一种显影液供应系统的制作方法

1.本实用新型涉及光刻技术领域，具体为一种显影液供应系统。


背景技术：

2.半导体光刻技术通常包括在半导体晶片的顶层表面上涂布光阻，将光阻曝光形成图案；将曝光后的光阻曝光后烘烤，以使高分子为主的物质产生裂解；将裂解的高分子光阻移到显影槽，去除曝光的高分子，曝光的高分子可溶于显影液。如此，可在晶片的顶层表面得到图案化的光阻层。
3.然而，现有的显影液供应系统在使用的过程中存在以下的问题：由于显影液在管道内的情况无法探知，导致使用较为不便。为此，需要设计相应的技术方案解决存在的技术问题。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种显影液供应系统，解决了因显影液在管道内的情况无法探知导致的使用较为不便的技术问题，提高了显影的安全性，满足实际使用需求。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：包括存储罐和显影机台，所述存储罐的一侧设置有进气管，所述存储罐的一侧设置有缓冲罐，所述缓冲罐的一侧设置有过滤机构，所述过滤机构与缓冲罐之间设置有除泡器，所述过滤机构的一侧设置有控制装置，所述控制装置包括控制阀（和两个对称分布的感应器，所述感应器的一侧上设置有警示灯，所述显影机台在靠近控制装置的一侧内设置有喷嘴。
6.作为本实用新型的一种优选实施方式，所述存储罐、缓冲罐、过滤机构、控制装置和喷嘴之间均设置有连接管且为依次连接，所述除泡器分别与缓冲罐和过滤机构之间均通过连接管相连接且为并联连接。
7.作为本实用新型的一种优选实施方式，所述进气管位于存储罐靠近顶部的位置上且通入氮气，所述喷嘴为双口结构。
8.作为本实用新型的一种优选实施方式，所述控制阀上设有控制主板且为自动化控制，所述感应器与控制阀相连接且分别位于连接管的两侧，所述感应器对连接管内显影液进行气泡和杂质感应。
9.与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：
10.通过控制装置，可以在显影液进过除泡器和过滤机构处理后，便捷的对其处理效果进行监测，感应器对连接管内的显影液进行杂质和气泡的感应，当存在气泡或杂质时，可以通过警示灯对工作人员进行提醒，并通过控制阀对显影液进行进行控制，避免不合格的显影液进入显影机台中，提高了显影的安全性,从而解决了使用较为不便的问题。
附图说明
11.图1为本实用新型的整体示意图；
12.图2为本实用新型所述控制装置结构图。
13.图中:进气管
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1，存储罐
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2，缓冲罐
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3，除泡器
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4，过滤机构
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5，控制装置
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6，显影机台
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7，喷嘴
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8，连接管
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9，感应器
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10，警示灯
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11，控制阀
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12。
具体实施方式
14.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
15.请参阅图1
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2，本实用新型提供一种技术方案：一种显影液供应系统，包括：存储罐2和显影机台7，存储罐2的一侧设置有进气管1，存储罐2的一侧设置有缓冲罐3，缓冲罐3的一侧设置有过滤机构5，过滤机构5与缓冲罐3之间设置有除泡器4，过滤机构5的一侧设置有控制装置6，控制装置6包括控制阀12和两个对称分布的感应器10，感应器10的一侧上设置有警示灯11，显影机台7在靠近控制装置6的一侧内设置有喷嘴8，存储罐2、缓冲罐3、过滤机构5、控制装置6和喷嘴8之间均设置有连接管9且为依次连接，除泡器4分别与缓冲罐3和过滤机构5之间均通过连接管9相连接且为并联连接，进气管1位于存储罐2靠近顶部的位置上且通入氮气，喷嘴8为双口结构，控制阀12上设有控制主板且为自动化控制，感应器10与控制阀12相连接且分别位于连接管9的两侧，感应器10对连接管9内显影液进行气泡和杂质感应，通过控制装置6，可以对连接管内显影液的情况进行监测，提高了显影的安全性。
16.在使用时：本实用新型首先通过进气管1加入氮气将存储罐2内的显影液通过连接管9向喷嘴8处移动，同时，通过过滤机构5和和除泡器4对显影液内的杂质和气泡进行处理，控制阀12控制显影液的流量，通过感应器10对连接管9内的显影液进行杂质和气泡的感应，当存在气泡或杂质时，可以通过警示灯11对工作人员进行提醒，并通过控制阀12对显影液进行进行控制，避免不合格的显影液进入显影机台中，提高了显影的安全性。
17.最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。


技术特征：
1.一种显影液供应系统，其特征在于：包括存储罐（2）和显影机台（7），所述存储罐（2）的一侧设置有进气管（1），所述存储罐（2）的一侧设置有缓冲罐（3），所述缓冲罐（3）的一侧设置有过滤机构（5），所述过滤机构（5）与缓冲罐（3）之间设置有除泡器（4），所述过滤机构（5）的一侧设置有控制装置（6），所述控制装置（6）包括控制阀（12）和两个对称分布的感应器（10），所述感应器（10）的一侧上设置有警示灯（11），所述显影机台（7）在靠近控制装置（6）的一侧内设置有喷嘴（8）。2.根据权利要求1所述的一种显影液供应系统，其特征在于：所述存储罐（2）、缓冲罐（3）、过滤机构（5）、控制装置（6）和喷嘴（8）之间均设置有连接管（9）且为依次连接，所述除泡器（4）分别与缓冲罐（3）和过滤机构（5）之间均通过连接管（9）相连接且为并联连接。3.根据权利要求2所述的一种显影液供应系统，其特征在于：所述进气管（1）位于存储罐（2）靠近顶部的位置上且通入氮气，所述喷嘴（8）为双口结构。4.根据权利要求2所述的一种显影液供应系统，其特征在于：所述控制阀（12）上设有控制主板且为自动化控制，所述感应器（10）与控制阀（12）相连接且分别位于连接管（9）的两侧，所述感应器（10）对连接管（9）内显影液进行气泡和杂质感应。

技术总结
本实用新型公开了一种显影液供应系统,包括存储罐和显影机台，所述存储罐的一侧设置有进气管，所述存储罐的一侧设置有缓冲罐，所述缓冲罐的一侧设置有过滤机构，所述过滤机构与缓冲罐之间设置有除泡器，所述过滤机构的一侧设置有控制装置，所述控制装置包括控制阀和两个对称分布的感应器，所述感应器的一侧上设置有警示灯，所述显影机台在靠近控制装置的一侧内设置有喷嘴。本实用新型通过控制装置，可以对连接管内显影液的情况进行监测，提高了显影的安全性。的安全性。的安全性。


技术研发人员：程小飞 傅姿 孙俊鹏 花荣
受保护的技术使用者：上海函泰电子科技有限公司
技术研发日：2021.07.02
技术公布日：2021/11/30