一种强脉冲极紫外光源系统的制作方法

技术特征：
1.一种强脉冲极紫外光源系统，其特征在于，包括：等离子体源(1)、真空腔室(4)、电极靶(6)、第一磁场线圈(7)、第二磁场线圈(9)、真空泵(16)、等离子体电源(10)和线圈电源(14)，所述等离子体源(1)与真空腔室(4)相连通，所述电极靶(6)设置于真空腔室(4)内腔下部，所述等离子体源(1)与等离子体电源(10)电连接，所述等离子体源(1)具有进气口(101)，所述等离子体源(1)位于进气口(101)下部区域具有放电区(102)，所述放电区(102)下部具有喷嘴(103)，所述进气口(101)通过放电区(102)与喷嘴(103)连通，所述喷嘴(103)侧面连通有导气口(104)，所述喷嘴(103)底部具有喷口(105)，所述真空腔室(4)顶部具有顶部开口，所述喷口(105)与顶部开口连通，所述喷嘴(103)所在区域外侧套装有第一磁场线圈(7)，所述电极靶(6)所在区域外侧套装有第二磁场线圈(9)，所述第一磁场线圈(7)和第二磁场线圈(9)通过线圈电源(14)提供电源，所述真空腔室(4)侧面具有引出口(8)，所述真空腔室(4)底部与真空泵(16)连通，所述真空腔室(4)与接地端(15)电连接。2.根据权利要求1所述的一种强脉冲极紫外光源系统，其特征在于，所述电极靶(6)与脉冲电源(13)电连接，所述脉冲电源(13)另一端与等离子体电源(10)电连接。3.根据权利要求1所述的一种强脉冲极紫外光源系统，其特征在于，所述等离子体源(1)与真空腔室(4)之间设置有第一绝缘垫(2)，所述真空腔室(4)的顶部开口内设置有第一绝缘套(3)。4.根据权利要求2所述的一种强脉冲极紫外光源系统，其特征在于，所述电极靶(6)包括：靶头(604)和导杆(606)，所述靶头(604)与导杆(606)连接，所述导杆(606)上具有连接孔(601)，所述连接孔(601)与脉冲电源(13)连接。5.根据权利要求4所述的一种强脉冲极紫外光源系统，其特征在于，所述导杆(606)上具有安装板，所述安装板上具有若干安装孔(602)，所述安装孔(602)内穿设有连接螺钉(17)与真空腔室(4)连接。6.根据权利要求4所述的一种强脉冲极紫外光源系统，其特征在于，所述靶头(604)外侧设置有循环冷却水管(605)，所述循环冷却水管(605)沿着导杆(606)延伸至真空腔室(4)外部。7.根据权利要求5所述的一种强脉冲极紫外光源系统，其特征在于，所述安装板与真空腔室(4)之间设置有第二绝缘套(19)，所述第二绝缘套(19)的截面形状呈t字形结构。8.根据权利要求7所述的一种强脉冲极紫外光源系统，其特征在于，所述连接螺钉(17)外套装有第三绝缘套(18)。9.根据权利要求2所述的一种强脉冲极紫外光源系统，其特征在于，所述等离子体电源(10)的正极输出端设置有反冲保护电路，所述反冲保护电路由单向二极管(11)和接触器(12)组成。10.根据权利要求1所述的一种强脉冲极紫外光源系统，其特征在于，所述电极靶(6)上方设置有隔板(5)，所述隔板(5)与电极靶(6)位置对应处设置有通过孔。

技术总结
本实用新型公开了一种强脉冲极紫外光源系统，其等离子体源与真空腔室相连通，电极靶设置于真空腔室内腔下部，等离子体源与等离子体电源电连接，等离子体源具有进气口，等离子体源位于进气口下部区域具有放电区，放电区下部具有喷嘴，进气口通过放电区与喷嘴连通，喷嘴侧面连通有导气口，喷嘴底部具有喷口，真空腔室顶部具有顶部开口，喷口与顶部开口连通，喷嘴所在区域外侧套装有第一线磁场圈，电极靶所在区域外侧套装有第二线磁场圈，第一线磁场圈和第二线磁场圈通过线圈电源提供电源，真空腔室侧面具有引出口，真空腔室底部与真空泵连通，真空腔室与接地端电连接，解决现有技术中需要产生稳定高效的13.5nm光源的技术问题。需要产生稳定高效的13.5nm光源的技术问题。需要产生稳定高效的13.5nm光源的技术问题。


技术研发人员：芶富均 陈波 陈建军
受保护的技术使用者：芶富均
技术研发日：2021.03.22
技术公布日：2021/11/24