一种基板烘烤装置的制作方法

1.本实用新型涉及基板烘烤技术领域，具体为一种基板烘烤装置。


背景技术：

2.在液晶显示器的制造工艺中，cf(color filter，滤色器)制程用于形成包括滤色器的基板。通常，cf制程包括基板投入、清洗与干燥、涂覆光阻、真空干燥、预烘烤、曝光、显影等步骤。预烘烤是指在一定的温度下将其上涂覆有光阻剂的基板烘烤一段时间，使得残留在光阻剂内的溶剂挥发，增加光阻剂与基板表面的粘附性，从而有利于顺利进行后续的曝光工艺和显影工艺。
3.例如公开号为“cn105244302b”专利名称为“一种基板烘烤装置”的专利，专利公开了“本发明构思的示例性实施例提供一种基板烘烤装置。所述基板烘烤装置包括：腔室，所述腔室的内部形成用于容纳基板的空间；以及顶盖，位于所述腔室上并覆盖所述腔室，其中，所述顶盖中设置有加热组件。根据本发明构思的基板烘烤装置可以防止腔室中的气态溶媒附着并积累在腔室的顶盖上，提高基板产品的良率”。
4.现有的基板烘烤装置在使用时，物料不方便取出，并且烘烤效率低，烘烤装置整体不便于移动。


