液态树脂精密定量供给装置的制作方法

1.本技术涉及半导体制备技术领域，尤其涉及一种液态树脂精密定量供给装置。


背景技术：

2.粉体状或者固体颗粒状环氧树脂，在芯片封装过程中，粉体状环氧树脂容易引起粉尘在晶圆封装中容易对洁净室造成污染、粉体供给量较难精密控制导致产品不良发生；固体颗粒状树脂在晶圆级封装或者面板级封装中树脂的流动性较难控制、容易发生局部的树脂充填不足或者过多、树脂流速难以控制还容易导致芯片的位置偏移、造成不良高发。由此，导致粉体状或者固体状环氧树脂在晶圆级或者面板级封装中的应用受到比较大的限制。
3.液体状树脂避免了粉体或者固体颗粒状树脂的缺点，但是由于液态树脂粘性大，容易粘容器内壁，出料时呈线状，不易从容器上脱落，导致难以控制液态树脂的供给量。


技术实现要素：

4.有鉴于此，本技术提出了一种液态树脂精密定量供给装置，其使得料筒内挤出的液态环氧树脂由粗线糊状变为纤细如丝，并通过反复的上下往复运动，到达断丝的目的，确保了供给量的自动控制。
5.根据本技术的一方面，提供了一种液态树脂精密定量供给装置，包括安装架、料筒固定机构、挤出机构和升降机构；
6.其中，所述升降机构安装在所述安装架上，所述升降机构沿竖直方向做往复运动；
7.所述料筒固定机构安装在所述升降机构上，所述升降机构带动所述料筒固定机构沿竖直方向往复运动，所述料筒固定机构适用于安装料筒；
8.所述挤出机构固定安装在所述升降机构上，所述挤出机构位于所述料筒固定机构的上方，所述挤出机构适用于沿竖直方向挤压所述料筒的内部的物料。
9.在一种可能的实现方式中，所述升降机构包括升降组件和安装面板；
10.所述升降组件固定安装在所述安装架上，所述安装面板固定安装在所述升降组件上，所述升降组件控制所述安装面板沿竖直方向往复运动；
11.所述安装面板的板面水平设置，所述挤出机构固定安装在所述安装面板的顶部板面上，所述料筒固定机构安装在所述安装面板的底部板面上，且所述料筒固定机构部分贯穿所述安装面板的板面。
12.在一种可能的实现方式中，所述安装架包括第一架体和第二架体，所述升降组件包括升降电机和连接块；
13.所述第一架体和所述第二架体间隔设置，所述升降电机固定安装在所述第一架体朝向所述第二架体的一侧；
14.所述连接块固定安装在所述升降电机的升降端上；
15.所述安装面板呈“u”形板状，所述安装面板的“u”口朝下设置，所述安装面板的一
侧板面与所述连接块固定连接；
16.所述安装面板的另一侧板面上设有滑块；
17.所述第二架体朝向所述第一架体的一侧上设有滑道，所述滑块与所述滑道滑动连接。
18.在一种可能的实现方式中，所述料筒固定机构包括旋转电机、转动轴和安装组件；
19.所述旋转电机固定安装在所述升降机构上，所述旋转电机的输出轴朝下设置，所述转动轴与所述旋转电机的输出轴固定连接；
20.所述安装组件安装在所述转动轴的轴身上；
21.所述安装组件的外侧壁上设有两个以上的安装部，两个以上的所述安装部绕所述安装组件的中轴线分布，所述安装部适用于安装所述料筒。
22.在一种可能的实现方式中，所述升降机构上固定有第一支撑件，所述转动轴固定安装在所述第一支撑件上，所述转动轴贯穿所述第一支撑件设置；
23.所述安装组件安装在所述转动轴贯穿所述第一支撑件的一侧轴身上，所述转动轴贯穿所述第一支撑件的一端固定有第二支撑件；
24.所述第二支撑件用于支撑所述安装机构。
25.在一种可能的实现方式中，所述挤出机构包括挤出驱动组件和挤压杆组件，所述挤出驱动组件安装在所述升降机构上，所述挤出驱动组件位于所述料筒固定机构的上方，所述升降机构驱动所述挤出驱动组件沿竖直方向做往复运动；
26.所述挤压杆组件固定安装在所述挤出驱动组件上，所述挤出驱动组件驱动所述挤压杆组件沿竖直方向往复运动；
27.所述挤压杆组件适用于挤压所述料筒内部的物料。
28.在一种可能的实现方式中，所述挤出驱动组件包括电缸、安装块和支撑架；
29.所述支撑架固定安装在所述升降机构上，所述电缸竖直固定安装在所述支撑架未与所述升降机构安装的一侧；
30.所述安装块固定安装在所述电缸的升降端上，所述挤压杆组件竖直固定安装在所述安装块上。
31.在一种可能的实现方式中，所述挤压杆组件包括杆体、位置传感器和挤压头；
