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一种可精准调节出胶量的光刻胶用供给装置的制作方法

2021-11-25 10:02:00 来源:中国专利 TAG:


1.本实用新型涉及光刻胶领域,尤其涉及一种可精准调节出胶量的光刻胶用供给装置。


背景技术:

2.光刻胶又称光致抗蚀剂,由感光树脂、增感剂(见光谱增感染料)和溶剂三种主要成分组成的对光敏感的混合液体,感光树脂经光照后,在曝光区能很快地发生光固化反应,使得这种材料的物理性能,特别是溶解性、亲合性等发生明显变化,经适当的溶剂处理,溶去可溶性部分,得到所需图像。
3.传统的光刻胶供给装置在调节光刻胶的出胶量方面并不精准,常常带来不必要的浪费,由于光刻胶的价格相对比较昂贵,所以给厂家增加了不必要的支出,降低了厂家的利润。
4.因此,有必要提供一种可精准调节出胶量的光刻胶用供给装置解决上述技术问题。


技术实现要素:

5.本实用新型提供一种可精准调节出胶量的光刻胶用供给装置,解决了光刻胶供给装置在调节出胶量并不精准的问题。
6.为解决上述技术问题,本实用新型提供的一种可精准调节出胶量的光刻胶用供给装置包括底座,所述底座顶部的左侧固定连接有第一支撑柱,所述第一支撑柱上固定连接有支撑板,所述支撑板顶部的两侧均固定连接有防护板,所述支撑板顶部的左侧设置有储料罐,所述储料罐的顶部设置有控制盘,所述控制盘的外侧转动连接有框架,所述框架的顶部开设有限位孔,所述控制盘的顶部固定连接有移动块,所述移动块的顶部固定连接有限位杆,所述支撑板顶部的左侧固定连接有鼓风机。
7.优选的,所述支撑板顶部的两侧固定连接有支撑架,两个所述支撑架的顶部之间固定连接有置物板,所述置物板的顶部固定连接有滑杆,所述置物板的背面固定连接有齿轮齿,所述齿轮齿的背面固定连接有护板,所述护板的背面滑动连接有第二支撑板,所述第二支撑板的顶部设置有第一电机,所述第一电机的输出轴固定连接有齿轮,所述齿轮的正面固定连接有固定杆,所述固定杆的正面固定连接有置物箱,所述置物箱内壁的底部固定连接有水泵,所述置物箱的正面固定连接有辅助杆。
8.优选的,所述辅助杆的正面固定连接有出料管,所述出料管的底部螺纹连接有连接管,所述连接管的底部螺纹连接有通料管,所述通料管的底部固定连接有调节螺帽,所述调节螺帽的底部螺纹连接有调节块。
9.优选的,所述辅助杆的左侧固定连接有出风管,所述出风管的底部设置有出风嘴。
10.优选的,所述底座顶部的右侧固定连接有变频器,所述底座顶部的中部固定连接有放置箱,所述底座的顶部且位于放置箱的内部设置有第二电机,所述第二电机的两侧固
定连接有限位架,所述第二电机的输出轴连接有主动转动块,所述主动转动块的顶部固定连接有限位块,所述主动转动块转动连接有被动转动块,所述被动转动块的底部固定连接有转轴,所述转轴的底部固定连接有第二支撑柱。
11.优选的,所述第二支撑柱的顶部固定连接有转动杆,所述转动杆的顶部贯穿放置箱且延伸至放置箱的外部,所述转动杆的顶端固定连接有十字转动架,所述十字转动架的顶部固定连接有四个限位卡块,所述限位卡块的顶部设置有芯片。
12.与相关技术相比较,本实用新型提供的可精准调节出胶量的光刻胶用供给装置具有如下有益效果:
13.本实用新型提供一种可精准调节出胶量的光刻胶用供给装置,打开鼓风机,鼓风机通过出风管将风送到出风嘴,出风嘴将芯片上的灰尘吹掉,通过鼓风机除去芯片上的异物,使光刻胶与芯片的结合度更加完美,通过调节控制盘,控制盘的顶部与移动块固定连接,移动块的顶部与限位杆固定连接,框架的顶部开设有限位孔,限位孔用来限制限位杆的移动,通过调节控制盘来调节光刻胶的出胶量,这种方式可以有效的调节出胶量的多少,给厂家节约了生产成本,降底了不必要的支出,调节螺帽与调节块螺纹连接,来实现出胶量的多少,这种方式更加精确,可以得到想要的结果,通过打开第一电机使得辅助杆可以进行水平移动,更加灵活,通过打开第二电机使芯片进行高速转动,以此来使滴落的光刻胶在芯片上均匀的铺上。
