液体排出装置和液体排出方法与流程

1.本发明涉及液体排出装置和液体排出方法。


背景技术：

2.专利文献1公开了一种用于保养释放头的头保养装置，该释放头包括用于释放包含形成膜状体的膜材料的液状体的释放喷嘴。该头保养装置包括：喷嘴密封单元，其具有构成将释放喷嘴密封的空间的密封室；抽吸单元，其具有与密封室连通的抽吸管，能够通过经由该抽吸管抽吸将释放喷嘴密封的密封室的内部的气体或液体，来对经由释放喷嘴填充到释放头的上述液状体进行抽吸；和排出单元，其具有在密封室的内部和外部开口从而能够使密封室内的液状体流动到外部的排液管。密封室具有：密封室开口；底面；和形成在密封室开口的周围并与释放头抵接的密封突起部。从释放头抽吸出来的液状体，从释放喷嘴落下并滞留在上述底面上。抽吸管和排液管在重力加速度方向上，在比底面靠密封突起部的位置，在密封室开口。
3.现有技术文献
4.专利文献
5.专利文献1：日本特开2009
‑
248053号公报


技术实现要素：

6.发明要解决的技术问题
7.本发明的技术用于防止因功能液中的溶质凝集并附着在与接收从释放头释放的功能液的液体接收部连接或者对释放头内的功能液进行抽吸的排液管上，而导致功能液的抽吸性能、排出性能受损。
8.用于解决技术问题的手段
9.本发明的一个方面是一种液体排出装置，其用于将来自释放头的功能液排出，在所述释放头形成有用于向工件释放功能液的液滴的释放孔，所述液体排出装置的特征在于，具有：排液管，其用于对所述释放头内的功能液进行抽吸或者与接收从所述释放头释放的功能液的液体接收部连接；和供给管，其用于向所述排液管供给使所述排液管内的功能液流出的清洗用流体。
10.发明效果
11.采用本发明，能够防止因功能液中的溶质凝集并附着在与接收从释放头释放的功能液的液体接收部连接或者对释放头内的功能液进行抽吸的排液管上，而导致功能液的抽吸性能、排出性能受损。
附图说明
12.图1是表示包括本实施方式的液体排出装置的功能液释放装置的一个例子的概略构成的示意性侧面图。
13.图2是图1的功能液释放装置的示意性平面图。
14.图3是表示图1的功能液释放装置所具有的滑架(carriage)的概略构成的示意性平面图。
15.图4是液体排出装置的配管系统图。
16.图5是对清洗用溶剂的供给管的另一个例子进行说明的图。
17.图6是对清洗用溶剂的供给管的另一个例子进行说明的图。
18.图7是对液体排出装置的另一个例子进行说明的图。
19.图8是对液体排出装置的另一个例子进行说明的图。
20.图9是对液体排出装置的另一个例子进行说明的图。
21.图10是对液体排出装置的另一个例子进行说明的图。
22.图11是对液体排出装置的另一个例子进行说明的图。
23.附图标记说明
24.24释放头，24a释放喷嘴，70液体排出装置，100抽吸管，131冲洗用抽吸管，140供给管，200供给管，210供给管，w工件。
具体实施方式
25.本发明涉及向工件释放功能液以进行描绘的功能液释放装置和该功能液释放装置的功能液释放位置修正方法。
26.以往，作为使用功能液在工件上进行描绘的装置，已知有将该功能液以液滴形式释放(吐出、排出、喷出)的喷墨方式的功能液释放装置。功能液释放装置例如在制造有机el装置、滤色器、液晶显示装置、等离子体显示器(pdp装置)、电子发射装置(fed装置、sed装置)等电光学装置(平板显示器：fpd)时等被广泛使用。在功能液释放装置中，预先将功能液暂时储存起来，在必要的时刻从释放头的释放孔释放功能液的液滴。
27.然而，存在下述情况：在功能液的释放的待机过程中，暂时储存的功能液干燥，发生释放孔的堵塞等。作为对此的对策，专利文献1公开了一种头保养装置，其用于对包括释放孔、即释放喷嘴的释放头进行保养。该头保养装置经由释放喷嘴和排液管等对填充在释放头中的功能液进行抽吸并将其排出。
28.此外，还采用了定期地进行从释放头释放功能液的对策。在该情况下，从释放头释放的功能液，从接收了该功能液的液体接收部，经由排液管被抽吸并被排出。
