一种半导体设备用测试机构的制作方法

1.本实用新型涉及半导体技术领域，特别涉及一种半导体设备用测试机构。


背景技术：

2.在半导体生产领域中，为了方便对半导体设备中的半导体芯片进行测试，所以测试机构是十分必要的。
3.以往的测试机构存在以下缺点：1、不能方便带动机械手水平竖直移动和转动，从而对半导体芯片进行上下料；2、测试用的平台不能方便在不使用时进行收合；3、不具备能方便对测试用电器的供电线进行导向的结构。为此，我们提出一种半导体设备用测试机构。


技术实现要素：

4.本实用新型的主要目的在于提供一种半导体设备用测试机构，可以有效解决背景技术中的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：
6.一种半导体设备用测试机构，包括底座、立柱、顶板、放置台和万用表，所述底座顶部通过安装槽安装有立柱且立柱顶部焊接有顶板，所述顶板底部通过螺栓安装有电动位移滑台且电动位移滑台的位移端底部连接有伺服电缸，所述伺服电缸的动力输出端连接有固定框板，所述固定框板内顶部通过固定座安装有转动电机，所述转动电机的动力输出端贯穿固定框板且底部连接有机械手本体，所述立柱一端焊接有导轨，所述导轨内套设有导块，所述立柱顶端一侧通过紧固螺钉连接有导管。
7.进一步地，所述放置台位于机械手本体下端，所述放置台端部一侧连接有转轴，所述导块一侧通过预留孔安装有轴套且转轴位于轴套内，所述轴套一端通过螺孔安装有锁紧螺钉，所述转轴一端和底部均开设有与锁紧螺钉对应的螺纹孔。
8.进一步地，所述导轨一侧开设有预留孔，所述预留孔内设置有锁紧螺栓，所述导块端部一侧开设有与锁紧螺栓对应的螺纹槽，所述预留孔的数量具体设置为多组且沿导轨的高度方向呈均匀分布。
9.进一步地，所述放置台顶部两端均焊接有固定块，所述固定块顶部通过柔性金属管连接有测试电极，所述测试电极的电力输出端与万用表的电力输入端通过导线构成电连接。
10.进一步地，所述底座顶部两端均开设有安装孔，所述底座与立柱连接拐角处焊接有加强板。
11.进一步地，所述立柱一端通过连接杆连接有plc控制器，所述plc控制器的电力输出端与电动位移滑台、伺服电缸、转动电机和机械手本体的电力输入端通过导线构成电连接。
12.与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：
13.1.本实用新型一种半导体设备用测试机构，电动位移滑台、伺服电缸、固定框板和
机械手本体均连接外部电源进行供电，人员通过控制plc控制器，方便对电动位移滑台、伺服电缸、转动电机和机械手本体进行控制，利用电动位移滑台、伺服电缸、转动电机和机械手本体的共同作用，可以带动机械手水平竖直移动和转动，从而可以对半导体芯片进行上下料。
14.2.本实用新型一种半导体设备用测试机构，利用机械手本体将芯片夹持放置在放置台顶部，利用测试电极分别连接半导体设备的待检测电路，从而可以利用万用表对半导体设备进行检测，在轴套内转动转轴，再利用锁紧螺钉与转轴一端或底部的螺纹孔锁紧连接，从而可以使得放置台进行转动且固定，进而可以在需要时对放置台旋转至与导轨平行的角度，在导轨内滑动导块，再利用锁紧螺栓穿过导轨一侧不同的预留孔，与导块端部一侧的螺纹槽配合连接，从而方便将导块固定在不同的高度，便于在不对本测试机构使用时放置台进行收合，减小本测试机构的占用空间。
15.3.本实用新型一种半导体设备用测试机构，利用立柱顶部一端通过紧固螺钉固定安装的导管，方便对供电线进行穿线，进而使得本测试机构具备能方便对测试用电器的供电线进行导向的结构，使得供电线更加整齐，防止缠绕。
附图说明
16.图1为本实用新型一种半导体设备用测试机构的整体结构示意图。
17.图2为本实用新型一种半导体设备用测试机构的导管结构示意图。
18.图3为本实用新型一种半导体设备用测试机构的轴套和转轴连接结构示意图。
19.图中：1、底座；2、安装孔；3、立柱；4、加强板；5、plc控制器；6、顶板；7、电动位移滑台；8、伺服电缸；9、固定框板；10、转动电机；11、机械手本体；12、导轨；13、预留孔；14、锁紧螺栓；15、放置台；16、万用表；17、固定块；18、柔性金属管；19、测试电极；20、导管；21、紧固螺钉；22、轴套；23、锁紧螺钉；24、转轴；25、螺纹孔；26、导块。
具体实施方式
