基于光电探测器阵列的位移传感器的制作方法

1.本实用新型涉及测量技术领域，特别涉及一种基于光电探测器阵列的位移传感器。


背景技术：

2.基于光学三角放大法的位移测量新原理，是在光学三角放大法的基础上，结合三角波光学器件与高精度光电三极管(position seitive device，位置灵敏探测器，也称光电探测器)实现的。如图4所示的一种位移传感器，利用光偏转器使反射激光束发生偏转，且在一个偏转周期内两次被接收产生时间差，随着移动的进行，一个光电探测器接收到反射激光束的时间差变大，而另一个电探测器接收到反射激光束的时间差变小，根据时间差及偏转角度即可测算出位移量。该结构通过两个光电探测器的时间测量结果实现了差分放大测量，但是该方案中存在非线性误差，且对时间的均匀性要求也较高。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种可以提高测量精度的基于光电探测器阵列的位移传感器，以降低非线性误差的影响，进一步提高测量精度。
4.为了实现上述目的，本实用新型提供以下技术方案：
5.一种基于光电探测器阵列的位移传感器，包括：
6.三角波反射镜，包括第一反射面和第二反射面；
7.激光束一，入射至三角波反射镜的第一反射面；
8.反射镜一，用于接收激光束一被三角波反射镜的第一反射面反射的激光束，且使该激光束在激光束一入射至同一个第一反射面的测量过程中沿同一路径反射至三角波反射镜的第二反射面；
9.光偏转器一，用于使三角波反射镜的第二反射面反射的激光束的入射角度在设定角度区间内偏转；
10.光电探测器一阵列，包括多个光电探测器一，多个光电探测器一之间间隔设置，光电探测器一用于接收经光偏转器一偏转后的激光束；
11.处理系统，用于根据光电探测器一接收到激光束的时间、光电探测器一与光偏转器一的垂直距离、光电探测器一之间的间距、及光偏转器一的偏转速度，计算出被测物体的位移变化值。
12.更优化的方案中，每相邻两个光电探测器一之间的间距相等。通过设置光电探测器一等间距分布，可以避免测算每两个光电探测器之间的间距，简化计算过程，同时也降低运算量。
13.作为一种可实施方式，所述三角波反射镜的第一反射面和第二反射面分别与水平面的夹角为150度，激光束一入射至第一反射面的入射角为30度，反射镜一平行于第一反射面。
14.优选的，上述一种基于光电探测器阵列的位移传感器还包括：
15.激光束二，入射至三角波反射镜的第一反射面，且激光束一与激光束二分别在第一反射面的初始入射点位置不同；
16.反射镜二，用于接收激光束二被三角波反射镜的第一反射面反射的激光束，且使该激光束在激光束二入射至同一个第一反射面的测量过程中沿同一路径反射至三角波反射镜的第二反射面；
17.光偏转器二，用于使三角波反射镜的第二反射面反射的激光束的入射角度在设定角度区间内偏转；
18.光电探测器二阵列，包括多个光电探测器二，多个光电探测器二之间间隔设置，光电探测器二用于接收经光偏转器二偏转后的激光束；
19.所述处理系统具体用于，根据光电探测器一接收到激光束的时间、光电探测器一与光偏转器一的垂直距离、光电探测器一之间的间距、及光偏转器一的偏转速度，计算出被测物体的位移变化值；或者，根据光电探测器二接收到激光束的时间、光电探测器二与光偏转器二的垂直距离、光电探测器二之间的间距、及光偏转器二的偏转速度，计算出被测物体的位移变化值。
20.更优化的方案中，每相邻两个光电探测器二之间的间距相等。
21.与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：
22.本实用新型基于光电探测器阵列的位移传感器，光偏转器由电压信号控制角度调整，当前t0时刻入射至其中一个光电探测器，此时角度偏转的角度大小a可以确定，下一时刻t1入射至下一个光电探测器，其角度偏转的角度大小b也可以确定。根据角度a和角度b可以确定出两个光电探测器的测量距离，而两个光电探测器理论距离(位置间隔)是已知的，理论距离减去测量距离就是被测物体在t1
‑
t0时间段的实际位移量。