29.在如上述那样经由排液管对释放头内的功能液或从释放头释放的功能液进行抽吸并将其排出的情况下，有时功能液中包含的溶质会在抽吸管内凝集并附着在排液管的内壁上。该溶质的附着，在溶质的溶解度低时、或在排液管内以颗粒状(液滴状)残留有功能液时(不是以覆盖整个管截面的方式残留，而是以仅占据管截面的一部分的方式残留时)特别常见。当溶质附着在排液管的内壁上时，会导致功能液的抽吸性能和排出性能受损。
30.此外，在从接收了从释放头释放的功能液的液体接收部经由排液管将功能液排出时，存在不使用抽吸力，而使用作用于功能液的重力进行排出的情况。在该情况下，也与使用抽吸力时同样地，会因附着在排液管的内壁上的溶质而导致功能液的排出性能受损。
31.因此，本发明的技术用于防止因功能液中的溶质凝集并附着在与接收从释放头释放的功能液的液体接收部连接或者对释放头内的功能液进行抽吸的排液管上，而导致功能
液的抽吸性能和排出性能受损。
32.下面，参照附图对本实施方式的液体排出装置和液体排出方法进行说明。在本说明书和附图中，对于具有实质上相同的功能构成的要素，通过赋予相同的附图标记，省略重复说明。
33.图1是表示包括本实施方式的液体排出装置的功能液释放装置的一个例子的概略构成的示意性侧面图。图2是图1的功能液释放装置的示意性平面图。图3是表示图1的功能液释放装置所具有的滑架的概略构成的示意性平面图。
34.在下文中，设工件的主扫描方向为x轴方向，设与主扫描方向正交的副扫描方向为y轴方向，设与x轴方向和y轴方向正交的铅垂方向为z轴方向，设绕z轴方向的转动方向为θ方向。
35.功能液释放装置1是将构成功能膜的功能液以液滴形式释放的喷墨方式的液滴释放装置。如图1和图2所示，功能液释放装置1具有：在主扫描方向(x轴方向)上延伸的x轴工作台10，其用于使工件w在主扫描方向上移动；和在副扫描方向(y轴方向)上延伸的一对y轴工作台11、11，它们以跨x轴工作台10的方式架设。在x轴工作台10的上表面，以在x轴方向上延伸的方式设置有一对x轴导轨12、12，在各x轴导轨12设置有x轴线性电动机(未图示)。在各y轴工作台11的上表面，以在y轴方向上延伸的方式设置有y轴导轨13，在该y轴导轨13设置有y轴线性电动机(未图示)。
36.在一对y轴工作台11、11上设置有滑架单元20和摄像单元30。在x轴工作台10上设置有工件台40和冲洗单元50。在x轴工作台10的外侧(y轴负方向侧)，在一对y轴工作台11、11之间设置有维护单元60。
37.在y轴工作台11上设置有多个(例如10个)滑架单元20。各滑架单元20具有滑架板21、滑架转动机构22和滑架23。
38.滑架板21由金属制的板构成，安装在y轴导轨13上，可通过设置在y轴导轨13的y轴线性电动机在y轴方向上移动。此外，也可以是使多个滑架板21一体地在y轴方向上移动。
39.在滑架板21的下表面的中央设置有滑架转动机构22，在该滑架转动机构22的下端部可拆装地安装有滑架23。滑架23可通过滑架转动机构22在θ方向上转动。
40.如图3所示，在滑架23的下表面设置有多个释放头24。释放头24例如对于r、g、b、c、m和y这6种颜色各设置有1个(共计6个)。滑架23的数量和设置在各滑架23上的释放头24的数量是任意的。
41.此外，在释放头24各自的下表面形成有多个(例如10个)释放孔、即释放喷嘴24a，功能液的液滴经由该释放喷嘴24a释放。释放喷嘴24a沿着y轴方向连续地设置。
42.返回到图1和图2的说明。
43.摄像单元30具有释放检查摄像机31。释放检查摄像机31相对于滑架23配置在x轴正方向侧。
44.释放检查摄像机31能够对工件w进行拍摄，具体而言，能够对被检查释放到工件w上的液滴的着落点等进行拍摄。释放检查摄像机31例如是线传感器。释放检查摄像机31被设置在一对y轴工作台11、11中的x轴正方向侧的y轴工作台11的侧面的基座32支承。当工件台40被引导到释放检查摄像机31的正下方时，释放检查摄像机31能够对由着落在工件台40上的工件w上的液滴形成的图案进行拍摄。
