弹性波装置的制作方法

技术特征：
1.一种弹性波装置，具备：支承基板，具有空洞部；压电膜，设置在所述支承基板上，使得覆盖所述空洞部；功能电极，设置在所述压电膜上，使得在俯视下与所述空洞部重叠；以及支承构件，配置在所述支承基板的所述空洞部，对所述压电膜进行支承，所述功能电极具有在与所述压电膜的厚度方向交叉的方向上排列的多个电极，所述多个电极包含：第1电极以及第2电极，在与所述压电膜的厚度方向交叉的方向上对置，且与相互不同的电位连接，从与所述第1电极延伸的方向正交的方向观察，相邻的所述电极重叠的区域为交叉区域，在俯视下，所述交叉区域与所述支承构件重叠。2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，所述压电膜包含铌酸锂或钽酸锂，所述弹性波装置利用了厚度剪切一阶模式的体波。3.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，所述压电膜包含铌酸锂或钽酸锂，在将所述压电膜的厚度设为d并将相邻的所述第1电极与所述第2电极的中心间距离设为p的情况下，d/p为0.5以下。4.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，所述压电膜包含铌酸锂、钽酸锂或氮化铝，所述功能电极是包含多对所述第1电极以及所述第2电极的idt电极。5.根据权利要求1～4中的任一项所述的弹性波装置，其中，所述支承构件在俯视下仅与一根所述电极重叠。6.根据权利要求5所述的弹性波装置，其中，所述支承构件在俯视下仅与所述压电膜中的设置有所述电极的区域重叠。7.根据权利要求5或6所述的弹性波装置，其中，具备多个所述支承构件，所述多个支承构件在俯视下与所述多个电极重叠，且各所述支承构件在俯视下分别仅与一根所述电极重叠。8.根据权利要求1～7中的任一项所述的弹性波装置，其中，至少一个所述支承构件的热导率为所述压电膜的热导率以上。9.根据权利要求8所述的弹性波装置，其中，至少一个所述支承构件包含金属。10.根据权利要求1～9中的任一项所述的弹性波装置，其中，所述功能电极包含多对所述第1电极以及所述第2电极，且具有相邻的两个所述电极为两个所述第1电极的部分，在将相邻的所述第1电极与所述第2电极的中心间距离设为p时，相邻的两个所述第1电极的中心间距离在2p
±
0.5p的范围内，所述支承构件在俯视下与相邻的两个所述第1电极之间的区域重叠。11.根据权利要求10所述的弹性波装置，其中，
所述支承构件在俯视下与相邻的两个所述第1电极之间的区域的中央重叠。12.根据权利要求10或11所述的弹性波装置，其中，所述压电膜具有相互对置的第1主面以及第2主面，在所述第1主面以及所述第2主面之中，所述第2主面是所述支承基板侧的主面，所述功能电极设置在所述压电膜的所述第2主面上，所述支承构件包含与所述第2电极相同种类的材料，且连接于与所述第2电极相同的电位。13.根据权利要求1～11中的任一项所述的弹性波装置，其中，所述压电膜具有相互对置的第1主面以及第2主面，在所述第1主面以及所述第2主面之中，所述第2主面是所述支承基板侧的主面，所述功能电极设置在所述压电膜的所述第1主面上。

技术总结
本发明提供一种在支承基板设置有空洞部的情况下不易产生构造上的脆弱性的弹性波装置。本发明涉及的弹性波装置(1)具备：支承基板(2)，具有空洞部(10)；压电膜(3)，设置在支承基板(2)上，使得覆盖空洞部(10)；功能电极(4)，设置在压电膜(3)上，使得在俯视下与空洞部(10)重叠；以及支承构件(5)，配置在支承基板(2)的空洞部(10)，对压电膜(3)进行支承。功能电极(4)具有在与压电膜(3)的厚度方向交叉的方向上排列的多个电极。多个电极包含：第1电极(6)以及第2电极(7)，在与压电膜(3)的厚度方向交叉的方向上对置，且与相互不同的电位连接。从与第1电极(6)延伸的方向正交的方向观察，相邻的电极重叠的区域为交叉区域(A)。在俯视下，交叉区域(A)和支承构件(5)重叠。叉区域(A)和支承构件(5)重叠。叉区域(A)和支承构件(5)重叠。


技术研发人员：永友翔 岩本英树 中尾武志
受保护的技术使用者：株式会社村田制作所
技术研发日：2021.03.15
技术公布日：2021/11/23