23.本实用新型通过两个光电探测器现后接收到激光束的时间差实现位移测量，通过高精度的时间计量可以实现高精度的位移测量，将位移测量转变为时间测量，更容易实现比传统位移测量传感器更高精度的位移测量，而且通过光电探测器阵列的方式可以减小非线性误差的影响，继而进一步提高测量精度。
附图说明
24.为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简要介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关附图。
25.图1所示为实施例1提供的一种结构的基于光电探测器阵列的位移传感器的测量原理示意图。
26.图2所示为测量原理示意图。
27.图3所示为实施例2提供的另一种结构的基于光电探测器阵列的位移传感器的测量原理示意图。
28.图4为本实用新型所针对的现有技术中的一种位移传感器的测量原理示意图。
29.图中标号说明：
30.激光源一1，激光源二2，激光束一3，激光束二4，三角波反射镜5，壳体6，光电探测器一7，反射镜一9，光偏转器一10，反射镜二11，光偏转器二12，光电探测器二13；第一反射面51，第二反射面52。
具体实施方式
31.下面将结合本实用新型实施例中附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚完整的描述。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。基于本实用新型的实施例，本领域技术人员在没有创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型的保护范围。
32.实施例1
33.请参阅图1，本实施例中提供了一种基于光电探测器阵列的位移传感器，包括激光源一1、三角波反射镜5、反射镜一9、光电探测器一阵列，其中，三角波反射镜5包括多个反射面，为了便于理解，本文中将用于接收激光源一(或二)发射的激光束的反射面定义为第一反射面，将用于接收反射镜一(或二)反射的激光束的反射面定义为第二反射面。
34.其中，光电探测器一阵列由多个光电探测器一7组成，例如图1中分别为6个，两个光电探测器一7之间间隔设置。为了方便于计算，优选为等间距设置，即每相邻两个光电探测器一7之间的间距相等。
35.需要说明的是，为了更方便展示和查看，图1中只画出了第一个(从左往右)光电探测器一7位移后的位置表示(虚线框)，而没有画出另外的光电探测器一7位移后的位置表示。
36.本实施例中所述基于光电探测器阵列的位移传感器中：
37.激光源一1用于发射出激光束一3，并射向三角波反射镜5的第一反射面51；
38.反射镜一9用于接收激光束一3被三角波反射镜5的第一反射面51反射的激光束，且使该激光束在激光束一3入射至同一个第一反射面51的测量过程中，沿同一路径反射至三角波反射镜5的第二反射面52；
39.光偏转器一10，用于使三角波反射镜5的第二反射面52反射的激光的角度在设定角度区间内匀速偏转；
40.光电探测器一7，用于接收经光偏转器一10偏转后的激光束；也就是说，光电探测器一7在光偏转器一10的设定角度区间内，继而保障可以接收到经光偏转器一10偏转后的激光束。
41.处理系统，用于根据光电探测器一7接收到激光束的时间、光电探测器一7与光偏转器一10的垂直距离、光电探测器一7之间的间距、及光偏转器一10的偏转速度，计算出被测物体的位移变化值。
42.所述处理系统可以是元器件构成的运算电路，基于不同的实现方式有不同的电路结构，但是本领域技术人员根据处理系统的计算过程可以很容易地实现该运算电路，故此处不再给出具体的运算电路图。处理系统也可以是集成了运算电路的处理器，例如stm32系列单片机。
43.光偏转器一10的目的是使入射的激光束发生偏转，最简单的实施方式就是在一个转动台上安装一个反射镜(或多面反射体)，转动台转动就会改变入射至反射镜的激光束的
入射角，实现偏转的目的。转动台由电机驱动旋转，电机由电压信号控制。另外，本实施例中，光偏转器一是匀速旋转，这样做的好处是不需要每次(每个计算时段)测算都根据速度及时间计算偏转角度，简化运算。但是作为可实施方式而言，光偏转器一也可以不是匀速旋转的，只是计算相对复杂一点而已。