45.工件台40例如是真空吸附台，能够吸附并载置工件w。工件台40由设置在该工件台40的下表面侧的台转动机构41，以可在θ方向转动的方式支承。此外，在y轴工作台11的x轴负方向侧，在工件台40的上方设置有用于对工件台40上的工件w的对准标记进行拍摄的工件对准摄像机(未图示)。于是，能够基于由工件对准摄像机拍摄到的图像，由台转动机构41对载置在工件台40上的工件w的θ方向的位置进行修正。
46.工件台40和台转动机构41被设置在台转动机构41的下表面侧的x轴滑块42支承。x轴滑块42安装在x轴导轨12上，可通过设置在该x轴导轨12的x轴线性电动机在x轴方向上移动。因此，工件台40(工件w)也可通过x轴滑块42沿着x轴导轨12在x轴方向上移动。
47.冲洗单元50是接收来自释放头24的废弃释放的单元。在冲洗单元50，沿x轴方向排列设置有多个(例如10个)作为液体接收部的冲洗回收台51。该冲洗回收台51的数量与滑架23的数量相同，冲洗回收台51的间距与滑架23的间距也相同。
48.冲洗回收台51的上表面开口，当冲洗回收台51被引导到对应的滑架23的正下方时，冲洗回收台51接住并收纳从滑架23的释放头24释放的(冲洗的)液滴。例如，定期冲洗时释放的功能液的液滴由冲洗回收台51回收。定期冲洗是在像工件w更换时等那样暂时停止液滴的释放时进行的，从滑架23的所有释放头24进行冲洗(释放)。
49.冲洗单元50由x轴滑块52支承。x轴滑块52安装在x轴导轨12上，可通过设置在该x轴导轨12的x轴线性电动机在x轴方向上移动。因此，冲洗单元50也可通过x轴滑块52沿着x轴导轨12在x轴方向上移动。
50.维护单元60用于进行释放头24的维护，消除该释放头24的释放不良。维护单元60中，在y轴方向上排列设置有多个盖单元61。该盖单元61的数量与滑架23的数量相同，盖单元61的间距与滑架23的间距也相同。
51.盖单元61用于经由该盖单元61抽吸释放头24内的功能液。此外，当功能液释放装置1处于停止状态时，盖单元61覆盖释放头24，抑制功能液的干燥。
52.功能液释放装置1还具有液体排出装置70(参照图4)。液体排出装置70是能够经由盖单元61对释放头24内的功能液进行抽吸并将其排出的装置。液体排出装置70的构成将在后面进行说明。
53.在上述的功能液释放装置1中设置有控制部80。控制部80例如由包括cpu、存储器等的计算机构成，是计算机，并且具有数据存储部(未图示)。在数据存储部中例如存储有用于控制向工件w释放的液滴，在该工件w上描绘规定的图案的描绘数据(位图数据)等。此外，控制部80具有程序存储部(未图示)。在程序存储部中存储有用于控制功能液释放装置1中的各种处理的程序、用于控制驱动系统的动作的程序等。
54.此外，上述描绘数据和上述程序也可以是例如是存储在计算机可读取的硬盘(hd)、软盘(fd)、压缩盘(cd)、磁性光盘(mo)、存储卡等计算机可读取的存储介质中、并从该存储介质安装到控制部80。
55.接下来，简单地说明使用如以上那样构成的功能液释放装置1进行的对工件w的描绘处理。在下面的说明中，在x轴工作台10上，将比y轴工作台11靠x轴负方向侧的区域称为送入送出区域a1，将一对y轴工作台11、11之间的区域称为处理区域a2，将比y轴工作台11靠x轴正方向侧的区域称为待机区域a3。
56.首先，将工件台40配置在送入送出区域a1，由输送机构(未图示)送入到功能液释
放装置1的工件w被载置在该工件台40上。接着，由工件对准摄像机对工件台40上的工件w的对准标记进行拍摄。然后，基于该拍摄到的图像，由台转动机构41对载置在工作台40上的工件w的θ方向的位置进行修正，进行工件w的对准(步骤s1)。