技术实现要素：

5.(一)解决的技术问题
6.针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种烘烤效率高，并且方便移动的基板烘烤装置。
7.(二)技术方案
8.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种基板烘烤装置，包括箱体、烘烤仓、电器仓以及控制仓，所述烘烤仓安装在箱体的中间部分，所述控制仓以及电器仓分别安装在烘烤仓的两侧，所述烘烤仓上设有温度检测器、第一加热管、第二加热管、滑槽以及存放板，所述温度检测器安装在烘烤仓的内部，所述第一加热管设有多个，并且分别安装在烘烤仓的上端以及下端，所述第二加热管安装在烘烤仓的中间部分，所述存放板上设有通孔，所述存放板位于烘烤仓的内部，并且安装在第一加热管与第二加热管的中间部分，所述存放板的两端设有滑块，所述滑槽安装在烘烤仓的内壁上，所述滑块位于滑槽的内部，所述电器仓的内部设有加热器，并且所述加热器与第一加热管之间设有连通管连接，所述控制仓上设有显示屏以及控制按键，并且所述显示屏安装在控制按键的上端，所述控制按键通过导线连接加热器，所述显示屏通过导线连接温度检测器。
9.为了方便箱体的移动，本实用新型的改进有，所述箱体的下端设有底轮，所述底轮为万向轮，所述底轮上设有减震弹簧。
10.为了提高存放板的实用性，本实用新型的改进有，所述存放板上设有限位块，所述限位块安装在存放板的两侧。
11.为了方便取出存放板，本实用新型的改进有，所述滑槽上设有弹簧以及配合槽，所述弹簧安装在滑槽的底端，所述配合槽安装在滑槽的前端，所述滑块上设有滚轮。
12.为了固定存放板，本实用新型的改进有，所述滑块上设有紧固旋钮以及限位杆，并且所述紧固旋钮安装在滑块的外部，所述限位杆一端位于滑块的内部，另一端位于滑块的外部，所述紧固旋钮与限位杆之间设有固定轴连接。
13.为了提高本结构的安全性，本实用新型的改进有，所述烘烤仓的上端设有排气管。
14.(三)有益效果
15.与现有技术相比，本实用新型提供了一种基板烘烤装置，具备以下有益效果：
16.该基板烘烤装置，所述烘烤仓上设有温度检测器，所述温度检测器安装在烘烤仓的内部，所述显示屏通过导线连接温度检测器，通过温度检测器检测烘烤仓内部的温度，通过控制按键控制加热器，从而控制烘烤仓内部的温度，所述第一加热管设有多个，并且分别安装在烘烤仓的上端以及下端，所述第二加热管安装在烘烤仓的中间部分，通过设有第一加热管以及第二加热管，使存放板上的基板烘烤的更加均匀，所述存放板的两端设有滑块，所述滑槽安装在烘烤仓的内壁上，所述滑块位于滑槽的内部，通过设有滑槽以及滑块，使存放板可以在烘烤仓内进行抽拉，所述滑块上设有紧固旋钮以及限位杆，并且所述紧固旋钮安装在滑块的外部，所述限位杆一端位于滑块的内部，另一端位于滑块的外部，通过设有紧固旋钮以及限位杆，使存放板得到固定。
附图说明
17.图1为本实用新型的刨面图；
18.图2为本实用新型的转门处结构示意图；
19.图3为本实用新型图1中存放板的俯视图；
20.图4为本实用新型图1中a处的局部放大结构示意图。
21.图中：1、箱体；2、电器仓；3、控制仓；4、显示屏；5、控制按键；6、加热器；7、排气管；8、第一加热管；9、第二加热管；10、存放板；11、滑槽；12、滑块；13、拉杆；14、转轴；15、转门；16、视镜；17、通孔；18、定位旋钮；19、限位杆；20、底轮；
具体实施方式
22.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
23.请参阅图1
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4，本实用新型的一种基板烘烤装置，包括箱体1、烘烤仓、电器仓2以及控制仓3，所述烘烤仓安装在箱体1的中间部分，所述控制仓3 以及电器仓2分别安装在烘烤仓的两侧，所述烘烤仓上设有温度检测器、第一加热管8、第二加热管9、滑槽11以及存放板10，所述温度检测器安装在烘烤仓的内部，所述第一加热管8设有多个，并且分别安装在烘烤仓的上端以及下端，所述第二加热管9安装在烘烤仓的中间部分，所述存放板10上设有通孔17，所述存放板10位于烘烤仓的内部，并且安装在第一加热管8与第二加热管9的中间部分，所述存放板10的两端设有滑块12，所述滑槽11安装在烘烤仓的内壁上，所述滑块12位于
滑槽11的内部，所述电器仓2的内部设有加热器6，并且所述加热器6与第一加热管8之间设有连通管连接，所述控制仓3上设有显示屏4以及控制按键5，并且所述显示屏4安装在控制按键5的上端，所述控制按键5通过导线连接加热器6，所述显示屏4通过导线连接温度检测器。
24.本实用新型的基板烘烤装置在使用时，将基板放到存放板10上，然后通过转轴14打开转门15，通过滑块12与滑槽11的相互配合，将存放板10推到烘烤仓的内部，将存放板10放好之后，通过控制按键5控制加热器6启动，电器仓2内部的加热器6通过导线使第一加热管8以及第二加热管9产生高温，从而对基板进行烘烤，在烘烤的时候，温度检测器会检测烘烤仓内部的温度，并且将检测出的温度，通过导线传输至显示屏4上，在显示屏4上显示，通过设有通孔17，使第一加热管8以及第二加热管9可以同时对基板的上面以及下面进行烘烤，从而提高了烘烤的效率，节约了烘烤时间，烘烤完毕后，将转门15打开，通过拉杆13拉出存放板10即可。
25.为了方便箱体1的移动，本实用新型的改进有，所述箱体1的下端设有底轮20，所述底轮20为万向轮，所述底轮20上设有减震弹簧，通过设有减震弹簧提高了箱体1在移动时的减震性。
26.为了提高存放板10的实用性，本实用新型的改进有，所述存放板10上设有限位块，所述限位块安装在存放板10的两侧，通过设有限位块防止基板在存放板10上滑动掉落。
27.为了方便取出存放板10，本实用新型的改进有，所述滑槽11上设有弹簧以及配合槽，所述弹簧安装在滑槽11的底端，所述配合槽安装在滑槽11的前端，所述滑块12上设有滚轮，当存放板10位于烘烤仓内部时，弹簧处于压缩的状态，当存放板10取出时，通过弹簧施加了一个推进力。
28.为了固定存放板10，本实用新型的改进有，所述滑块12上设有紧固旋钮以及限位杆19，并且所述紧固旋钮安装在滑块12的外部，所述限位杆19一端位于滑块12的内部，另一端位于滑块12的外部，所述紧固旋钮与限位杆 19之间设有固定轴连接，当存放板10固定在烘烤仓内部时，通过转动紧固旋钮，紧固旋钮通过固定轴转动限位杆19，使限位杆19进入配合槽，从而使存放板10得以固定。
29.为了提高本结构的安全性，本实用新型的改进有，所述烘烤仓的上端设有排气管7，通过设有排气管7，可以排除烘烤仓内部的气体，防止烘烤仓内的气压过高而产生安全隐患。
30.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。