附图说明
14.图1为本实用新型提供的可精准调节出胶量的光刻胶用供给装置的一种较佳实施例的结构示意图;
15.图2为图1所示框架的结构示意图;
16.图3为图1所示控制盘的结构示意图;
17.图4为图1所示第二支撑板的结构示意图;
18.图5为图1所示a处局部放大图的结构示意图;
19.图6为图1所示主动转动块的结构示意图。
20.图中标号:1、底座,2、第一支撑柱,3、支撑板,4、防护板,5、储料罐,61、控制盘,62、框架,63、限位孔,64移动块,65、限位杆,7、鼓风机,8、支撑架,9、置物板,10、滑杆,11、齿轮齿,12、护板,13、第二支撑板,14、第一电机,15、齿轮,16、固定杆,17、置物箱,18、辅助杆,19、出料管,201、连接管,202、通料管,203、调节螺帽,204、调节块,21、出风管,22、出风嘴,23、放置箱,24、第二电机,25、主动转动块,26、限位块,27、被动转动块,28、转轴,29、第二支撑柱,30、转动杆,31、十字转动架,32、限位卡块,33、芯片,34、变频器,35、水泵,36、限位架。
具体实施方式
21.下面结合附图和实施方式对本实用新型作进一步说明。
22.请结合参阅图1、图2、图3、图4、图5和图6,其中,图1为本实用新型提供的可精准调节出胶量的光刻胶用供给装置的一种较佳实施例的结构示意图;图2为图1所示框架的结构示意图;图3为图1所示控制盘的结构示意图;图4为图1所示第二支撑板的结构示意图;图5为图1所示a处局部放大图的结构示意图;图6为图1所示主动转动块的结构示意图。可精准
调节出胶量的光刻胶用供给装置包括底座1,所述底座1顶部的左侧固定连接有第一支撑柱2,所述第一支撑柱2上固定连接有支撑板3,所述支撑板3顶部的两侧均固定连接有防护板4,所述支撑板3顶部的左侧设置有储料罐5,储料罐 5的内部装有光刻胶,所述储料罐5的顶部设置有控制盘61,所述控制盘61 的外侧转动连接有框架62,所述框架62的顶部开设有限位孔63,所述控制盘 61的顶部固定连接有移动块64,所述移动块64的顶部固定连接有限位杆65,所述支撑板3顶部的左侧固定连接有鼓风机7,鼓风机7为三叶罗茨鼓风机,孔径为80cm,鼓风机7连接有外接电源。
23.所述支撑板3顶部的两侧固定连接有支撑架8,两个所述支撑架8的顶部之间固定连接有置物板9,所述置物板9的顶部固定连接有滑杆10,所述置物板9的背面固定连接有齿轮齿11,所述齿轮齿11的背面固定连接有护板12,护板12的背面开设有口与第二支撑板13配合使用,所述护板12的背面滑动连接有第二支撑板13,所述第二支撑板13的顶部设置有第一电机14,第一电机14为三相异步电机,连接有外接电源,水泵35连接有外接电源,所述第一电机14的输出轴固定连接有齿轮15,所述齿轮15的正面固定连接有固定杆 16,所述固定杆16的正面固定连接有置物箱17,所述置物箱17内壁的底部固定连接有水泵35,所述置物箱17的正面固定连接有辅助杆18,辅助杆18 的正面开设有与出料管19配合使用的凹槽。
24.所述辅助杆18的正面固定连接有出料管19,所述出料管19的底部螺纹连接有连接管201,所述连接管201的底部螺纹连接有通料管202,所述通料管202的底部固定连接有调节螺帽203,所述调节螺帽203的底部螺纹连接有调节块204,调节块204是可调节弹性物,调节螺帽203与调节块204配合使用。
25.所述辅助杆18的左侧固定连接有出风管21,所述出风管21的底部设置有出风嘴22。
