基板支撑设备和基板支撑方法与流程

技术特征：
1.一种基板支撑设备，在其上安放由传送单元传送的基板，所述基板支撑设备包括：底板；第一底座部件，包括在所述底板上彼此间隔开的多个第一底座构件，使得所述基板安放在所述多个第一底座构件上且所述传送单元穿过所述多个第一底座构件；第二底座部件，安装在所述底板上，使得所述第二底座部件的至少一部分安置在所述第一底座构件之间且竖直地移动；以及固定部件，配置成将所述第二底座部件固定在所述第二底座部件向上移动到的位置处。2.根据权利要求1所述的基板支撑设备，其中所述第二底座部件包括：第二底座构件，提供为多个且安置在所述第一底座构件之间；连接构件，与所述第二底座构件连接；以及驱动构件，安装在所述底板与所述连接构件之间以竖直地移动所述连接构件。3.根据权利要求1所述的基板支撑设备，其中所述固定部件包括：柱构件，连接到所述第二底座部件以与所述第二底座部件一起竖直地移动；以及夹具，安置在所述柱构件的移动路径上以夹持所述柱构件。4.根据权利要求3所述的基板支撑设备，其中所述夹具包括：块构件，具有供所述柱构件穿过的通孔；以及紧密接触构件，安装为能够移动到所述块构件的内部空间以便紧密地接触插入到所述通孔中的所述柱构件。5.根据权利要求4所述的基板支撑设备，其中所述紧密接触构件能够在与所述柱构件的移动方向交叉的方向上移动，且凹槽形成于所述柱构件和所述紧密接触构件中的一个的至少一部分中，且所述柱构件和所述紧密接触构件中的另一个的至少一部分插入到所述凹槽。6.根据权利要求5所述的基板支撑设备，其中所述凹槽相对于所述紧密接触构件的移动方向倾斜或凹陷。7.根据权利要求2所述的基板支撑设备，进一步包括配置成调平所述第一底座构件和所述第二底座构件的水平调整部件。8.根据权利要求7所述的基板支撑设备，其中所述水平调整部件包括：第一水平调整构件，配置成调整所述第一底座构件中的每一个的竖直位置；以及第二水平调整构件，安装在所述连接构件与所述第二底座构件之间以调整所述第二底座构件中的每一个的竖直位置。9.根据权利要求8所述的基板支撑设备，其中所述第一底座部件进一步包括安装在所述底板上以支撑所述第一底座构件的支撑杆，且所述第一水平调整部件包括：第一调平器，安装在所述底板与所述第一底座构件之间以调整所述底板与所述第一底座构件之间的间隙；以及第二调平器，安装在所述支撑杆与所述第一底座构件之间以调整所述支撑杆与所述第一底座构件之间的间隙。10.根据权利要求7所述的基板支撑设备，其中所述第一底座部件和所述第二底座部件
连接到所述底板的顶表面，且所述水平调整部件包括：第三水平调整构件，配置成针对所述底板的各位置调整高度；以及第四水平调整构件，配置成调整所述底板与所述第一底座构件之间的各位置的间隙。11.根据权利要求8所述的基板支撑设备，其中所述水平调整部件进一步包括传感器，所述传感器配置成感测所述第一底座构件和所述第二底座构件中的每一个的水平状态。12.根据权利要求1到11中任一项所述的基板支撑设备，进一步包括配置成调整安置所述底板的高度的高度调整部件。13.根据权利要求12所述的基板支撑设备，其中所述高度调整部件包括：支撑构件，连接到所述底板的下部部分；升降构件，与所述支撑构件连接以竖直地移动所述支撑构件；以及控制器，配置成根据所述基板的厚度控制所述升降构件的操作。14.一种用于通过基板支撑设备支撑由传送单元传送的基板的基板支撑方法，包括：在一个方向上移动第二底座构件，使得安装在第一底座构件之间的所述第二底座构件在位置上低于多个间隔开的所述第一底座构件；将由所述传送单元支撑的所述基板传送到所述第一底座构件上，同时允许所述传送单元穿过所述第一底座构件之间的空间；将所述传送单元移动到所述第一底座构件之间的所述空间的外部；通过在与所述一个方向相反的方向上移动所述第二底座构件，允许所述第二底座构件接触所述基板；以及将所述第二底座构件固定在接触所述基板的位置处。15.根据权利要求14所述的用于通过基板支撑设备支撑由传送单元传送的基板的基板支撑方法，其中将所述第二底座构件固定包括通过夹持与所述第二底座构件一起移动的柱构件来限制所述第二底座构件的移动。16.根据权利要求14所述的用于通过基板支撑设备支撑由传送单元传送的基板的基板支撑方法，进一步包括：在将所述基板安放在所述第一底座构件上之前，检测所述第二底座构件与所述第一底座构件的水平状态；以及调平所述第一底座构件与所述第二底座构件。17.根据权利要求14所述的用于通过基板支撑设备支撑由传送单元传送的基板的基板支撑方法，进一步包括:在固定所述第二底座构件之后，调整安置在所述基板支撑设备上方以处理所述基板的基板处理设备与安放在所述第一底座构件和所述第二底座部件上的基板之间的距离。

技术总结
本发明涉及一种基板支撑设备和基板支撑方法。在基板支撑设备上安放由传送单元传送的基板，基板支撑设备包含：底板；第一底座部件，包含在底板上彼此间隔开的多个第一底座构件；第二底座部件，安置在第一底座构件之间且竖直地移动；以及固定部件，用于固定向上移动的第二底座部件，以便快速执行装载和卸载基板的操作且稳定地支撑基板。作且稳定地支撑基板。作且稳定地支撑基板。


技术研发人员：严泰骏 朴宰显 金钟元 林旻俊
受保护的技术使用者：AP系统股份有限公司
技术研发日：2021.05.12
技术公布日：2021/11/19