一种RF电极装置的制作方法

一种rf电极装置
技术领域
1.本实用新型涉及一种rf电极装置技术领域，尤其涉及一种rf电极装置。


背景技术：

2.在真空镀膜领域，镀膜前的离子清洗对膜层附着力的影响起着决定性的作用，而rf(radio frequency)的电极设计又是重中之重，它决定着rf的实际使用效果，若电极设计不好，rf就会没有使用价值。
3.现有技术中，rf等离子清洗方法，是诸多清洗方法之一。它的电极设计多种多样，但均效果欠佳。如电极设置在真空室上部，跟真空室底座形成电极对的设计方式，由于极间距较远，必须在较低的真空度下，通工作气体才能启辉。并且，随着放电时间的延长，真空度增高时，阴极暗区接触到阳极，放电不能持续。并且轰击效率低，产生的轰击效果不明显；还有一种用直径6mm的铝丝或者铜丝从真空室中升起的方式，并在到达工件架的位置，沿着(贴近)真空室内壁围成圆圈，用绝缘座固定，不让其晃动，避免短路，这种方法比前一种方法更难启辉，并且持续辉光放电的时间更短，效率更差。


技术实现要素：

4.为了克服现有技术的不足，本实用新型的目的之一在于提供一种rf电极装置，既可以在高真空中使残留气体电离，并且可以在高真空中自持放电，不需要另外充工作气体，还能够使离子的轰击效率大大提高。
5.本实用新型的目的之一采用如下技术方案实现：一种rf电极装置，包括位于真空室内、并作为电极的底座，所述底座上设有由铝丝材质构成的螺旋管，且底座中心设有用于夹持铝丝的绝缘固定器，底座中心设有定位孔；
6.所述螺旋管的上部支撑有不锈钢平板，螺旋管下端设有连接端，所述连接端的一端抵接螺旋管，连接端的另一端连接有电源连接线。
7.进一步的，所述螺旋管上设有用于固定不锈钢板的定位件。
8.进一步的，所述螺旋管的底部设有与自身同轴设置的连接段；
9.所述绝缘固定器的轴向截面呈“t”字型结构，所述连接段与绝缘固定器固定连接，绝缘固定器的下端嵌设于定位孔内。
10.进一步的，所述不锈钢板由304材料构成，且不锈钢板的厚度为0.8mm。
11.进一步的，所述绝缘固定器由特氟龙材料构成。
12.进一步的，所述螺旋管的直径为6mm。
13.相比现有技术，本实用新型的有益效果在于：
14.这样的设计，在生产时，可以在真空度达到5e
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torr或5e
‑
pa的高真空条件下，不需要冲任何工作气体，在打开电源和rf调配器的情况下，只需用电子枪对准膜料作“预熔”操作，就可以顺利启辉。rf一旦启辉，真空室壁的残留气体就会被等离子体中的离子轰击出来，使真空度自动下降，刚好够维持持续放电的气压，而不需要另外充工作气体。并且，由于
电极距离底座很近，电极与底座形成的两极对启辉的气压要求降低，不需要很低的真空度就能启辉，同时，工作过程中，随着残留气体的逐步减少，真空度逐渐变高时，放电的阴极暗区，由近底座的方向自动变更到另一侧，跟真空室上端的工件架和真空室壁形成更远的阴极暗区，阴极暗区的极限距离由此变大，所以即使在高真空状态下，也能自持放电。
15.此外，由于电极设计成一块大板，放电面积较大，因此能够大大提高放电效率，轰击效果明显，清洗后对膜层附着力提高显著。
16.上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本实用新型的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。
附图说明
17.图1为本实施例的结构示意图；
18.图2为本实施例位于真空室内的结构示意图。
19.图中：1、底座；11、定位孔；2、螺旋管；3、绝缘固定器；4、连接端；5、不锈钢板。
具体实施方式
20.下面，结合附图以及具体实施方式，对本实用新型做进一步描述，需要说明的是，在不相冲突的前提下，以下描述的各实施例之间或各技术特征之间可以任意组合形成新的实施例。
21.需要说明的是，当组件被称为“固定于”另一个组件，它可以直接在另一个组件上或者也可以存在居中的组件。当一个组件被认为是“连接”另一个组件，它可以是直接连接到另一个组件或者可能同时存在居中组件。当一个组件被认为是“设置于”另一个组件，它可以是直接设置在另一个组件上或者可能同时存在居中组件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。
22.除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
23.结合图1
‑
2所示，一种rf电极装置，包括位于真空室内、并作为电极的底座1，底座1上设有由铝丝材质构成的螺旋管2，设计直径为6mm，且底座1中心设有用于夹持铝丝的绝缘固定器3，底座1中心设有定位孔11，用来安装绝缘固定器3。
24.螺旋管2的上部支撑有不锈钢平板，螺旋管2底部位于底座1中，下端抵接连接端4，连接端4可为紫铜管以及包裹紫铜管的连接座，紫铜管一端设有与电源连接的电源连接线，在工作时连接座插入真空室底部，紫铜管与螺旋管2接触。连接端4的长度视底座1的具体结构、尺寸而定，本实施例中连接端4伸出底座1长度为3cm，以避免接触底座1造成短路为准则。
25.此外，本实施例将螺旋管2的顶部设计成一圆形平面结构，用于水平支撑不锈钢板5，并在螺旋管2或不锈钢板5上设有用于固定不锈钢板5的定位件，定位件可为卡扣、螺栓等连接件。
26.而螺旋管2的底部则设有与自身同轴设置的连接段，保证在连接、固定时，自身能够保持结构的平衡。本实施例将绝缘固定器3设计成轴向截面呈“t”字型的结构，然后轴心打孔，使连接段能够嵌入该孔与绝缘固定器3固定连接，然后使绝缘固定器3的下端嵌设于定位孔11内，完成装配，然后用万用表测电阻，看本实施例是否有短路，若没有短路，就可以使用了。
27.为实现更好的设计效果，本实施例中的不锈钢板5由304材料构成，且不锈钢板5的厚度为0.8mm。绝缘固定器3由特氟龙材料构成，耐高温。
28.上述实施方式仅为本实用新型的优选实施方式，不能以此来限定本实用新型保护的范围，本领域的技术人员在本实用新型的基础上所做的任何非实质性的变化及替换均属于本实用新型所要求保护的范围。