57.之后，由x轴滑块42使工件台40从送入送出区域a1移动到处理区域a2。在处理区域a2中，对移动到释放头24的下方的工件w，从释放头24释放液滴。进而，使工件台40向待机区域a3侧移动，以使得工件w的整个表面通过释放头24的下方。使工件w在x轴方向上往复移动，并且使滑架单元20在y轴方向上适当地移动，从而在工件w上描绘出基于描绘数据的规定的图案(步骤s2)。
58.之后，使工件台40从待机区域a3移动到送入送出区域a1。接下来，将描绘处理结束了的工件w从功能液释放装置1送出(步骤s3)。
59.接着，将下一个工件w送入功能液释放装置1，重复进行上述的步骤s1～s3。
60.接下来，对液体排出装置70进行说明。图4是液体排出装置70的配管系统图。
61.液体排出装置70如上所述是能够经由盖单元61对释放头24内的功能液进行抽吸并将其排出的装置。盖单元61具有与每种颜色1个(共计6个)的释放头24对应的盖61a。盖61a的上表面开口。对盖单元61设置有升降机构(未图示)，由此，盖单元61能够移动至抽吸位置。通过由升降机构使盖单元61上升并使其移动至抽吸位置，能够经由盖61a各自的上表面的开口将对应的释放头24的下端插入到盖内部。在该状态下，能够经由盖61a进行释放头24内的功能液的抽吸。
62.液体排出装置70具有作为排液管的抽吸管100。抽吸管100能够对释放头24内的功能液进行抽吸，并将其排出到排液箱103，即进行排液。该抽吸管100按每个盖单元61具有与盖单元61连接的单元别配管系统101，并且具有将各单元别配管系统101和排液箱103连接的箱侧配管系统102。
63.各单元别配管系统101具有色别配管111、种别配管112和第一集管113。
64.色别配管111按每个盖61a设置，各色别配管111的上游端与对应的盖61a连接。
65.种别配管112用于按功能液的种类使色别配管111的下游侧合流。具体而言，种别配管112用于使对r和c的功能液的色别配管111的下游侧彼此、对g和m的功能液的色别配管111的下游侧彼此、或对b和y的功能液的色别配管111的下游侧彼此合流。在各种别配管112上插设有用于对该种别配管112内的流路进行开关的开关阀114。
66.各种别配管112的下游端与第一集管113连接。
67.箱侧配管系统102具有分支管121、第二集管122和主抽吸管123。
68.分支管121按每个盖单元61、即按每个单元别配管系统101设置，各分支管121的上游端与对应的盖单元61连接，即与对应的单元别配管系统101的第一集管113连接。在各分支管121上插设有用于对该分支管121内的流路进行开关的开关阀124。
69.各分支管121的下游端与第二集管122连接。
70.主抽吸管123用于使第二集管122和排液箱103连通，主抽吸管123的上游端与第二集管122连接，主抽吸管123的下游端与排液箱103连接。此外，在主抽吸管123上插设有抽吸泵125。利用抽吸泵125的抽吸力从各释放头24抽吸的功能液。被回收到排液箱103。
71.此外，液体排出装置70具有冲洗用抽吸管131。冲洗用抽吸管131的一端与冲洗单元50(的冲洗回收台51)连接，冲洗用抽吸管131的另一端与排液箱103连接，由此，使冲洗单
元50和排液箱103连通。在冲洗用抽吸管131上插设有抽吸泵132。从释放头24释放到冲洗单元50的功能液，被抽吸泵132的抽吸力抽吸到冲洗用抽吸管131，并被排出到排液箱103。在冲洗用抽吸管131的比抽吸泵132靠上游侧的位置，插设有用于对冲洗用抽吸管131内的流路进行开关的开关阀133。
72.此外，在排液箱103上连接有用于将滞留在该排液箱103的上部的气体排出的排放管134。排放管用于将排液箱103中的气体排出，并插设有排出阀135。
73.液体排出装置70还具有供给管140，供给管140用于向抽吸管100供给作为使抽吸管100内的功能液流出的清洗用流体的清洗用溶剂。
