一种使用方便的显影单元检修机构的制作方法

1.本实用新型涉及显影单元领域，具体为一种使用方便的显影单元检修机构。


背景技术：

2.目前，市场上相关半导体设备的涂胶、显影单元都是固定在机架上的，当单元发生故障需要维修或更换时，需要人工将整体单元从狭小的空间搬出进行维修，单元整体重量要超过30公斤，即笨重又不方便，容易造成部件的局部划伤，从而产生机械尘粒，不利于涂胶、显影工艺过程。
3.随着市场的需求相关设备需要更新换代，合理简单的结构不仅能够降低成本，节省时间，而且能够降低劳动强度，如今半导体设备已经发展到一定程度，半导体厂商对设备产能的要求仍是居高不下，那么，追求单元结构的精简化，节约设备维修时间也是很重要的。


技术实现要素：

4.(一)解决的技术问题
5.针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种方便检修，方便更换的一种使用方便的显影单元检修机构。
6.(二)技术方案
7.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：本实用新型的一种使用方便的显影单元检修机构，包括基座、第一安装板、第二安装板以及顶架，所述基座为矩形基座，所述第一安装板安装在基座的顶部，所述第二安装板安装在基座的底部，所述第一安装板以及第二安装板的两端设有滑块，且所述滑块与基座之间设有滑槽连接，所述第一安装板与第二安装板之间设有安装槽，所述安装槽内设有风机，且所述风机安装在第一安装板板上，所述第二安装板上设有安装口，所述安装口位于第二安装板的前侧以及后侧，且贯穿第二安装板，所述顶架安装在基座的顶部，且位于第二安装板的上方，所述顶架与基座之间设有支撑杆连接，所述顶架与第二安装板之间设有单元槽，所述基座的四边设有挡板，且所述挡板设有安装孔，所述安装孔内设有安装螺栓并与基座连接，所述挡板上设有散热口，所述散热口设有多个。
8.为了提高防尘效果，本实用新型改进有，所述散热口上设有防尘网。
9.为了提高防尘网的使用效果，本实用新型改进有，所述防尘网设有多层，且所述防尘网的材质为耐高温纤维。
10.为了方便调节支撑架，本实用新型改进有，所述基座上设有伸缩槽，且所述伸缩槽贯穿基座并位于基座的四个角的位置，所述支撑杆插入伸缩槽内，所述伸缩槽上设有第二固定孔，所述支撑杆上设有第一固定孔，且所述第一固定孔设有多个，所述支撑杆与伸缩槽之间通过第一固定孔以及第二固定孔连接，且所述第一固定孔与第二固定孔之间设有固定螺栓固定。
11.为了提高稳定性，本实用新型改进有，所述基座两侧的挡板上设有连接孔，所述连接孔上设有连接螺栓，所述连接螺栓贯穿基座以及滑块与第二安装板连接。
12.为了提高顶架的使用性，本实用新型改进有，所述顶架上设有提手，所述提手上设有防滑纹。
13.(三)有益效果
14.与现有技术相比，本实用新型提供了一种使用方便的显影单元检修机构，具备以下有益效果：
15.该使用方便的显影单元检修机构通过第一安装板以及第二安装板两侧的滑块与基座上的滑槽连接，方便在对安装在二安装板上显影单元检修时将第二安装板向外拉出，使检修更加方便，通过安装在第一安装板上的风机方便对显影单元进行通风散热，提高显影单元的使用效率，并通过挡板对风机进行防尘处理，以及顶架对显影单元进行防尘处理，挡板上的散热口通过防尘网达到在通风散热的同时进行防尘。
附图说明
16.图1为本实用新型的结构示意图；
17.图2为本实用新型图的正视结构示意图；
18.图3为本实用新型图的侧视结构示意图；
19.图4为本实用新型图的顶视结构示意图；
20.图中：1、基座；2、第一安装板；3、第二安装板；4、滑槽；5、支撑杆； 6、第一固定孔；7、第二固定孔；8、顶架；9、风机；10、挡板；11、安装孔；12、散热口；13、安装口；14、滑块；15、连接孔；16、防滑纹；17、提手；
具体实施方式
21.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
22.请参阅图1
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4，本实用新型的一种使用方便的显影单元检修机构，包括基座1、第一安装板2、第二安装板3以及顶架8，所述基座1为矩形基座，所述第一安装板2安装在基座1的顶部，所述第二安装板3安装在基座1的底部，所述第一安装板2以及第二安装板3的两端设有滑块14，且所述滑块14 与基座1之间设有滑槽4连接，所述第一安装板2与第二安装板3之间设有安装槽，所述安装槽内设有风机9，且所述风机9安装在第一安装板2板上，所述第二安装板3上设有安装口13，所述安装口13位于第二安装板3的前侧以及后侧，且贯穿第二安装板3，所述顶架8安装在基座1的顶部，且位于第二安装板3的上方，所述顶架8与基座1之间设有支撑杆5连接，所述顶架8 与第二安装板3之间设有单元槽，所述基座1的四边设有挡板10，且所述挡板10设有安装孔11，所述安装孔11内设有安装螺栓并与基座1连接，所述挡板10上设有散热口12，所述散热口12设有多个。
23.本实用新型的使用方便的显影单元检修机构在使用时，通过第一安装板2 以及第二安装板3两侧的滑块14与基座1上的滑槽4连接，方便在对安装在二安装板上显影单元检
修时将第二安装板3向外拉出，使检修更加方便，通过安装在第一安装板2上的风机9方便对显影单元进行通风散热，提高显影单元的使用效率，并通过挡板10对风机9进行防尘处理，以及顶架8对显影单元进行防尘处理，对风机9检修时，同样可以将第一安装板2拉出既而实现风机9的快速检修，挡板10上的散热口12通过防尘网达到在通风散热的同时进行防尘，顶架8通过支撑杆5安装在基座1上，挡板10通过安装孔11 以及安装螺栓与基座1连接，在检修时通过拆除安装螺栓快速将挡板10与基座1分离，通过第二安装板3上的安装口13使显影单元更加方便与第二安装板3连接。
24.为了提高防尘效果，本实用新型改进有，所述散热口12上设有防尘网。
25.为了提高防尘网的使用效果，本实用新型改进有，所述防尘网设有多层，且所述防尘网的材质为耐高温纤维，通过耐高温纤维使防尘网可承受的温度更高，使用寿命也更长。
26.为了方便调节支撑架，本实用新型改进有，所述基座1上设有伸缩槽，且所述伸缩槽贯穿基座1并位于基座1的四个角的位置，所述支撑杆5插入伸缩槽内，所述伸缩槽上设有第二固定孔7，所述支撑杆5上设有第一固定孔 6，且所述第一固定孔6设有多个，所述支撑杆5与伸缩槽之间通过第一固定孔6以及第二固定孔7连接，且所述第一固定孔15与第二固定孔15之间设有固定螺栓固定，以便调节顶架8的高度，配合显影单元的尺寸。
27.为了提高稳定性，本实用新型改进有，所述基座1两侧的挡板10上设有连接孔15，所述连接孔15上设有连接螺栓，所述连接螺栓贯穿基座1以及滑块14与第二安装板3连接，防止第二安装板3发生滑动。
28.为了提高顶架8的使用性，本实用新型改进有，所述顶架8上设有提手 17，所述提手17上设有防滑纹16。
29.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。