技术特征：
1.一种rf电极装置，包括位于真空室内、并作为电极的底座，其特征在于：所述底座上设有由铝丝材质构成的螺旋管，且底座中心设有用于夹持铝丝的绝缘固定器，底座中心设有定位孔；所述螺旋管的上部支撑有不锈钢平板，螺旋管下端设有连接端，所述连接端的一端抵接螺旋管，连接端的另一端连接有电源连接线。2.如权利要求1所述的一种rf电极装置，其特征在于：所述螺旋管上设有用于固定不锈钢板的定位件。3.如权利要求2所述的一种rf电极装置，其特征在于：所述螺旋管的底部设有与自身同轴设置的连接段；所述绝缘固定器的轴向截面呈“t”字型结构，所述连接段与绝缘固定器固定连接，绝缘固定器的下端嵌设于定位孔内。4.如权利要求2所述的一种rf电极装置，其特征在于：所述不锈钢板由304材料构成，且不锈钢板的厚度为0.8mm。5.如权利要求1所述的一种rf电极装置，其特征在于：所述绝缘固定器由特氟龙材料构成。6.如权利要求1所述的一种rf电极装置，其特征在于：所述螺旋管的直径为6mm。

技术总结
本实用新型公开了一种RF电极装置，既可以在高真空中使残留气体电离，并且可以在高真空中自持放电，不需要另外充工作气体，还能够使离子的轰击效率大大提高，包括位于真空室内、并作为电极的底座，所述底座上设有由铝丝材质构成的螺旋管，且底座中心设有用于夹持铝丝的绝缘固定器，底座中心设有定位孔；所述螺旋管的上部支撑有不锈钢平板，螺旋管下端设有连接端，所述连接端的一端抵接螺旋管，连接端的另一端连接电源电源连接线。一端连接电源电源连接线。一端连接电源电源连接线。


技术研发人员：吴本安 毛中犁
受保护的技术使用者：深圳市易卜光电有限公司
技术研发日：2021.07.15
技术公布日：2021/12/3