44.优选的，光偏转器可以为钽铌酸钾晶体，以便实现高频率角度偏转。
45.本实施例中，光偏转器一10的偏转区间小于15度，也就是所述设定角度区间小于15度，光偏转器一10由初始位置转动到结束位置，再由结束位置回归到初始位置的时间为一个偏转周期。
46.为了保障基于光电探测器阵列的位移传感器的放大性能，入射至光电探测器一7的激光束与光电探测器一7的夹角宜小于45度。
47.如图1所示，光电探测器一7采用光电三极管，位移前的激光束一3用实线表示，位移后的激光束一3用虚线表示，激光束一3的传输路径如下：
48.位移前，激光源一1发射激光束一3至三角波反射镜5的第一反射面51，三角波反射镜5的第一反射面51将激光束一3反射至反射镜一9，反射镜一9将第一反射面51反射的激光束反射至第二反射面52，第二反射面52再将入射激光束反射至光偏转器一10。经光偏转器一10偏转后入射至其中一个光电探测器一7。如果未发生位移，则在下一时刻经光偏转器一10偏转后被另一个光电探测器一7接收。
49.位移后(图1中展示为向左位移，位移时激光源一1、反射镜一9、光偏转器一10、光电探测器一7同步向左位移)，激光源一1发射激光束一3至三角波反射镜5的第一反射面51(相比于位移前的同一个反射面的另一个位置点)，三角波反射镜5的第一反射面51将激光束一3反射至反射镜一9，反射镜一9将第一反射面51反射的激光沿位移前相同的路径反射至第二反射面52，第二反射面52再将入射激光束沿位移前相同的路径反射至光偏转器一10。经光偏转器一10偏转后入射至其中一个光电探测器一7，在下一时刻经光偏转器一10偏转后被另一个光电探测器一7接收。
50.如果被测物体没有发生位移，接收到激光束的前后相邻两个光电探测器一之间接收到激光束的时间差是相等的，例如编号为1/3/5的光电探测器一分别先后接收到激光束的时间(时刻)为t1/t2/t3，则t3
‑
t2＝t2
‑
t1。如果被测物体发生位移，则时间差就会发生变化，例如时间差会缩短，继而可以根据时间差的变化判断是否发生位移，在检测到发生位移后就测量被测物体的位移量。
51.位移量测算原理如下：光偏转器由电压信号控制角度调整，当前t0时刻入射至其中一个光电探测器一，此时角度偏转一的角度大小a可以确定(转动速度乘以转动时间即可确定)，下一时刻t1入射至下一个光电探测器一，其角度偏转的角度大小b也可以确定。根据角度a和角度b可以确定出两个光电探测器的测量距离，而两个光电探测器一之间的理论距离(即位置间隔)是已知的，理论距离减去测量距离就是被测物体在t0
‑
t1时间段的实际位移量。
52.如图2所示，在位移前(针对于下一时刻的位移而言)激光束被左边的光电探测器一接收，且是在实线所表示的位置被接收，位移后，激光束被右边的光电探测器一接收，且是在虚线(右边的光电探测器一由实线所示位置位移到虚线所示位置)所表示的位置被接收，测量距离即为左边实线所示位置与右边虚线所示位置之间的距离，而理论距离则为两
个实线所示位置之间的距离，理论距离减去测量距离即为被测物体的位移量。
53.定义光电探测器一阵列与光偏转器一之间的垂直距离为h，以垂直线为基准线，测量距离＝h*(tanα tanβ)，α、β和h均为已知数，因此可以测算出测量距离，继而计算出位移量。
54.为了实现反射镜一9反射的激光束在位移前后沿同一路径反射至三角波反射镜5的第二反射面52，可以通过例如如下方式实现：反射镜一平行于第一反射面，平行于第二反射面，激光束一与第一反射面的锐角夹角等于两倍第一反射面与水平面的夹角。
55.例如作为一种较优的可实施方式，三角波反射镜5的第一反射面51和第二反射面52分别与水平面的夹角为150度(仅以水平向右为正方向且沿逆时针方向旋转为例)，激光源一1发射的激光束一3入射至第一反射面51的入射角为30度，反射镜一9平行于第一反射面51。在保障反射镜一9使得激光源一1发射的激光束一3入射至同一个第一反射面的测量过程中，发射的激光束一3沿同一路径反射至三角波反射镜5的第二反射面52的情况下，也可以有其他不同的设置方式。
