1.本实用新型涉及光罩镭雕技术领域，具体为一种光罩镭雕用夹持机构。
背景技术：
2.光罩(英文:reticle, mask):在制作ic的过程中，利用光蚀刻技术，在半导体上形成图型，为将图型复制於晶圆上，必须透过光罩作用的原理，类似于冲洗照片时，利用底片将影像复制至相片上。业内又称光掩模版、掩膜版，该产品是由石英玻璃作为衬底，在其上面镀上一层金属铬和感光胶，成为一种感光材料，把已设计好的电路图形通过电子激光设备曝光在感光胶上,被曝光的区域会被显影出来，在金属铬上形成电路图形，成为类似曝光后的底片的光掩模版，然后应用于对集成电路进行投影定位，通过集成电路光刻机对所投影的电路进行光蚀刻，其生产加工工序为:曝光，显影，去感光胶，最后应用于光蚀刻。
3.光罩镭雕时需要对光罩进行夹持固定，现有的夹持机构结构单一，无法有效的提高光罩镭雕效率。
技术实现要素：
4.本实用新型的目的在于提供一种光罩镭雕用夹持机构，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种光罩镭雕用夹持机构, 包括光罩载台，所述光罩载台上开设放置槽，所述放置槽内对称安装两组夹紧组件，两组所述夹紧组件之间夹持待镭雕光罩，所述光罩载台下方设置底座，所述光罩载台与所述底座之间安装升降气缸和减震组件。
6.优选的，本申请提供的一种光罩镭雕用夹持机构，其中，每组所述的夹紧组件包括顶推气缸和顶紧板，所述顶推气缸安装于放置槽侧壁和顶紧板之间，所述顶紧板表面包覆橡胶层。
7.优选的，本申请提供的一种光罩镭雕用夹持机构，其中，所述减震组件设置两组，每组所述的减震组件均包括导向柱和减震弹簧，所述减震弹簧套设于导向柱外部。
8.优选的，本申请提供的一种光罩镭雕用夹持机构，其中，所述底座包括上座体、下座体和减震板，所述减震板安装于上座体和下座体之间。
9.优选的，本申请提供的一种光罩镭雕用夹持机构，其中，所述减震板采用橡塑海绵板。
10.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型结构设计新颖，能够实现对光罩载台的升降，同时能够夹持不同尺寸的光罩，提高了光罩镭雕效率；其中，采用的减震组件能够在光罩载台升降过程中起到减震作用，降低了光罩镭雕时的压力，此外，采用的底座还具有优异的减震和缓冲性能。
附图说明
11.图1为本实用新型结构示意图；
12.图2为本实用新型底座结构示意图；
13.图中：光罩载台1、放置槽2、光罩3、底座4、升降气缸5、顶推气缸6、顶紧板7、橡胶层8、导向柱9、减震弹簧10、上座体11、下座体12和减震板13。
具体实施方式
14.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
15.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、
ꢀ“
下”、
ꢀ“
内”、
ꢀ“
外”“前端”、
ꢀ“
后端”、
ꢀ“
两端”、
ꢀ“
一端”、
ꢀ“
另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、
ꢀ“
第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
16.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、
ꢀ“
设置有”、
ꢀ“
连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
17.请参阅图1
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2，本实用新型提供一种技术方案：一种光罩镭雕用夹持机构, 包括光罩载台1，所述光罩载台1上开设放置槽2，所述放置槽2内对称安装两组夹紧组件，两组所述夹紧组件之间夹持待镭雕光罩3，所述光罩载台1下方设置底座4，所述光罩载台1与所述底座4之间安装升降气缸5和减震组件。
18.本实用新型中，每组所述的夹紧组件包括顶推气缸6和顶紧板7，所述顶推气缸6安装于放置槽2侧壁和顶紧板7之间，所述顶紧板7表面包覆橡胶层8。
19.本实用新型中，减震组件设置两组，每组所述的减震组件均包括导向柱9和减震弹簧10，所述减震弹簧10套设于导向柱9外部。
20.此外，本实用新型中，底座4包括上座体11、下座体12和减震板13，所述减震板13安装于上座体11和下座体12之间，减震板13采用橡塑海绵板。
21.工作原理：将待镭雕光罩放置于放置槽内，之后控制顶推气缸工作，顶推气缸推动顶紧板将光罩固定，之后控制升降气缸工作，升降气缸控制光罩载台的升降，最后对固定后的光罩进行镭雕作业。
22.综上所述，本实用新型结构设计新颖，能够实现对光罩载台的升降，同时能够夹持不同尺寸的光罩，提高了光罩镭雕效率；其中，采用的减震组件能够在光罩载台升降过程中起到减震作用，降低了光罩镭雕时的压力，此外，采用的底座还具有优异的减震和缓冲性能。
23.对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而
且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
技术特征：
1.一种光罩镭雕用夹持机构, 包括光罩载台（1），其特征在于：所述光罩载台（1）上开设放置槽（2），所述放置槽（2）内对称安装两组夹紧组件，两组所述夹紧组件之间夹持待镭雕光罩（3），所述光罩载台（1）下方设置底座（4），所述光罩载台（1）与所述底座（4）之间安装升降气缸（5）和减震组件。2.根据权利要求1所述的一种光罩镭雕用夹持机构，其特征在于：每组所述的夹紧组件包括顶推气缸（6）和顶紧板（7），所述顶推气缸（6）安装于放置槽（2）侧壁和顶紧板（7）之间，所述顶紧板（7）表面包覆橡胶层（8）。3.根据权利要求1所述的一种光罩镭雕用夹持机构，其特征在于：所述减震组件设置两组，每组所述的减震组件均包括导向柱（9）和减震弹簧（10），所述减震弹簧（10）套设于导向柱（9）外部。4.根据权利要求1所述的一种光罩镭雕用夹持机构，其特征在于：所述底座（4）包括上座体（11）、下座体（12）和减震板（13），所述减震板（13）安装于上座体（11）和下座体（12）之间。5.根据权利要求4所述的一种光罩镭雕用夹持机构，其特征在于：所述减震板（13）采用橡塑海绵板。
技术总结
本实用新型公开了一种光罩镭雕用夹持机构，包括光罩载台，光罩载台上开设放置槽，放置槽内对称安装两组夹紧组件，两组夹紧组件之间夹持待镭雕光罩，光罩载台下方设置底座，光罩载台与底座之间安装升降气缸和减震组件，本实用新型结构设计新颖，能够实现对光罩载台的升降，同时能够夹持不同尺寸的光罩，提高了光罩镭雕效率。镭雕效率。镭雕效率。
技术研发人员：郑永庆 张衡 陈宏渊
受保护的技术使用者：艾斯尔光电（南通）有限公司
技术研发日：2021.04.15
技术公布日：2021/11/17
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