74.在本实施方式中，供给管140构成为能够向抽吸管100供给多种清洗用溶剂。具体而言，供给管140例如按每个种别配管112设置，各供给管140的上游端与具有储存清洗用溶剂的溶剂箱(未图示)等的溶剂的供给源141连接，各供给管140的下游端与对应的种别配管112连接。于是，各供给管140能够供给与在对应的种别配管112中流动的功能液的种类对应的清洗用溶剂。例如，与r和c的功能液流经的种别配管(下面，有时称为“r/c配管”)112连接的供给管140，能够供给与r和c的功能液对应的清洗用溶剂(下面，有时称为“r/c清洗用溶剂”)。与g和m的功能液流经的种别配管(下面，有时称为“g/m配管”)112连接的供给管140，能够供给与g和m的功能液对应的清洗用溶剂(下面，有时称为“g/m清洗用溶剂”)。与b和y的功能液流经的种别配管(下面，有时称为“b/y配管”)112连接的供给管140，能够供给与b和y的功能液对应的清洗用溶剂(下面，有时称为“b/y清洗用溶剂”)。
75.在各供给管140上插设有用于对该供给管140内的流路进行开关的开关阀142。
76.接下来，对释放头24内的功能液的抽吸处理和排出处理的一个例子进行说明。在下面的说明中，为了便于说明，假设抽吸处理和排出处理按每个滑架23进行。
77.首先，在控制部80的控制下，利用升降机构(未图示)将与作为抽吸对象的滑架23对应的盖单元61移动到上述的抽吸位置，将作为抽吸对象的滑架23的各释放头24的下端插入到盖61a内。在该状态下，使与作为抽吸对象的滑架23对应的开关阀124成为开状态。与此同时，使设置在r/c配管112上的开关阀114成为开状态。由此，利用抽吸泵125的抽吸力，使r和c的释放头24内的功能液经由释放喷嘴24a、盖61a和抽吸管100排出到排液箱103。
78.接下来，使与r/c配管112连接的供给管140的开关阀成为开状态，利用抽吸泵125的抽吸力等，将r/c清洗用溶剂供给到r/c配管112。由此，能够利用r/c清洗用溶剂，使残留在抽吸管100内的r和c的功能液流出到排液箱103。具体而言，能够利用r/c清洗用溶剂，使残留在r/c配管112、第一集管113、分支管121、第二集管122和主抽吸管123内的r/c功能液流出到排液箱103。从开始r/c清洗用溶剂的供给起经过规定时间之后，使与r/c配管112连接的供给管140的开关阀成为关状态。作为r/c清洗用溶剂，可以使用r和c的功能液中的溶质可溶的溶剂。
79.接着，使设置在g/m配管112上的开关阀114成为开状态。由此，能够利用抽吸泵125的抽吸力，使g和m的释放头24内的功能液经由释放喷嘴24a、盖61a和抽吸管100排出到排液箱103。
80.接下来，使与g/m配管112连接的供给管140的开关阀成为开状态，利用抽吸泵125的抽吸力等，将g/m清洗用溶剂供给到g/m配管112。由此，能够利用g/m清洗用溶剂，使残留在抽吸管100内的g和m的功能液流出到排液箱103。具体而言，能够利用g/m清洗用溶剂，使
残留在g/m配管112、第一集管113、分支管121、第二集管122和主抽吸管123内的g/m功能液流出到排液箱103。从开始g/m清洗用溶剂的供给起经过规定时间之后，使与g/m配管112连接的供给管140的开关阀成为关状态。作为g/m清洗用溶剂，可以使用g和m的功能液中的溶质可溶的溶剂。
81.接着，使设置在b/y配管112上的开关阀114成为开状态。由此，能够利用抽吸泵125的抽吸力，使b和y的释放头24内的功能液经由释放喷嘴24a、盖61a和抽吸管100排出到排液箱103。
82.接下来，使与b/y配管112连接的供给管140的开关阀成为开状态，利用抽吸泵125的抽吸力，将b/y清洗用溶剂供给到b/y配管112。由此，能够利用b/y清洗用溶剂，使残留在抽吸管100内的g和m的功能液流出到排液箱103。具体而言，能够利用b/y清洗用溶剂，使残留在g/m配管112、第一集管113、分支管121、第二集管122和主抽吸管123内的b和y的功能液流出到排液箱103。从开始b/y清洗用溶剂的供给起经过规定时间之后，使与b/y配管112连接的供给管140的开关阀成为关状态。作为b/y清洗用溶剂，可以使用b和y的功能液中的溶质可溶的溶剂。