56.三角波也并非一定需要等腰三角波，即形成三角波的两个反射面与水平面的锐角夹角可以相等，也可以不相等。本实施例提供的一种基于光电探测器阵列的位移传感器中，对于三角波反射镜5，在满足第一反射面51平行于第二反射面52的条件下，其具体结构没有限制，即对于形成三角波的两个反射面的夹角没有限制。
57.可以参阅图1，上述基于光电探测器阵列的位移传感器还可以包括壳体6，激光源一1、反射镜一9、光偏转器一10、光电探测器一7均固定设置于壳体6内，组成测头，激光源一1发射的激光束一3及其反射光束均可以通过测头的收发端面。激光源一1、反射镜一9、光偏转器一10、光电探测器一7均固定设置于壳体6内，可以保持相互之间的位置固定，也可以保障几者保持同步位移。
58.测量时，可以根据实际应用情况，采用将三角波反射镜5固定在被测物体上，测头保持固定不动，被测物体发生位移时，三角波反射镜5与测头发生相对运动，测头可以测量得到三角波反射镜5即被测物体的位移值。作为另一种实施方案，也可以采用将测头固定在被测物体上，三角波反射镜5保持不动，被测物体发生位移带动测头移动，测头与三角波反射镜5发生相对位移，测头可以测得测头与三角波反射镜5之间的相对位移，进而得到被测物体的位移值。
59.测量选择三角波反射镜5或者测头来固定在被测物体上，提高了测量便利性。
60.应用上述基于光电探测器阵列的位移传感器进行位移测量时，其步骤如下：
61.步骤一，将被测物体固定在三角波反射镜或测头上；
62.步骤二，调整激光束一(即激光源一)、三角波反射镜、反射镜一、光偏转器一、光电探测器一、光电探测器二的位置关系，使得反射镜一接收到激光束一被三角波反射镜的第一反射面反射的激光束，且该激光束在激光束一入射至同一个第一反射面的测量过程中，沿同一路径反射至三角波反射镜的第二反射面，且多个光电探测器一均在光偏转器一的偏转区间内，即在光偏转器一转动的过程中，针对某时刻保障有一个光电探测器一能够接收到三角波反射镜的第二反射面反射的激光束；
63.步骤三，启动光偏转器一匀速旋转，发射激光束一，所述激光束一先后经过所述三角波反射镜的第一反射面、反射镜一、三角波反射镜的第二反射面后,被光电探测器一探测
到激光束，并记录探测到激光束的时间；
64.步骤四，被测物体位移，在位移过程中，分别记录各个光电探测器一探测到激光束的时间；
65.步骤五，处理系统根据光电探测器一接收到激光束的时间、光电探测器一与光偏转器一的垂直距离、光电探测器一之间的间距、及光偏转器一的偏转速度，计算出被测物体的位移变化值。
66.实施例2
67.可以参阅图3(图3中光电探测器阵列中只展示了4个光电探测器)，与实施例1中所述的基于光电探测器阵列的位移传感器相比，本实施例中提供的基于光电探测器阵列的位移传感器还包括激光束二4，入射至三角波反射镜5的另一个第一反射面51；以及以下部件：
68.反射镜二11，用于接收激光束二4被三角波反射镜5的所述另一个第一反射面51反射的激光束，且使该激光束在激光束二4入射至同一个所述另一个第一反射面51的测量过程中沿同一路径反射至三角波反射镜5的另一个第二反射面52；
69.光偏转器二12，用于使三角波反射镜5的第二反射面52反射的激光束的入射角度在设定角度区间内匀速偏转；
70.光电探测器二阵列，用于接收经光偏转器二偏转后的激光束；光电探测器二阵列由多个光电探测器二13组成，两个光电探测器二13之间间隔设置。为了方便于计算，优选为等间距设置，即每相邻两个光电探测器二13之间的间距相等。
71.本实施例所述的基于光电探测器阵列的位移传感器中，所述处理系统则是根据光电探测器一接收到激光束的时间、光电探测器一与光偏转器一的垂直距离、光电探测器一之间的间距、及光偏转器一的偏转速度，计算出被测物体的位移变化值；或者，根据光电探测器二接收到激光束的时间、光电探测器二与光偏转器二的垂直距离、光电探测器二之间的间距、及光偏转器二的偏转速度，计算出被测物体的位移变化值。
