一种舟传输装置的制作方法

1.本实用新型属于半导体制造及太阳能光伏电池制造领域领域，尤其涉及半导体制造和光伏电池片的制备工序。


背景技术：

2.目前光伏电池片的制备设备，如扩散炉、退火炉、氧化炉、lpcvd、pecvd 等大多使用多管设备，多管设备共用一个净化台和上下料设备，净化台中包括舟传输机构，舟传输机构在净化台内来回传输。
3.舟传输机构将已工艺的舟传向上下料设备，并从上下料设备接过未工艺的舟传到净化台内部，舟传输机构对舟的传输是长期间隙运行的，以保证整体设备的运行，一旦舟传输机构出现问题，整台多管设备都得停机维护。
4.随着市场对产能要求的不断提高，对硅片尺寸的要求越来越大，舟传输的稳定性和可靠性要求都很高，本实用新型提供了一种稳定可靠的舟传输装置。


技术实现要素：

5.本实用新型为了克服现有技术的不足，提供一种舟传输装置。
6.为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：一种舟传输装置,其特征在于：包括安装舟的舟托板组件、用于传输舟托板组件的传输机构和调整机构，所述舟托板组件包括支撑结构和限位结构，支撑结构用于对舟的支撑，限位结构用于对舟的限位，调整机构由第一调整固定块、第二调整固定块以及调整杆构成，传输机构包括支板，支板两侧分别设有护板，调整机构通过调整护板以适应不同舟托板组件的传输。
7.进一步的；所述传输机构位于机架上，传输机构包括驱动组件和张紧组件，驱动组件和张紧组件分别位于支板的两端，驱动组件通过第二皮带对舟托板组件进行传输，张紧组件控制第二皮带的张紧力，所述传输机构包括固设在支板上的压块，压块两侧固设有压板，第二皮带位于压板和支板之间，压板限制第二皮带在纵向的移动，支板上固设有位于第二皮带下方的垫板，垫板的上固设有与第二皮带宽度相配的压槽，第二皮带依次穿过压槽，限制了第二皮带的横向晃动。
8.进一步的；所述驱动组件包括第一固定箱和第二固定箱，第一固定箱连接有驱动电机，驱动电机的输出轴转动贯穿第一固定箱，第二固定箱内转动设置有转杆，位于第一固定箱内的驱动电机输出轴以及位于第二固定箱转杆分别固设有第一转动轮，两组第一转动轮通过第一皮带连接，第一固定箱和第二固定箱间设有调节杆，第二固定箱上固设有张紧调节孔，张紧调节孔内设有螺钉，螺钉在张紧调节孔内的顶伸调整第一固定箱和第二固定箱的间距，控制第一皮带的张紧力，转杆上固设有第二转动轮，第一固定箱和第二固定箱安装在支板上。进一步的；所述张紧组件包括固板、连接板以及张紧板，固板与连接板固设连接，固板上固设有调节孔，连接板上固设有定位腔，定位腔上固设有移动孔，张紧板设有两组且对称分布，张紧板包括悬臂和张紧转板，悬臂安装在定位腔，定位腔为悬臂的安装进行
定位，悬臂上固设有多组移动槽，紧固件依次通过移动槽和移动孔将张紧板连接，张紧转板上转动设置有第三转动轮，第三转动轮与第二转动轮通过第二皮带连接，螺钉贯穿调节孔与悬臂端面相抵，通过螺钉在调节孔内的移动调节悬臂端面与固板的距离，控制第二皮带的张紧力。
9.进一步的；所述护板限定舟托板组件的传输范围，护板两端固设有导向板，导向板朝支板外侧延伸，便于舟托板组件导入和导出传输机构，护板上固设有传感器孔和传感器，传感器通过传感器孔对舟托板组件进行监测。
10.进一步的；所述第一调整固定块固设于机架上，第二调整固定块固设于支板上，导向板位于第二调整固定块上方，通过调整杆的调整，第二调整固定块驱动导向板上移。
11.进一步的；所述舟托板组件包括托板，托板两端对称固设有竖板，竖板的相对侧面分别固设有支撑结构，支撑结构包括支撑杆、位于支撑杆外侧的支撑环和支撑环限位块，支撑杆外表面固设有第一缓冲圈，缓冲支撑环与支撑杆的硬碰撞，支撑环限位块固设于支撑杆端部对支撑环限位，支撑环限位块的上部体积小于下部体积，支撑环限位块的上部与支撑环无接触，支撑环固设有倒角，支撑环限位块下部与支撑环无接触。
12.进一步的；所述限位结构包括两组，分别位于竖板上侧，限位结构包括固定架、限位杆和限位筒，限位杆固设在固定架上，限位筒位于限位杆外侧，限位杆外表面固设有第二缓冲圈，缓冲限位筒与限位杆的硬碰撞，通过两组限位结构对舟进行限位。
13.进一步的；所述支板的长度与传输机构对舟托板组件的传输行程相配，同一侧面的两组支撑结构的间距与舟的支撑腔相配，避免舟的横向偏移，垫板的材料采用聚四氟乙烯，支撑环和限位筒的材质可采用石英、peek材料或刚玉陶瓷。
14.综上所述，本实用新型的有益之处在于：
15.1)、本实用新型采用支撑结构对舟进行支撑，通过限位结构对舟进行限位，保证舟在传输过程中的稳定性。
16.2)、本实用新型通过螺钉在张紧调节孔内的顶伸控制控制第一皮带的张紧力以及张紧组件调节第二皮带的张紧力，调节结构简单，操作方便，保证了第一皮带和第二皮带传动的稳定性。