83.这样，在本例的释放头24内的功能液的抽吸处理和排出处理中，按功能液的种类进行由抽吸管100进行的功能液的抽吸和其后的由供给管140进行的清洗用溶剂的供给。
84.如上所述，本实施方式的液体排出装置70用于将来自释放头24的功能液排出，在释放头24形成有用于向工件w释放功能液的液滴的释放喷嘴24a。此外，在本实施方式中，液体排出装置70具有：抽吸管100，其用于对释放头24内的功能液进行抽吸；和供给管140，其用于向抽吸管100供给作为使抽吸管100内的功能液流出的清洗用流体的清洗用溶剂。因此，根据本实施方式，能够防止功能液残留在抽吸管100内。特别地，根据本实施方式，能够防止功能液以颗粒状(液滴状)的形式残留在抽吸管100内。因此，能够防止因功能液中的溶质凝集并附着在抽吸管100的内壁上而导致功能液的抽吸性能和排出性能受损。
85.此外，在本实施方式中，向多种颜色的功能液混合流经的种别配管112供给清洗用溶剂。因此，具有下述效果。
86.即，当将多种颜色的功能液混合时有可能发生凝胶化，但是，存在由于空间的原因等，需要设置像种别配管112那样多种颜色的功能液混合流经的配管的情况。对此，在本实施方式中，因为向种别配管112供给清洗用溶剂，所以即使在种别配管112中发生了凝胶化，也能够使凝胶化物与功能液一起流出。
87.在使凝胶化物流出的情况下，可以使用该凝胶化物可溶的溶剂作为清洗用溶剂。
88.此外，在本实施方式中，按功能液的种类(组)进行由抽吸管100进行的功能液的抽吸和其后的由供给管140进行的清洗用溶剂的供给。具体而言，对于r和c的功能液的组、g和m的功能液的组、以及b和y的功能液的组，在不同的时刻进行由抽吸管100进行的功能液的抽吸和其后的由供给管140进行的清洗用溶剂的供给。因此，在本实施方式中，能够防止不同组的功能液彼此混合而凝胶化。例如，能够防止r和c的功能液与g和m的功能液混合而凝胶化。而且，即使按功能液的种类(组)使用不同种类的清洗用溶剂，在本实施方式中，也能够防止清洗用溶剂混合而凝胶化。
89.此外，在不会因不同组的功能液彼此的混合或不同种类的清洗用溶剂的混合而发生凝胶化等问题的情况下，可以对所有种类的功能液，同时进行由抽吸管100进行的功能液
的抽吸，也同时进行其后的由供给管140进行的清洗用溶剂的供给。
90.此外，在本实施方式中，供给管140向抽吸管100供给与抽吸管100抽吸出的功能液的种类对应的种类的清洗用溶剂。因此，能够更恰当地将抽吸管100内的功能液排出，使凝集并附着在抽吸管100的内壁上的溶质溶解并流出。
91.另外，如果不论抽吸管100抽吸出的功能液的种类如何，都能够用单一种类的清洗用溶剂将抽吸管100内的功能液排出，那么清洗用溶剂的种类可以是单一的。
92.在上述的例子中，接连地进行由抽吸管100进行的功能液的抽吸和由供给管140进行的清洗用溶剂的供给。即，是连续进行的。也可以是，取而代之，在定期的时刻(例如，每经过规定时间)进行由供给管140进行的清洗用溶剂的供给。
93.图5是对清洗用溶剂的供给管的另一个例子进行说明的图。
94.在图4的例子中，清洗用溶剂的供给管140与种别配管112连接。而图5的清洗用溶剂的供给管200与分支管121连接。
95.此外，虽然省略了图示，但是也可以是清洗用溶剂的供给管与色别配管111连接，还可以是清洗用溶剂的供给管与主抽吸管123连接。也可以是清洗用溶剂的供给管与种别配管112、分支管121、色别配管111和主抽吸管123中的任意多个连接。即，清洗用溶剂的供给管可以与种别配管112、分支管121、色别配管111和主抽吸管123中的至少任一个连接。在对抽吸管100中的多个部分分别设置并连接有清洗用溶剂的供给管的情况下，可以根据流经连接目的地的部分的功能液的种类的数量，使流通清洗用溶剂的时机不同。例如，可以使多种功能液流经的部分的清洗溶剂的供给频率，高于比其少的种类的功能液流经的部分的清洗溶剂的供给频率。
