基于MEMS阵列的车载成像装置的制作方法

技术特征：
1.基于mems阵列的车载成像装置，其特征在于：包括：光源：用于发射多束平行光组成粗光束；mems微振镜阵列机构：将光源发射的粗光束反射；成像透镜：具有正焦距，用于将mems微振镜阵列机构反射的光束汇聚，成实像；或者，具有负焦距，用于将mems微振镜阵列机构反射的光束发散，成虚像。2.如权利要求1所述的基于mems阵列的车载成像装置，其特征在于：所述光源和mems微振镜阵列机构之间的光路上还设有至少一块分束镜。3.如权利要求2所述的基于mems阵列的车载成像装置，其特征在于：所述光源和mems微振镜阵列机构之间的光路上还设有一块分束镜，所述光源发射的粗光束一部分经过分束镜反射到mems微振镜阵列机构上，粗光束的另一部分透过分束镜。4.如权利要求3所述的基于mems阵列的车载成像装置，其特征在于：所述分束镜的透光率为50％，反射率为50％。5.如权利要求2所述的基于mems阵列的车载成像装置，其特征在于：所述光源和mems微振镜阵列机构之间的光路上还设有两块平行设置的分束镜，分别为第一分束镜和第二分束镜，所述光源发出的粗光束一部分通过第一分束镜反射到mems微振镜阵列机构上，粗光束的另一部分透过第一分束镜照射到第二分束镜上，照射到第二分束镜上的粗光束一部分反射到mems微振镜阵列机构上，另一部分透过第二分束镜。6.如权利要求5所述的基于mems阵列的车载成像装置，其特征在于：所述第一分束镜的透光率为75％，反射率为25％；第二分束镜的透光率为50％，反射率为50％。7.如权利要求1所述的基于mems阵列的车载成像装置，其特征在于：所述mems微振镜阵列机构包括多个按矩形阵列排布的mems微振镜。8.如权利要求1所述的基于mems阵列的车载成像装置，其特征在于：所述成像透镜具有正焦距，成像透镜为菲涅尔透镜或者菲涅尔透镜组。9.如权利要求1所述的基于mems阵列的车载成像装置，其特征在于：所述成像透镜具有负焦距，所述成像透镜为凹透镜或者凹透镜与一个或多个透镜的组合。10.如权利要求1所述的基于mems阵列的车载成像装置，其特征在于：所述光源发射的光束为单色光束；或者，所述光源发射的光束为r、g、b三色混合光束。

技术总结
本实用新型公开了基于MEMS阵列的车载成像装置，包括：光源：用于发射多束平行光组成粗光束；MEMS微振镜阵列机构：将光源发射的粗光束按一定角度反射；成像透镜：具有正焦距，用于将MEMS微振镜阵列机构反射的光束汇聚成实像；或者，具有负焦距，用于将MEMS微振镜阵列机构反射的光束发散成虚像。本实用新型的优点是：通过平行粗光束的光源与MEMS微振镜阵列机构配合，不需要荧幕也可以实现大的眼盒范围观看，而且采用MEMS微振镜阵列机构相对于单个MEMS微振镜，能进一步缩小MEMS部分所占用的空间，从而实现小体积大视场的目的。从而实现小体积大视场的目的。从而实现小体积大视场的目的。


技术研发人员：朱幸福 江培应 彭显楚 侯健
受保护的技术使用者：浙江棱镜全息科技有限公司
技术研发日：2020.12.29
技术公布日：2021/11/16