2mm)，所述第二插销头5的直径为9.25mm(大于靶材标准孔径9.2mm)。
36.本实施例中，所述限位环1上还开设有2个观察槽6，且观察槽6的深度与限位环1的高度之比为1:1；所述限位环1的高度为8mm；所述检测钉2的高度为5mm，直径为5mm。
37.本实施例中，所述插销柄3的直径为15mm，第一插销头4的长度为5.25mm，第二插销头5的长度为5.75mm。
38.本实施例中，所述检具主体的直径为420mm。
39.采用本实施例提供的检具在检测sip型靶材孔位的过程中，操作方便，检测迅速，节约了检测人力，提升了检测效率；检测准确可靠，连续检测100件靶材的出错率为0。
40.实施例2
41.本实施例提供一种靶材孔位检具，所述靶材孔位检具用于检测sip型靶材，包括：检具主体(见图1)和检具插销(见图3)。如图2所示，所述检具主体的边缘设置有限位环1和检测钉2，所述检测钉2的数量和排布与sip型靶材标准孔位的数量和排布相适应。如图3所示，所述检具插销包括插销柄3和分别设置于所述插销柄3两端的第一插销头4与第二插销头5；所述第一插销头4的直径为9mm(小于靶材标准孔径9.2mm)，所述第二插销头5的直径为9.25mm(大于靶材标准孔径9.2mm)。
42.本实施例中，所述限位环1上还开设有1个观察槽6，且观察槽6的深度与限位环1的高度之比为1.5:1；所述限位环1的高度为6mm；所述检测钉2的高度为4mm，直径为4mm。
43.本实施例中，所述插销柄3的直径为14mm，第一插销头4的长度为5mm，第二插销头5的长度为5.5mm。
44.本实施例中，所述检具主体的直径为400mm。
45.采用本实施例提供的检具在检测sip型靶材孔位的过程中，操作方便，检测迅速，
节约了检测人力，提升了检测效率；检测准确可靠，连续检测100件靶材的出错率为0。
46.实施例3
47.本实施例提供一种靶材孔位检具，所述靶材孔位检具用于检测sip型靶材，包括：检具主体(见图1)和检具插销(见图3)。如图2所示，所述检具主体的边缘设置有限位环1和检测钉2，所述检测钉2的数量和排布与sip型靶材标准孔位的数量和排布相适应。如图3所示，所述检具插销包括插销柄3和分别设置于所述插销柄3两端的第一插销头4与第二插销头5；所述第一插销头4的直径为9mm(小于靶材标准孔径9.2mm)，所述第二插销头5的直径为9.25mm(大于靶材标准孔径9.2mm)。
48.本实施例中，所述限位环1上还开设有1个观察槽6，且观察槽6的深度与限位环1的高度之比为2:1；所述限位环1的高度为10mm；所述检测钉2的高度为6mm，直径为6mm。
49.本实施例中，所述插销柄3的直径为16mm，第一插销头4的长度为5.5mm，第二插销头5的长度为6mm。
50.本实施例中，所述检具主体的直径为425mm。
51.采用本实施例提供的检具在检测sip型靶材孔位的过程中，操作方便，检测迅速，节约了检测人力，提升了检测效率；检测准确可靠，连续检测100件靶材的出错率为0。
52.实施例4
53.本实施例提供一种靶材孔位检具，所述靶材孔位检具用于检测sip型靶材，包括：检具主体(见图4)和检具插销(见图3)。如图2所示，所述检具主体的边缘设置有限位环1和检测钉2，所述检测钉2的数量和排布与sip型靶材标准孔位的数量和排布相适应。如图3所示，所述检具插销包括插销柄3和分别设置于所述插销柄3两端的第一插销头4与第二插销头5；所述第一插销头4的直径为9mm(小于靶材标准孔径9.2mm)，所述第二插销头5的直径为9.25mm(大于靶材标准孔径9.2mm)。
54.本实施例中，所述限位环1的高度为8mm；所述检测钉2的高度为5mm，直径为5mm。
55.本实施例中，所述插销柄3的直径为15mm，第一插销头4的长度为5.25mm，第二插销头5的长度为5.75mm。
56.本实施例中，所述检具主体的直径为420mm。
57.相较于实施例1，本实施例并未在限位环上开设有观察槽，导致技术人员在检测过程中无法实时观察靶材与检具主体的贴合程度，给操作带来一定的不便，且降低了检测效率，最终连续检测100件靶材的出错率为1％。
58.对比例1
59.本对比例提供一种靶材孔位检具，所述靶材孔位检具用于检测sip型靶材，仅包括检具主体(见图1)。如图2所示，所述检具主体的边缘设置有限位环1和检测钉2，所述检测钉2的数量和排布与sip型靶材标准孔位的数量和排布相适应。
60.本对比例中，所述限位环1上还开设有2个观察槽6，且观察槽6的深度与限位环1的高度之比为1:1；所述限位环1的高度为8mm；所述检测钉2的高度为5mm，直径为5mm；所述检具主体的直径为420mm。
61.相较于实施例1，本对比例并未提供检具插销，导致技术人员在检测过程中无法检测靶材上沉孔的尺寸是否符合标准沉孔的要求，即采用本对比例提供的检具不能实现靶材孔位的精确检测。
62.由此可见，本实用新型提供的靶材孔位检具在检测过程中，将靶材与检具主体相贴合。所述限位环起到了限定靶材位置的作用；所述检测钉插入靶材的下沉孔中，用以检测靶材的孔位角度及孔径是否符合靶材标准沉孔的要求；所述检具插销的两个插销头用以检测靶材的上沉孔尺寸，若第一插销头能够插入靶材的上沉孔，且第二插销头无法插入，则说明上沉孔的尺寸符合标准沉孔的要求，否则不符合要求。采用本实用新型提供的检具检测靶材孔位，提升了检测效率，出错率最低可降至1％，且适用于特定款式靶材的孔位尺寸检测。
63.申请人声明，以上所述仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，所属技术领域的技术人员应该明了，任何属于本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，均落在本实用新型的保护范围和公开范围之内。