17.3)、本实用新型设计护板保证舟托板组件在一定范围内传送，保证舟托板组件传动的稳定性和可靠性。
18.4)、本实用新型采用调整机构对护板进行调整，以便适应不同舟托板组件的传输。
19.5)、本实用新型在护板设有传感器对舟托板组件进行监测，保证了传输效率。
20.6)、本实用新型在第二皮带下方设计垫板，可有效避免第二皮带在横向的晃动，同时可使同第二皮带负重时不下陷，减小第二皮带的滑动摩擦力，保证第二皮带的传动效率。
附图说明
21.图1为本实用新型的装置示意图。
22.图2为本实用新型中传输机构的示意图。
23.图3为本实用新型中驱动组件的示意图。
24.图4为本实用新型中张紧组件的示意图一。
25.图5为本实用新型中张紧组件的示意图二。
26.图6为图2中a的放大示意图。
27.图7为本实用新型中舟托板组件的示意图。
28.图8为本实用新型中支撑结构和限位结构的分解示意图。
29.图中标识：机架1、传输机构2、舟3、舟托板组件4、封板20、驱动组件 21、支板22、调整机构23、护板24、垫板26、第二皮带27、压块28、张紧组件29、第一固定板210、驱动电机211、第一固定箱212、第二固定箱213、第一皮带214、第一转动轮215、张紧调节孔216、第二转动轮217、调节杆218、第二固定板219、第一调整固定块231、第二调整固定块232、调整杆233、导向板241、传感器孔242、压板281、固板291、连接板292、张紧板293、第三转动轮294、调节孔2911、定位腔2921、移动孔2922、悬臂2931、移动槽2932、张紧转板2933、托板41、竖板42、支撑结构43、限位结构44、支撑环431、支撑环限位块432、支撑杆433、第一缓冲圈434、倒角4311、固定架441、限位筒442、第二缓冲圈443、限位杆444。
具体实施方式
30.以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。
31.需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本实用新型的基本构想，遂图式中仅显示与本实用新型中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。
32.本实用新型实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后、横向、纵向
……
)仅用于解释在某一特定姿态下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
33.实施例一：
34.如图1
‑
8所示，一种舟传输装置，包括安装舟3的舟托板组件4和用于传输舟托板组件4的传输机构2，所述舟托板组件4包括支撑结构43和限位结构 44，所述支撑结构43用于对舟3的支撑，所述限位结构44用于对舟3的限位。
35.所述传输机构2位于机架1上，通过机架1对传输机构2进行支撑，所述传输机构2包括支板22、驱动组件21和张紧组件29，所述支板22的长度决定传输机构2对舟托板组件4的传输行程，所述驱动组件21和张紧组件29分别位于支板22长度方向的两端，驱动组件21通过第二皮带27对舟托板组件4进行传输，所述张紧组件29控制第二皮带27的张紧力。
36.所述驱动组件21包括第一固定箱212和第二固定箱213，所述第一固定箱 212连接有驱动电机211，所述驱动电机211的输出轴转动贯穿第一固定箱212，所述第二固定箱213内转动设置有转杆(图未标识)，位于第一固定箱212内的驱动电机211输出轴以及位于第二固定箱213转杆分别固设有第一转动轮215，两组第一转动轮215通过第一皮带214连接，所述第一固定箱212和第二固定箱213间设有两组调节杆218，所述第二固定箱213上固设有张紧调节孔216，张紧调节孔216内设有螺钉(图未显示)，通过螺钉在张紧调节孔216内的顶伸
使第一固定箱212相对于第二固定箱213进行移动，使两者的间距增大或缩小，进而控制第一皮带214的张紧力，所述转杆上固设有分别位于第一转动轮215 两侧的两组第二转动轮217，如图3所示，第一固定箱212和第二固定箱213安装在第二固定板上219，并通过第一固定板210与支板22固定连接。
37.如图4
‑