96.图6是对清洗用溶剂的供给管的另一个例子进行说明的图。
97.如图所示，清洗用溶剂的供给管210具有第一至第三供给管211～213。第一至第三供给管211～213各自的下游端与分支管121连接，第一至第三供给管211～213各自的上游端与彼此不同种类的清洗用溶剂的供给源141连接，在第一至第三供给管211～213上分别插设有开关阀142。利用该结构，供给管210能够将多种清洗用溶剂按每个种类依次连续地(顺序地)向分支管121供给。
98.在多种功能液会流经分支管121时，如果从供给管210将多种清洗用溶剂按每个种类依次连续地供给，那么无论流过分支管121的功能液的种类如何，都能够更可靠地防止功能液残留在分支管121等。
99.在上述的例子中，作为清洗用流体，使用了清洗用溶剂即清洗用液体，但是也可以使用氮气、干燥空气等清洗用气体来代替清洗用液体。
100.此外，作为清洗用流体，也可以使用清洗用液体和清洗用气体两者。在该情况下，可以在供给清洗用液体之后，供给清洗用气体。例如，在需要2种清洗用液体的情况下，有可能因清洗用液体间的反应而发生凝胶化，导致分支管121等产生堵塞。因此，在使用多种清洗用液体的情况下，通过在供给清洗用液体之后供给清洗用气体，能够防止清洗用液体残留在分支管121等的内部，其结果是，能够防止上述堵塞的发生。
101.图7是对液体排出装置的另一个例子进行说明的图。
102.在图7的例子中，在抽吸管100设置有用于供给氮气等不活泼气体的不活泼气体供给管220。
103.不活泼气体供给管220的上游端与进行不活泼气体的储存等的气体供给源221连接。不活泼气体供给管220的下游端连接到与清洗用溶剂的供给管140连接的种别配管112。此外，在不活泼气体供给管220上插设有用于对该供给管220内的流路进行开关的开关阀222。
104.通过这样设置不活泼气体供给管220，并在将功能液抽吸到抽吸管100之后到将清洗用溶剂供给到抽吸管100之前为止的期间、或在将清洗用溶剂供给到抽吸管100之后的期间，向抽吸管100供给不活泼气体，具有下述效果。即，能够将抽吸管100内的空气挤出以减少抽吸管100内的空气的量，用不活泼气体充满抽吸管100内，其结果是，能够防止残留在抽吸管100内的功能液与空气(具体而言是水分)接触而凝集。
105.在使用氮气等不活泼气体作为清洗用流体的情况下，清洗用流体的供给管和不活泼气体供给管可以共用。
106.图8是对液体排出装置的另一个例子进行说明的图。
107.在图8的例子中，在抽吸管100设置有用于使抽吸管100振动的振动机构230。
108.振动机构230可以使用例如超声波振子。此外，振动机构230具体而言，例如设置在种别配管112的外侧。
109.振动机构230使抽吸管100产生的振动可以是始终进行，也可以是仅在经由抽吸管100抽吸功能液之后，到将清洗用溶剂供给至抽吸管100之前的期间进行。
110.通过利用振动机构230使抽吸管100振动，即使在抽吸管100内残留有功能液，也能够防止残留的功能液的液滴中的溶质沉积并凝集。
111.图9是对液体排出装置的另一个例子进行说明的图。
112.在图9的例子中，多根(每种颜色1根，共计6根)色别配管111在下游端合流到第一集管113。
113.色别配管111各自以不产生大致水平的部分的方式配置。即，色别配管111配置成向下游侧去逐渐变低。利用该构成，能够使功能液难以残留在色别配管111中。
114.在多根分支管121在下游端合流到第二集管122的情况下，可以将分支管121以不产生大致水平的部分的方式配置。
