一种晶圆理片器的制作方法

1.本实用新型涉及理片器的技术领域，特别涉及一种晶圆理片器。


背景技术：

2.晶圆片，又称硅晶片，是由硅锭加工而成的，通过专门的工艺可以在硅晶片上可是刻蚀出数以万计的晶体管，被广泛应用于集成电路的制造。这些被刻蚀出来的晶体管比人的的头发要细小上百倍。半导体通过控制电流来管理数据，形成各种文字、数字、声音、图像和色彩。他们被广泛用于集成电路，并间接地被地球上的每个人使用。
3.晶圆片在进行刻蚀时，需要设置平边来标明方向，因此需要将晶圆片理平，使得各个晶圆片的平边对其，现有的技术方案中采用理片器对其进行对其整理，首先将晶圆片依次排列放置在晶圆盒中，然后将晶圆盒一同放置在理片器上，通过理片器对晶圆盒内的晶圆进行整理。
4.现有的技术方案中存在的问题：(1)理片器的尺寸固定，对应能够整理的晶圆的尺寸也是固定的，难以根据不同尺寸的晶圆进行调节；(2)手动调节理片器，费时费力，工作效率较低。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的是提供一种晶圆理片器，其宽度尺寸能够根据晶圆的尺寸进行调节，实现对不同规格尺寸的晶圆的整理，采用电机驱动理片器的运动整理，大大提供理片器的工作效率。
6.本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：
7.一种晶圆理片器，包括主板、胶辊组件、挡架组件和驱动组件，所述胶辊组件转动安装在主板上，用于对晶圆的整理，所述挡架组件安装在主板的两侧，用于对晶圆盒的限位，所述驱动组件安装在胶辊组件的一端，用于驱动胶辊组件工作。
8.进一步的，所述挡架组件包括横臂、支臂和支撑板，至少两个所述横臂铰接在主板的第一端，且关于主板对称设置，至少两个所述横臂对称设置在主板的第二端，所述横臂的下部铰接有支臂，所述支臂远离横臂的一端与主板的侧面抵触，主板两端的两个横臂之间连接有支撑板。
9.进一步的，所述主板的侧面设置有限位板，所述限位板沿主板的高度方向设置有若干个。
10.进一步的，所述横臂呈弧形。
11.进一步的，所述胶辊组件包括轴固定块和胶辊，所述轴固定块对称安装在主板的两端，两个所述轴固定块之间转动安装有胶辊，所述胶辊的一端与驱动组件连接。
12.进一步的，所述驱动组件包括电机，所述电机通过联轴器与胶辊连接。
13.进一步的，所述横臂下部安装有连接板，所述支臂的一端与连接板铰接，并穿设有销轴。
14.进一步的，所述主板上安装有定位板，所述定位板架设在胶辊上部，实现对胶辊的限位。
15.进一步的，所述主板、胶辊组件均为尼龙材质。
16.进一步的，所述主板的下部安装有支撑脚，所述支撑脚的底部嵌设有防滑圈。
17.综上所述，本实用新型具有以下有益效果：
18.1.通过胶辊组件和挡架组件的设置，工作人员调节支臂插入不同高度的限位板中，实现支臂以不同的角度支撑横臂，以此实现横臂在竖直方向的高度的调节，从而实现挡架中放置的晶圆盒的高度的调节，使得本实用中的理片器能够适用于不同规格尺寸的晶圆的整理；
19.2.设置驱动组件为电机，电机驱动胶辊转动，通过电机进行驱动，大大提高了胶辊整理晶圆的工作效率；
20.3.在主板的四周设置支撑脚，在支撑脚的底部嵌设有防滑圈，通过防滑圈的设置，增大了支撑脚与地面之间的摩擦力，使得本实用中的理片器能够稳定放置在相应位置。
附图说明
21.图1是实施例中用于体现理片器的侧面结构示意图；
22.图2是实施例中用于体现理片器的正面结构示意图；
23.图中，1、主板；2、胶辊组件；201、固定块；202、胶辊；3、挡架组件；301、横臂；302、支臂；303、支撑板；4、驱动组件；401、电机；5、摩擦垫；7、连接板；8、销轴；9、限位板；10、定位板；11、支撑脚；12、防滑圈。