20.为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。
21.如图1
‑
3所示，一种半导体设备用测试机构，包括底座1、立柱3、顶板6、放置台15和万用表16，所述底座1顶部通过安装槽安装有立柱3且立柱3顶部焊接有顶板6，所述顶板6底部通过螺栓安装有电动位移滑台7且电动位移滑台7的位移端底部连接有伺服电缸8，所述伺服电缸8的动力输出端连接有固定框板9，所述固定框板9内顶部通过固定座安装有转动电机10，所述转动电机10的动力输出端贯穿固定框板9且底部连接有机械手本体11，所述立柱3一端焊接有导轨12，所述导轨12内套设有导块26，所述立柱3顶端一侧通过紧固螺钉21连接有导管20。
22.其中，所述放置台15位于机械手本体11下端，所述放置台15端部一侧连接有转轴24，所述导块26一侧通过预留孔安装有轴套22且转轴24位于轴套22内，所述轴套22一端通过螺孔安装有锁紧螺钉23，所述转轴24一端和底部均开设有与锁紧螺钉23对应的螺纹孔25。
23.本实施例中如图1和图3所示，在轴套22内转动转轴24，再利用锁紧螺钉23与转轴
24一端或底部的螺纹孔25锁紧连接，从而可以使得放置台15进行转动且固定，进而可以在需要时对放置台15旋转至与导轨12平行的角度，对放置台15进行收合，减小本测试机构的占用空间。
24.其中，所述导轨12一侧开设有预留孔13，所述预留孔13内设置有锁紧螺栓14，所述导块26端部一侧开设有与锁紧螺栓14对应的螺纹槽，所述预留孔13的数量具体设置为多组且沿导轨12的高度方向呈均匀分布。
25.本实施例中如图1和图3所示，在导轨12内滑动导块26，再利用锁紧螺栓14穿过导轨12一侧不同的预留孔13，与导块26端部一侧的螺纹槽配合连接，从而方便将导块26固定在不同的高度。
26.其中，所述放置台15顶部两端均焊接有固定块17，所述固定块17顶部通过柔性金属管18连接有测试电极19，所述测试电极19的电力输出端与万用表16的电力输入端通过导线构成电连接。
27.本实施例中如图1所示，利用测试电极19分别连接半导体设备的待检测电路，从而可以利用万用表16对半导体设备进行检测，利用柔性金属管18，可以方便对测试电极19的角度进行调节。
28.其中，所述底座1顶部两端均开设有安装孔2，所述底座1与立柱3连接拐角处焊接有加强板4。
29.本实施例中如图1所示，利用外部螺栓穿过安装孔2，方便将底座1固定安装在待安装面上。利用加强板4，可以提升底座1和立柱3连接处的整体强度。
30.其中，所述立柱3一端通过连接杆连接有plc控制器5，所述plc控制器5的电力输出端与电动位移滑台7、伺服电缸8、转动电机10和机械手本体11的电力输入端通过导线构成电连接。
31.本实施例中如图1所示，人员通过控制plc控制器5，方便对电动位移滑台7、伺服电缸8、转动电机10和机械手本体11进行控制。
32.需要说明的是，本实用新型为一种半导体设备用测试机构，工作时，电动位移滑台7、伺服电缸8、固定框板9和机械手本体11均连接外部电源进行供电，人员通过控制plc控制器5，方便对电动位移滑台7、伺服电缸8、转动电机10和机械手本体11进行控制，利用电动位移滑台7、伺服电缸8、转动电机10和机械手本体11的共同作用，可以带动机械手水平竖直移动和转动，从而可以对半导体芯片进行上下料，利用机械手本体11将芯片夹持放置在放置台15顶部，利用测试电极19分别连接半导体设备的待检测电路，从而可以利用万用表16对半导体设备进行检测，在轴套22内转动转轴24，再利用锁紧螺钉23与转轴24一端或底部的螺纹孔25锁紧连接，从而可以使得放置台15进行转动且固定，进而可以在需要时对放置台15旋转至与导轨12平行的角度，在导轨12内滑动导块26，再利用锁紧螺栓14穿过导轨12一侧不同的预留孔13，与导块26端部一侧的螺纹槽配合连接，从而方便将导块26固定在不同的高度，便于在不对本测试机构使用时放置台15进行收合，减小本测试机构的占用空间，利用立柱3顶部一端通过紧固螺钉21固定安装的导管20，方便对供电线进行穿线，进而使得本测试机构具备能方便对测试用电器的供电线进行导向的结构，使得供电线更加整齐，防止缠绕。
33.以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行
业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。