一种氮化硼坩埚的气相沉积炉的制作方法

技术特征：
1.一种氮化硼坩埚的气相沉积炉，其特征在于，包括炉体，所述炉体的内壁上设置有保温隔热层；所述炉体内设置有石墨筒体；所述石墨筒体的外壁上沿竖直方向等间距的设置有若干圈加热电阻丝，由所述石墨筒体的中部分别至其顶部和底部的各圈所述加热电阻丝的阻值呈对称渐变设置；所述石墨筒体内设置有坩埚模具；所述石墨筒体连通的设置有抽真空机构；所述炉体的底部设置有至少一根进气管，所述进气管连通至所述石墨筒体的底部设置，所述进气管上设置有第一控制阀。2.根据权利要求1所述的氮化硼坩埚的气相沉积炉，其特征在于，若干圈所述加热电阻丝采用并联连接，由所述石墨筒体的中部分别至其顶部和底部的各圈所述加热电阻丝的阻值呈逐渐减小设置。3.根据权利要求1所述的氮化硼坩埚的气相沉积炉，其特征在于，若干圈所述加热电阻丝采用串联连接，由所述石墨筒体的中部分别至其顶部和底部的各圈所述加热电阻丝的阻值呈逐渐增加设置。4.根据权利要求2或3任一项所述的氮化硼坩埚的气相沉积炉，其特征在于，所述炉体设置于支架上，所述炉体包括炉身和分离的覆盖于所述炉身上的炉盖，所述炉盖与炉身之间设置有至少两圈密封圈；所述支架上设置有驱动所述炉盖沿竖直方向上下移动的提升机构。5.根据权利要求4所述的氮化硼坩埚的气相沉积炉，其特征在于，所述抽真空机构包括设置于所述炉盖顶端的抽气腔，所述抽气腔的一侧连通的设置有抽气管，所述抽气管通过高压伸缩管连通至真空泵的输入端，所述抽气管上设置有第二控制阀，所述石墨筒体的顶部分离的覆盖有密封盖，所述密封盖与炉盖之间设置有将所述抽气腔与石墨筒体相连通的竖管。6.根据权利要求5所述的氮化硼坩埚的气相沉积炉，其特征在于，所述炉体的顶部固定设置有伸入所述石墨筒体内驱动所述坩埚模具转动的驱动机构；所述驱动机构包括沿竖直方向穿过所述抽气腔和竖管并与所述坩埚模具固定连接的轴杆，所述轴杆通过密封轴承与所述抽气腔转动连接，所述轴杆的顶端固定套接有从动锥齿轮，所述从动锥齿轮的一侧啮合的设置有主动锥齿轮，所述主动锥齿轮的一侧设置有驱动电机，所述驱动电机的输出端通过减速箱与所述主动锥齿轮传动连接。7.根据权利要求6所述的氮化硼坩埚的气相沉积炉，其特征在于，所述提升机构包括固定设置于所述支架上位于所述炉体上方的两组提升气缸，所述提升气缸的伸缩端竖直向下设置，所述提升气缸的伸缩端均与所述炉盖的顶面固定连接。8.根据权利要求7所述的氮化硼坩埚的气相沉积炉，其特征在于，所述炉身的外周上套设有冷却水套，所述冷却水套的一侧靠近底端连通的设置有进水管，所述冷却水套的另一侧靠近顶端连通的设置有出水管。

技术总结
本实用新型公开了一种氮化硼坩埚的气相沉积炉，包括炉体，炉体的内壁上设置有保温隔热层；炉体内设置有石墨筒体；石墨筒体的外壁上沿竖直方向等间距的设置有若干圈加热电阻丝，由石墨筒体的中部分别至其顶部和底部的各圈加热电阻丝的阻值呈对称渐变设置；石墨筒体内设置有坩埚模具；石墨筒体连通的设置有抽真空机构；炉体的底部设置有至少一根进气管，进气管连通至石墨筒体的底部设置，进气管上设置有第一控制阀。本实用新型的气相沉积炉的炉内温度一致，确保了氮化硼坩埚的生产质量。确保了氮化硼坩埚的生产质量。确保了氮化硼坩埚的生产质量。


技术研发人员：何军舫 王军勇
受保护的技术使用者：博宇（朝阳）半导体科技有限公司
技术研发日：2021.07.02
技术公布日：2021/11/15