具体实施方式
24.为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图和具体实施方式对本实用新型提出的装置作进一步详细说明。根据下面说明，本实用新型的优点和特征将更清楚。需要说明的是，附图采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施方式的目的。为了使本实用新型的目的、特征和优点能够更加明显易懂，请参阅附图。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容能涵盖的范围内。
25.实施例：
26.一种晶圆理片器，如图1和2所示，包括主板1、胶辊组件2、挡架组件3和驱动组件4。胶辊组件2转动安装在主板1上，主板1为长方体形。胶辊组件2包括轴固定块201和胶辊202，轴固定块201对称安装在主板1的两端，两个轴固定块201之间转动安装有胶辊202，胶辊202的一端与驱动组件4连接，胶辊202的外部包裹有摩擦垫5，摩擦垫5能够增大胶辊202与待整理的晶圆之间的摩擦力，同时也对晶圆的外侧起到防护效果，避免晶圆被摩擦损坏。胶辊组件2用于对晶圆的整理。
27.如图1和2所示，在主板1的上部安装挡架组件3，挡架组件3安装在主板1的两侧，用
于对晶圆盒的限位，设置挡架组件3包括横臂301、支臂302和支撑板303，横臂301呈向上弯曲的圆弧形，两个横臂301铰接在主板1的第一端，且关于主板1的宽度中心对称设置，两个横臂301对称设置在主板1的第二端。横臂301下部安装有连接板7，支臂302的一端与连接板7铰接，并穿设有销轴8，支臂302远离横臂301的一端与主板1的侧面抵触，主板1两端的两个横臂301之间连接有支撑板303。
28.如图1和2所示，为了使得支臂302远离横臂301的一端能够稳定抵触在主板1的侧壁，在主板1的侧面设置有限位板9，限位板9沿主板1的高度方向设置有多个，支臂302的一端与横臂301铰接，另一端抵触在限位板9上，通过多层限位板9的设置，实现支臂302与横臂301之间不同角度的调节。
29.如图1和2所示，驱动组件4安装在胶辊组件2的一端，用于驱动胶辊202转动。驱动组件4包括电机401，电机401通过联轴器与胶辊202连接，实现电机401驱动胶辊202的转动。
30.如图1和2所示，为了防止胶辊202在工作中，从主板1上脱出，在主板1上安装有定位板10，定位板10的下部设置为圆弧形，定位板10架设在胶辊202上部，实现对胶辊202的限位。
31.如图1和2所示，设置主板1和胶辊202组件2均为尼龙材质，尼龙材质的主板1和胶辊202组件2具有刚度高、耐老化性能好、耐磨性好、尺寸稳定性好的优点。
32.如图1和2所示，为了提高本实用中的理片器在工作过程中的稳定性，在主板1的下部安装有支撑脚11，四个支撑脚11分别对称设置在主板1的四个角落，在支撑脚11的底部还嵌设有防滑圈12。
33.具体实施过程：在对晶圆盒内的晶圆进行整理时，先根据晶圆盒以及晶圆盒内晶圆的尺寸，对两侧横臂301之间的距离进行调节，首先转动支臂302，使支臂302抵触在相应高度的限位板9上，实现对主板1两侧的横臂301之间距离的调节，使得晶圆盒在竖直方向上的高度以及晶圆与胶辊202接触面积的调节；开始进行理片时，工作人员打开电机401开关，电机401带动胶辊202进行转动，对晶圆盒内的晶圆进行理平，从而实现对晶圆的快速高效理平。
34.以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
35.以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。