32.所述杆体竖直固定在所述挤出驱动组件上，所述挤压头固定安装在所述杆体的底部，以使所述杆体和所述挤压头呈活塞状连接；
33.所述位置传感器固定安装在所述杆体的顶部，用于检测所述杆体的位置。
34.在一种可能的实现方式中，还包括闭合组件；
35.所述闭合组件固定安装在所述安装架上，所述闭合组件位于所述料筒固定机构下方区域处，所述闭合组件适用于闭合所述料筒的出料口。
36.在一种可能的实现方式中，还包括称重机构，所述称重机构设置在所述料筒固定机构的底部，所述称重机构的顶部适用于放置晶圆。
37.本技术实施例液态树脂精密定量供给装置用于对液态环氧树脂进行精密的定量供给，其包括安装架、料筒固定机构、挤出机构和升降机构，将升降机构安装在安装架上，挤出机构和料筒固定机构安装在升降机构上，且挤出机构在上，料筒固定机构在下，将料筒安装在料筒固定机构上即可完成安装。在液态环氧树脂进行供给时，首先使得料筒处于挤出
机构的下方，挤压机构沿竖直方向做直线往复运动，对料筒内部的液体环氧树脂进行挤压，使得液态环氧树脂流快速至晶圆上。在液态环氧树脂流动至所需重量时，减小挤出机构挤压液态环氧树脂的速度，并通过升降机构驱动料筒固定机构和挤出机构整体进行上下移动，从而使得料筒中挤出的液态环氧树脂变得纤细如丝，并且通过反复的上下往复运动，达到断丝的目的，保证了液态环氧树脂供给量处于设定的公差范围内，且也可以避免液态环氧树脂粘在料筒的内壁、料筒的出料口处不脱落的问题。综上所述，本技术实施例通过挤出机构能够控制挤压料筒内部的液态环氧树脂的速度，使得在液态环氧树脂快接近所需重量时，减小挤压的速度，并通过升降机构控制料筒固定机构和挤出机构进行上下移动，使得料筒内挤出的液态环氧树脂由粗线糊状变为纤细如丝，并通过反复的上下往复运动，到达断丝的目的，确保了供给量的自动控制。
38.根据下面参考附图对示例性实施例的详细说明，本技术的其它特征及方面将变得清楚。
附图说明
39.包含在说明书中并且构成说明书的一部分的附图与说明书一起示出了本技术的示例性实施例、特征和方面，并且用于解释本技术的原理。
40.图1示出本技术实施例的液态树脂精密定量供给装置的主体结构图；
41.图2示出本技术实施例的液态树脂精密定量供给装置的挤出机构和称重机构的结构图；
42.图3示出本技术实施例的液态树脂精密定量供给装置的升降机构和料筒固定机构的结构图。
具体实施方式
43.以下将参考附图详细说明本技术的各种示例性实施例、特征和方面。附图中相同的附图标记表示功能相同或相似的元件。尽管在附图中示出了实施例的各种方面，但是除非特别指出，不必按比例绘制附图。
44.其中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本新型或简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本新型的限制。
45.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
46.在这里专用的词“示例性”意为“用作例子、实施例或说明性”。这里作为“示例性”所说明的任何实施例不必解释为优于或好于其它实施例。
47.另外，为了更好的说明本技术，在下文的具体实施方式中给出了众多的具体细节。本领域技术人员应当理解，没有某些具体细节，本技术同样可以实施。在一些实例中，对于
本领域技术人员熟知的方法、手段、元件和电路未作详细描述，以便于凸显本技术的主旨。
48.图1示出本技术实施例的液态树脂精密定量供给装置的主体结构图。图2 示出本技术实施例的液态树脂精密定量供给装置的挤出机构和称重机构的结构图。图3示出本技术实施例的液态树脂精密定量供给装置的升降机构和料筒固定机构的结构图。如图1、图2或图3所示，该液态树脂精密定量供给装置包括：安装架100、料筒固定机构200、升降机构300和挤出机构400，其中，升降机构300安装在安装架100上，升降机构300能够沿竖直方向做往复直线运动。料筒固定机构200安装在升降机构300上，升降机构300能够带动料筒固定机构200沿竖直方向做往复直线运动，料筒固定机构200上可以安装料筒。挤出机构400固定安装在升降机构300上，挤出机构400位于所述料筒固定机构200的上方，挤出机构400沿竖直方向挤压料筒内的物料。