5所示，所述张紧组件29包括固板291、连接板292以及张紧板293，所述固板291与连接板292固设连接，所述固板291高度高于连接板292高度，所述固板291上固设有位于连接板292上方的两组调节孔2911，所述连接板292 上固设有两组定位腔2921，定位腔2921上固设有若干移动孔2922，所述张紧板293设有两组且对称分布，所述张紧板293包括悬臂2931和张紧转板2933，所述悬臂2931安装在定位腔2921，通过定位腔2921为悬臂2931的安装进行定位，悬臂2931上固设有多组移动槽2932，紧固件依次通过移动槽2932和移动孔2922将张紧板293连接，所述张紧转板2933上转动设置有第三转动轮294，所述第三转动轮294与第二转动轮217通过第二皮带27连接，螺钉贯穿调节孔 2911与悬臂2931端面相抵，通过螺钉在调节孔2911内的移动调节悬臂2931端面与固板291的距离，从而调节第三转动轮294与第二转动轮217的间距，进而控制第二皮带27的张紧力。
38.位于张紧组件29前侧的支板22上固设有压块28，所述压块28两侧固设有压板281，第二皮带27位于压板281和支板22之间，通过压板281限制第二皮带27在纵向的移动，避免第二皮带27发生偏移和晃动，保证第二皮带27传动的稳定性，所述支板22上固设有若干位于第二皮带27下方的垫板26，本实施例中，所述垫板26的材料采用聚四氟乙烯，垫板26的上固设有与第二皮带27 宽度相配的压槽(图未标识)，第二皮带27依次穿过压槽，可有效避免第二皮带 27在横向的晃动，同时可使同第二皮带27负重时不下陷，减小第二皮带27的滑动摩擦力，保证第二皮带27的传动效率，所述张紧组件29和压块28上固设有封板20。
39.如图2所示，在所述支板22宽度方向的两侧分别设有若干护板24，从而可限定舟托板组件4在一定范围内传送，避免舟托板组件4在传输过程中偏离过大，在所述护板24长度方向的两端固设有导向板241，所述导向板241朝支板 22外侧延伸，便于舟托板组件4导入和导出传输机构2。
40.所述护板24上固设有若干传感器孔242，护板24上固设有传感器(图未显示)，传感器通过传感器孔242对舟托板组件4进行监测，避免发生空传等问题，保证了传送的效率。
41.为保证能对不同的舟托板组件4在传输过程中进行限制，支板22设有对舟托板组件4进行调节的调整机构23，本实施例中，所述调整机构23位于两组护板24之间，所述调整机构23由第一调整固定块231、第二调整固定块232以及调整杆233构成，所述第一调整固定块231固设于机架1上，第二调整固定块 232固设于支板22上，所述导向板241位于第二调整固定块232上方，通过驱动调整杆233调整第一调整固定块231和第二调整固定块232的间距，并通过第二调整固定块232驱动导向板241上移，进而使护板24上移，从而可满足不同舟托板组件4的传输。
42.如图7
‑
8所示，所述舟托板组件4包括托板41，在托板41长度方向的两端对称固设有竖板42，两组竖板42的相对侧面分别固设有两组支撑结构43，同一侧面的两组支撑结构43的间距与舟3的支撑腔相配，避免舟3的横向偏移，所述支撑结构43包括支撑杆433、位于支撑杆433外侧的支撑环431和支撑环限位块432，所述支撑杆433外表面固设有第一缓冲圈434，有效避免在支撑舟 3时支撑环431与支撑杆433发生硬碰撞，支撑环限位块432固设于
支撑杆433 端部对支撑环431限位，所述支撑环限位块432设置为上部小、下部大的结构，避免支撑环限位块432的上部与支撑环431接触，支撑环431固设有倒角4311，避免支撑环限位块432下部与支撑环431接触，从而有效防止支撑环431因舟3 作用下压时与支撑环限位块432硬接触而损坏。
43.所述限位结构44包括两组，分别位于竖板42上侧，所述限位结构44包括固定架441、限位杆444和限位筒442，所述限位杆444固设在固定架441上，限位筒442位于限位杆444外侧，所述限位杆444外表面固设有第二缓冲圈443，有效避免对舟3进行限位时限位筒442与限位杆444发生硬碰撞，两组限位结构44分别位于舟3长度方向的两端，通过两组限位结构44有效对舟3进行限位，保证舟3在长度方向的稳定性。
44.所述支撑环431和限位筒442的材质可采用石英、peek材料或刚玉陶瓷。
45.在本实施例实施过程中，传输机构2的驱动组件21控制第二皮带27传动，第二皮带27传动带动位于舟托板组件4上的舟3移动，从而将已工艺的舟3传向上下料设备，将未工艺的舟3由上下料设备传到净化台，并通过上述的支撑结构43、限位结构44、张紧组件29、张紧调节孔216、护板24、传感器以及调整机构23保证传输机构2实现对舟3稳定以及可靠的传输。
46.在其他实施例中，第一皮带214、第二皮带27也可采用同步带。
47.显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本实用新型保护的范围。