26.所述底座1顶部的右侧固定连接有变频器34,变频器34为spf系列,连接有外接电源,所述底座1顶部的中部固定连接有放置箱23,所述底座1的顶部且位于放置箱23的内部设置有第二电机24,第二电机24为三相异步电机,连接有外接电源,所述第二电机24的两侧固定连接有限位架36,所述第二电机24的输出轴连接有主动转动块25,所述主动转动块25的顶部固定连接有限位块26,所述主动转动块25转动连接有被动转动块27,所述被动转动块27的底部固定连接有转轴28,所述转轴28的底部固定连接有第二支撑柱 29。
27.所述第二支撑柱29的顶部固定连接有转动杆30,所述转动杆30的顶部贯穿放置箱23且延伸至放置箱23的外部,所述转动杆30的顶端固定连接有十字转动架31,所述十字转动架31的顶部固定连接有四个限位卡块32,所述限位卡块32的顶部设置有芯片33。
28.本实用新型提供的可精准调节出胶量的光刻胶用供给装置的工作原理如下:
29.第一步:将芯片33放置在限位卡块32的顶部,打开鼓风机7,鼓风机7 通过出风管21将风送到出风嘴22,出风嘴22将芯片33上的灰尘吹掉,将储料罐5放置在支撑板3的顶部,将水泵35打开吸取光刻胶,通过调节控制盘 61,控制盘61的顶部与移动块64固定连接,移动块64的顶部与限位杆65 固定连接,框架62的顶部开设有限位孔63,限位孔63用来限制限位杆65的移动,通过调节控制盘61来调节光刻胶的出胶量;
30.第二步:调节螺帽203与调节块204螺纹连接,通过转动调节螺块来控制调节块204出口的大小,打开第一电机14,第一电机14的输出轴与齿轮15 固定连接,齿轮15与齿轮齿11啮合,齿轮15的正面通过固定杆16与置物箱 17连接,第一电机14输出轴的转动带动置物
箱17的运动,置物箱17的正面与辅助杆18固定连接,辅助杆18的表面固连接有出料管19、出风管21;
31.第三步:打开第二电机24,第二电机24的输出轴与主动转动块25固定连接,主动转动块25与被动转动块27转动连接,转动杆30的顶端与十字转动架31固定连接,十字转动架31的顶部与限位卡块32固定连接,限位卡块 32的顶部设置有芯片33,通过打开第二电机24使芯片33进行转动,工作结束后关闭第一电机14、第二电机24、鼓风机7和水泵35即可。
32.与相关技术相比较,本实用新型提供的可精准调节出胶量的光刻胶用供给装置具有如下有益效果:
33.打开鼓风机7,鼓风机7通过出风管21将风送到出风嘴22,出风嘴22 将芯片33上的灰尘吹掉,通过鼓风机7除去芯片33上的异物,使光刻胶与芯片33的结合度更加完美,通过调节控制盘61,控制盘61的顶部与移动块64 固定连接,移动块64的顶部与限位杆65固定连接,框架62的顶部开设有限位孔63,限位孔63用来限制限位杆65的移动,通过调节控制盘61来调节光刻胶的出胶量,这种方式可以有效的调节出胶量的多少,给厂家节约了生产成本,降底了不必要的支出,调节螺帽203与调节块204螺纹连接,来实现出胶量的多少,这种方式更加精确,可以得到想要的结果,通过打开第一电机14 使得辅助杆18可以进行水平移动,更加灵活,通过打开第二电机24使芯片 33进行高速转动,以此来使滴落的光刻胶在芯片33上均匀的铺上。
34.以上所述仅为本实用新型的实施例,并非因此限制本实用新型的专利范围,凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换,或直接或间接运用在其它相关的技术领域,均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。
再多了解一些

本文用于企业家、创业者技术爱好者查询,结果仅供参考。

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