49.本技术实施例液态树脂精密定量供给装置用于对液态环氧树脂进行精密的定量供给，其包括安装架100、料筒固定机构200、挤出机构400和升降机构300，将升降机构300安装在安装架100上，挤出机构400和料筒固定机构 200安装在升降机构300上，且挤出机构400在上，料筒固定机构200在下，将料筒安装在料筒固定机构200上即可完成安装。在液态环氧树脂进行供给时，首先使得料筒处于挤出机构400的下方，挤压机构沿竖直方向做直线往复运动，对料筒内部的液体环氧树脂进行挤压，使得液态环氧树脂流快速至晶圆上。在液态环氧树脂流动至所需重量时，减小挤出机构400挤压液态环氧树脂的速度，并通过升降机构300驱动料筒固定机构200和挤出机构400整体进行上下移动，从而使得料筒中挤出的液态环氧树脂变得纤细如丝，并且通过反复的上下往复运动，达到断丝的目的，保证了液态环氧树脂供给量处于设定的公差范围内，且也可以避免液态环氧树脂粘在料筒的内壁、料筒的出料口处不脱落的问题。综上所述，本技术实施例通过挤出机构400能够控制挤压料筒内部的液态环氧树脂的速度，使得在液态环氧树脂快接近所需重量时，减小挤压的速度，并通过升降机构300控制料筒固定机构200和挤出机构400 进行上下移动，使得料筒内挤出的液态环氧树脂由粗线糊状变为纤细如丝，并通过反复的上下往复运动，到达断丝的目的，确保了供给量的自动控制。
50.此处，应当指出的是，在一种可能的实现方式中，可以通过使用有刻度的料筒600来确定晶圆上的环氧树脂是否接近所需重量，也可以通过监控体积的方式来确定，也可以通过监控时间的方式确定液态环氧树脂是否接近所需重量，此处，不做赘述。
51.在一种可能的实现方式中，升降机构300包括升降组件310和安装面板 320，升降组件310固定安装在安装架100上，安装面板320固定安装在升降组件310上，升降组件310控制安装面板320沿竖直方向往复运动。安装面板320 的板面水平设置，挤出机构400固定安装在安装面板320的顶部板面上，料筒固定机构200安装在安装面板320的底部板面上，且料筒固定机构200部分贯穿安装面板320的板面上。由此，通过设置安装面板320给挤出机构400和料筒固定机构200提供了安装空间，并且通过升降组件310控制安装面板320进行上下移动，由此，可以控制挤出机构400和料筒固定机构200进行上下移动，由此，进一步的优化了本技术实施例的挤出机构400的结构。
52.更进一步的，在一种可能的实现方式中，安装架100包括第一架体110和第二架体120，升降组件310包括升降电机311和连接块312，第一架体110和第二架体120间隔且相对设置，升降电机311固定安装在第一架体110朝向第二架体120的一侧，连接块312固定安装
在升降电机311的升降端上。安装面板320呈“u”形板状，安装面板320的“u”口朝下设置，安装面板320的一侧板面与连接块312固定连接，安装面板320的另一侧板面上设有滑块330，第二架体120朝向第一架体110的一侧上设有滑道340，滑块330与滑道340滑动连接。由此，通过将安装面板320设置为“u”形板状可以加强结构上的稳定性能，且通过滑块330和滑动的设置使得安装面板320的滑动更加的流畅。此处，应当指出的是，升降电机311为本领域技术人员的常规技术手段，此处，不做赘述。
53.此处，应当指出的是，在一种可能的实现方式中，连接块312设有两个，两个连接块312由下至上依次连接在升降电机311的升降端上，且连接块312 背离升降电机311的升降端的一侧与安装面板320固定连接。由此，进一步的提升了连接的稳定性能，使得安装面板320的安装结构更加的稳固。
54.在一种可能的实现方式中，料筒固定机构200包括旋转电机210、转动轴 220和安装组件230，其中，旋转电机210固定安装在升降机构300上，旋转电机210的输出轴朝下设置，转动轴220与旋转电机210的输出轴固定连接。安装组件230安装在转动轴220的轴身上，安装组件230的外侧壁上设有两个以上的安装部231，两个以上的安装部231绕安装组件230的中轴线绕轴分布，安装部231用于安装料筒600。由此，可以在安装组件230上安装多个料筒600，在需要使用其中的一个料筒600时，通过旋转电机210将料筒600旋转至挤出机构400即可，由此，可以提高工作的效率。