115.图10是对液体排出装置的另一个例子进行说明的图。
116.在图10的例子中，在大致水平地配置的第一集管113上插设有可更换的汇流部(
バス
)250。
117.因为第一集管113大致水平地配置，所以功能液容易残留，其溶质容易凝集(结晶化)，但是，在本例中，即使凝集并附着，附着的部分也是汇流部250。如果是汇流部250，那么即使附着由溶质凝集而成的物质，也能够通过更换汇流部250来防止第一集管113发生堵塞。
118.图11是对液体排出装置的另一个例子进行说明的图。
119.在图11的例子中，设置有：检查气体供给管260，其供给用于检查配管堵塞的检查气体；和压力传感器270，其用于测量充满氮气等检查气体的抽吸管100的压力。
120.检查气体供给管260的上游端与进行检查气体的储存等的气体供给源261连接。检查气体供给管260的下游端与种别配管112连接，具体而言，设置在种别配管112上的比供给管140的连接部分靠上游侧的位置。此外，在检查气体供给管260上插设有用于对该供给管
260内的流路进行开关的开关阀262。
121.压力传感器270设置成能够测量与检查气体供给管260连接的种别配管112内的压力。压力传感器270设置在种别配管112上的、检查气体供给管260的连接部分与供给管140的连接部分之间。
122.此外，在本例中，在种别配管112上设置有用于对该种别配管112内的流路进行开关的开关阀280、290。开关阀280设置在种别配管112上的比检查气体供给管260的连接部分靠上游侧的位置，开关阀290设置在种别配管112上的比供给管140的连接部分靠下游侧的位置。
123.在检查配管堵塞时，使开关阀280、290成关状态，之后，在规定时间内从检查气体供给管260供给规定流量的检查气体，即，供给规定量的检查气体。在从检查气体供给管260供给规定量的检查气体之后，当用压力传感器270测量种别配管112内的压力时，能够基于其测量结果，来进行种别配管112是否发生堵塞的判断。该判断由控制部80进行。
124.种别配管112是否发生堵塞的判断，例如在将功能液抽吸到抽吸管100之后进行。由此，能够判断是否有需要向抽吸管100供给清洗用溶剂。此外，种别配管112是否发生堵塞的判断，也可以是在将清洗用溶剂供给到抽吸管100之后进行。由此，能够判断是否通过供给清洗用溶剂进行了恰当的清洗。
125.此外，在判断为种别配管112发生了堵塞的情况下，可以使用通知单元(未图示)进行通知。
126.如果作为清洗用流体的清洗用气体与检查气体相同，那么清洗用流体的供给管和检查气体供给管可以共用。
127.在上述的例子中，供给管140等清洗用流体的供给管，与对从释放头24内抽吸出的功能液进行抽吸并将其排出的抽吸管100连接。即，上述的例子是将本发明的技术应用于对从释放头24内抽吸出的功能液进行抽吸并将其排出的抽吸管100的例子。本发明的技术也可以应用于对从释放头24释放到冲洗单元50的功能液进行抽吸并将其排出的冲洗用抽吸管131。
128.此外，存在下述情况：在功能液释放装置中，为了维护等而设置有接收在描绘前从释放头24释放的功能液的另一个冲洗单元，为了测量功能液的重量而设置有接收从释放头24释放的功能液的测量单元。在该情况下，还可以将本发明的技术应用于对被释放到上述另一个冲洗单元、测量单元的功能液进行抽吸的抽吸管。
129.此外，在上述的例子中，对被释放到冲洗单元50、测量单元等中的功能液，经由抽吸管，利用抽吸泵132等的抽吸力进行抽吸并将其排出。也可以是取而代之，对被释放到冲洗单元50、测量单元等中的功能液，经由与该单元连接的排液管，利用作用于功能液的重力将其排出。在该情况下，可以将本发明的技术应用于上述排液管。
130.上面，对各种例示性的实施方式进行了说明，但是并不限于上述的例示性的实施方式，可以进行各种增加、省略、替换和改变。而且，可以将不同的实施方式中的要素组合来形成其它的实施方式。