一种用于1053nm线偏振光的高激光损伤阈值反射式光寻址液晶空间光调制器的制作方法

技术特征：
1.一种用于1053nm线偏振光的高激光损伤阈值反射式光寻址液晶空间光调制器，包括偏振分光器(420-680nm)(1)、由计算机控制的lcos型电寻址空间光调制器(2)、起偏器(3)、液晶盒(4)、检偏器(5)和交流稳压电源(6)，其特征在于，所述的液晶盒(4)由透明导电膜增透膜层(41)、透明导电膜基底层(42)、第一透明导电层(43)、第一液晶取向层(44)、液晶层(45)、取向子(46)、第二液晶取向层(47)、反射膜层(48)、光导层(49)、第二透明导电层(410)组成，所述第一透明导电层(43)和第二透明导电层(410)使用不同材料，所述光导层(49)兼作为第二透明导电层(410)的基底层，并使用与透明导电膜基底层(42)不同的材料，所述反射膜层(48)位于第二液晶取向层(47)和光导层(49)之间，第一透明导电层(43)和第二透明导电层(410)之间连接有交流稳压电源(6)，取向子(46)位于第一液晶取向层(44)和第二液晶取向层(47)之间，围绕在液晶层(45)周围。2.根据权利要求1所述的反射式光寻址液晶空间光调制器，其特征在于，读出光从所述的透明导电膜增透膜层(41)入射后，依次经透明导电膜基底层(42)、第一透明导电层(43)、第一液晶取向层(44)、液晶层(45)、第二液晶取向层(47)传递后，经反射膜层(48)反射后原路返回并输出；写入光从所述的第二透明导电层(410)入射后，对光导层(49)上的电信号进行调制后，经反射膜层(48)反射后原路返回。3.根据权利要求1所述的反射式光寻址液晶空间光调制器，其特征在于，所述第一透明导电层(43)对1053nm偏振光透过率>70％，对脉宽10ns的1053nm脉冲光损伤阈值>1j/cm2。4.根据权利要求1-3任一所述的反射式光寻址液晶空间光调制器，其特征在于，所述第一透明导电层(43)为n型掺硅氮化镓薄膜或p型掺镁氮化镓薄膜，载流子浓度为1*10
18
cm-3
～1*10
19
cm-3
，厚度均为0.3～0.5mm。5.根据权利要求1-3任一所述的反射式光寻址液晶空间光调制器，其特征在于，所述第二透明导电层(410)为透明导电层。6.根据权利要求1-5任一所述的反射式光寻址液晶空间光调制器，其特征在于，所述第二透明导电层(410)使用的材料为氧化铟锡(ito)。7.根据权利要求1-5任一所述的反射式光寻址液晶空间光调制器，其特征在于，所述光导层(49)使用的材料为硅酸铋(bso)。

技术总结
一种用于1053nm线偏振光光束整形的高激光损伤阈值反射式光寻址液晶空间光调制器，其结构包括由计算机控制的LCoS型电寻址空间光调制器、偏振分光器、起偏器、液晶盒、检偏器、交流稳压电源，其中液晶盒包括透明导电膜增透膜层、透明导电膜基底层、第一透明导电层、液晶取向层、液晶层、取向子、反射膜层、光导层、第二透明导电层组成。本发明通过将液晶盒中通光部分的透明导电层材料从ITO变更为氮化镓材料，相比现有的液晶空间光调制器使用的液晶盒，实现了对高能量激光的损伤阈值的提高，有利于在高功率激光装置中光束整形的应用。功率激光装置中光束整形的应用。功率激光装置中光束整形的应用。


技术研发人员：范薇 邢智博 黄大杰 程贺 夏刚
受保护的技术使用者：中国科学院上海光学精密机械研究所
技术研发日：2020.05.15
技术公布日：2021/11/19