55.更进一步的，在一种可能的实现方式中，升降机构300上固定有第一支撑件800，转动轴220固定安装在第一支撑件800上，转动轴220贯穿第一支撑件800设置。安装组件230安装在转动轴220贯穿第一支撑件800的一侧轴身上，转动轴220贯穿第一支撑件800的一端固定由第二支撑件900，第二支撑件900 用于支撑安装组件230。由此，进一步的增强了本技术实施例的安装组件230 的安装稳定性能。
56.此处，应当指出的是，在一种可能的实现方式中，在升降机构300包括安装面板320时，第一支撑件800固定安装在安装面板320的底部，安装面板 320的板面上开设有贯穿孔，贯穿孔与第一支撑件800同轴设置，旋转电机210 穿过贯穿孔安装在第一支撑件800上。
57.更进一步的，在一种可能的实现方式中，第一支撑件800呈块状，第一支撑件800上开设有阶梯孔，且阶梯孔与旋转电机210的输出轴同轴设置。阶梯孔朝向顶部的孔口直径大于阶梯孔朝向底部的孔口直径。转动轴220上套设有转动轴220承，且转动轴220承与位于底部位置处的阶梯孔相匹配。
58.更进一步的，在一种可能的实现方式中，旋转电机210的输出轴与转动轴220通过联轴器连接，且联轴器上套设有轴承，且联轴器上的轴承与位于顶部位置处的阶梯孔相匹配。更进一步的，阶梯孔为三级阶梯孔。
59.此处，还应当指出的是，在一种可能的实现方式中，安装组件230呈圆盘状，且安装组件230上设有贯穿盘面设置的通孔，且通孔与转动轴220相匹配。安装组件230的侧壁上开设有凹槽，凹槽绕安装组件230的外侧壁轴线开设，由此，减少了安装组件230的重量，由此减少了升降组件310的承重，增加了本技术实施例的使用寿命。安装组件230的底部板面上开设有安装槽，第二支撑件900包括伸入部和抵接部，其中，伸入部的结构与安装槽的结构相匹配，且伸入部上开设有与转动轴220相匹配的伸入孔。抵接部呈环状，且抵接部设置在伸入部背离第一支撑件800的一侧，抵接部绕伸入部的外壁周向设置，且抵接部的底部平面
与伸入部的底部平面平齐设置。由此，优化了本技术实施例的结构，进一步的减少了安装组件230的重量，使得安装组件230的安装更加的稳固。此处，抵接部上可以开设有透孔，且透孔与转动轴220相匹配。此处，安装组件230的直径大于安装面板320的宽度。
60.此处，还应当指出的是，在一种可能的实现方式中，安装组件230可以采用过盈配合的方式安装在转动轴220上，也可以采用销连接、螺纹连接、焊接的方式与转动轴220连接，此处，不做详细赘述。第二支撑件900也可以通过过盈配合、销连接、螺纹连接、焊接的方式与转动轴220连接，此处，不做赘述。
61.此处，还应当指出的是，在一种可能的实现方式中，每个安装部231均包括第一安装件和第二安装件，且第一安装件和第二安装件分别设置在安装组件230的凹槽的两侧，且第一安装件和第二安装件沿竖直方向分依次分布。由此，使得料筒600的安装更加的稳固。
62.此处，还应当指出的是，在一种可能的实现方式中，第一安装件包括固定件、定卡接件和动卡接件，其中，固定件呈块状，且固定件固定安装在安装组件230上，定卡接件呈半圆弧状，固定件背离安装组件230的一侧开设有与定卡接件相匹配的弧形槽，定卡接件固定安装在弧形槽内，且定卡接件的开口背离安装组件230设置。动卡接件呈与定卡接件相匹配的半圆弧状，且动卡接件的一端与定卡接件的一端转动连接，即可以为铰接。动卡接件的另一端上可以设有卡接部，定卡接件的另一端上开设有卡接孔，卡接部与卡接孔相匹配。此处，动卡接部也可以为卡接带，定卡接部上的另一端设有卡扣，在安装料筒600时，将卡接带安装在开口上即可。
63.在另一种可能的实现方式中，定卡接件的两端可以设置有卡钩，动卡接件成带状，动卡接件的两端固定有连接环，在安装料筒600时，连接环一一对应的卡接在卡钩上。