72.本实施例中所述的基于光电探测器阵列的位移传感器可以实现连续位移测量。具体的，可以选用两个激光束之一来测量，当其中一个激光束反射点位于反射面的某些位置，如反射面的顶端、两个反射面的交线位置等，反射激光光路发生改变，因此可能无法反射到对应光电探测器，而另一个激光束反射点位于另一个反射面的其他位置，可反射到对应光电探测器，能够实现被测物体移动的每一刻，三角波反射镜5上各第二反射面52所反射的激光束中至少有一条可以反射到对应的光电探测器，此时处理系统可以来回切换计算两组光电探测器的时间差，进行叠加累计，以实现对被测物体位移一次性变化或连续增量式位移变化的测量，其测量方法简单、可靠，操作方便，并且能够提高测量精度。
73.如图3所示，激光束一3、激光束二4分别通过激光源一1和激光源二2发射得到。
74.两套测量系统可以均设置于一个壳体内组成一个测头，也可以两套测量系统分别设置于一个壳体内，分别组成两个测头。具体的，激光源一、激光源二、反射镜一、反射镜二、光偏转器一、光偏转器二、光电探测器一、光电探测器二均固定设置于壳体内，组成一个测头。或者，激光源一、反射镜一、光偏转器一、光电探测器一均固定设置于一个壳体内，组成一个测头；激光源二、反射镜二、光偏转器二、光电探测器二均固定设置于另一个壳体内，组成另一个测头。
75.容易理解的，本实施例中，设置激光源一和激光源二的目的是避免其中一组光电
探测器接收不到激光束时，可以通过另一组光电探测器接收激光束，实现位移测量，因此除了如图3所示的设置方式外，还可以有其他设置方式，只要激光源一与激光源二错开设置，使得激光束一和激光束二分别在第一反射面的初始入射点位置不同即可，例如激光束二也可以入射至处于激光束一入射的第一反射面同侧的另一个第一反射面，还可以入射至激光束一所入射的同一个反射面，但是入射点位置不同。
76.光电探测器(一和二)可以采用位置敏感探测器光电三极管，也可以采用例如光电二极管、光电池等器件。
77.应用本实施例中的基于光电探测器阵列的位移传感器进行位移测量时，其步骤如下：
78.步骤一，将被测物体固定在三角波反射镜或测头上；
79.步骤二，调整激光束一、三角波反射镜、反射镜一、光偏转器一、光电探测器一、光电探测器二的位置关系，使得反射镜一接收到激光束一被三角波反射镜的第一反射面反射的激光束，且该激光束在激光束一入射至同一个第一反射面的测量过程中，沿同一路径反射至三角波反射镜的第二反射面，且多个光电探测器一均在光偏转器一的偏转区间内；调整激光束二、三角波反射镜、反射镜二、光偏转器二、光电探测器三、光电探测器四的位置关系，使得反射镜二接收到激光束二被三角波反射镜的第一反射面反射的激光束，且该激光束在激光束二入射至同一个第一反射面的测量过程中，沿同一路径反射至三角波反射镜的第二反射面，且多个光电探测器二均在光偏转器二的偏转区间内；
80.步骤三，启动光偏转器一匀速旋转，发射激光束一，所述激光束一先后经过所述三角波反射镜的第一反射面、反射镜一、三角波反射镜的第二反射面后,被光电探测器一探测到激光束，并记录探测到激光束的时间；或者，启动光偏转器二匀速旋转，发射激光束二，所述激光束二先后经过所述三角波反射镜的第一反射面、反射镜二、三角波反射镜的第二反射面后,被光电探测器二探测到激光束，并记录探测到激光束的时间；
81.步骤四，被测物体位移，在位移过程中，分别记录各个光电探测器一探测到激光束的时间，或者，分别记录各个光电探测器二探测到激光束的时间；
82.步骤五，处理系统根据光电探测器一接收到激光束的时间、光电探测器一与光偏转器一的垂直距离、光电探测器一之间的间距、及光偏转器一的偏转速度，计算出被测物体的位移变化值；或者，根据光电探测器二接收到激光束的时间、光电探测器二与光偏转器二的垂直距离、光电探测器二之间的间距、及光偏转器二的偏转速度，计算出被测物体的位移变化值。
83.以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员，在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应该涵盖在本实用新型的保护范围内。