64.在一种可能的实现方式中，挤出机构400包括挤出驱动组件410和挤压杆组件420，挤出驱动组件410安装在升降机构300上，挤出驱动组件410位于料筒固定机构200的上方，升降机构300驱动挤出驱动组件410沿竖直方向做往复直线运动。挤压杆组件420固定安装在驱动组件410上，挤出驱动组件410 能够驱动挤压杆组件420沿竖直方向做往复直线运动，挤压杆组件420用于挤压料筒600内壁的物料。由此，可以通过挤出驱动组件410控制挤压杆组件420 挤压料筒600内的液态环氧树脂的速度。
65.更进一步的，在一种可能的实现方式中，挤出驱动组件410包括电缸412、安装块413和支撑架411，支撑架411固定安装在升降机构300上，电缸412竖直固定安装在支撑架411未与升降机构300安装的一侧。安装块413固定安装在电缸412的升降端上，挤压杆组件420竖直固定安装在安装块413上。由此，可以通过支撑架411的设置使得电缸412更加的稳定，通过电缸412控制安装块413的上升、下降由此，控制安装在安装块413上的挤压杆组件420的上升和下降。
66.此处，应当指出的是，在一种可能的实现方式中，支撑架411呈“l”形的板面，支撑架411的一端板面固定安装在安装面板320上，电缸412固定安装在支撑架411与安装面板320垂直的板面上，且电缸412的升降端竖直设置。
67.在一种可能的实现方式中，挤压杆组件420包括杆体422、位置传感器423 和挤压头421，其中，杆体422竖直固定在挤出驱动组件410上，挤压头421固定安装在杆体422的底部，以使杆体422和挤压头421呈活塞状连接。位置传感器423固定安装在杆体422的顶部，用于检测杆体422所处的位置。本技术实施例将杆体422和挤压头421做成活塞状，可以更加方
便的对料筒600内部的液态环氧树脂进行挤压，通过设置位置传感器423可以实时的检测杆体422 所处的位置，防止了杆体422运动过量或者运动幅度过小，可以进一步提高挤压的精准性能。
68.此处，应当指出的是，位置传感器423可以采用本领域技术人员的常规技术手段，此处，不做赘述。
69.此处，还应当指出的是，在一种可能的实现方式中，杆体422可以与安装块413螺纹连接，也可以采用卡接的方式连接。
70.此处，还应当指出的是，在一种可能的实现方式中，挤压头421呈圆柱形的块状，且挤压头421的一端设有向外凸起设置。
71.在一种可能的实现方式中，还包括闭合组件700，闭合组件700固定安装在安装架100上，且闭合组件700位于料筒固定机构200的下方区域处，闭合组件700用于闭合料筒600的出料口。通过设置闭合组件700可以在一个晶圆封装完成后闭合料筒600的出料口，进一步的防止了料筒600内部的液态环氧树脂流出。
72.此处，应当指出的是，在一种可能的实现方式中，闭合组件700可以为气缸夹爪，料筒600的出料口为软管结构，由此，可以使用气缸驱动气缸夹爪夹持料筒600的出料管，由此，达到闭合出料口的目的。
73.在一种可能的实现方式中，还包括称重机构500，称重机构500设置在料筒固定机构200的底部，既设置在料筒固定机构200安装的料筒600的出料口的底部，称重机构500的顶部适用于放置晶圆。由此，挤出机构400中的挤压头421挤压出料筒600内部的液态环氧树脂后落入放置晶圆的称重机构500上，可以通过设置称重机构500来显示晶圆上液态环氧树脂的重量，确保了供给量的控制。
74.此处，应当指出的是，在一种可能的实现方式中，称重机构500包括底座510和电子秤520，且电子秤520固定安装在底座510上。进一步的，电子秤 520可以采用精密电子称重天平，其精度可以带到
±
0.05g，由此，确保了供给量的自动精密控制，使得精度可以达到
±
0.1g。
75.以上已经描述了本技术的各实施例，上述说明是示例性的，并非穷尽性的，并且也不限于所披露的各实施例。在不偏离所说明的各实施例的范围和精神的情况下，对于本技术领域的普通技术人员来说许多修改和变更都是显而易见的。本文中所用术语的选择，旨在最好地解释各实施例的原理、实际应用或对市场中的技术的改进，或者使本技术领域的其它普通技术人员能理解本文披露的各实施例。