一种防吸合平板式MEMS振镜的制作方法

技术特征：
1.一种防吸合平板式mems振镜，包括上极板(1)和下极板(2)，所述上极板(1)的上表面设有镜面(3)，所述上极板(1)的一侧连接有悬臂(4)，其特征在于：所述悬臂(4)与所述下极板(2)之间设有阳极键合用微晶玻璃(5)，所述上极板(1)和所述下极板(2)之间设有至少一个防吸合支撑构件(6)。2.如权利要求1所述的一种防吸合平板式mems振镜，其特征在于：所述防吸合支撑构件(6)为悬梁结构，所述防吸合支撑构件(6)与所述阳极键合用微晶玻璃(5)一体成型。3.如权利要求2所述的一种防吸合平板式mems振镜，其特征在于：所述阳极键合用微晶玻璃(5)为las系统微晶玻璃或聚二甲基硅氧烷微晶玻璃。4.如权利要求2所述的一种防吸合平板式mems振镜，其特征在于：所述阳极键合用微晶玻璃(5)为本征绝缘硅。5.如权利要求4所述的一种防吸合平板式mems振镜，其特征在于：所述本征绝缘硅表面氧化一层致密的sio2层。6.如权利要求1所述的一种防吸合平板式mems振镜，其特征在于：所述防吸合支撑构件(6)为立柱，所述防吸合支撑构件(6)设置在所述下极板(2)的上表面。7.如权利要求6所述的一种防吸合平板式mems振镜，其特征在于：所述防吸合支撑构件(6)为sio2、sin、hfo2、yo2中的一种材料加工而成。8.如权利要求1至7中任一权利要求所述的一种防吸合平板式mems振镜，其特征在于：还包括支撑柱(7)，在阳极键合时，所述支撑柱(7)的两端分别抵在所述上极板(1)和所述下极板(2)上。9.如权利要求1至7中任一权利要求所述的一种防吸合平板式mems振镜，其特征在于：所述上极板(1)与所述悬臂(4)之间设有波形连接筋(8)。10.如权利要求1至7中任一权利要求所述的一种防吸合平板式mems振镜，其特征在于：所述镜面(3)为矩形、圆形、椭圆形、多边形中的一种。

技术总结
本发明公开了一种防吸合平板式MEMS振镜，包括上极板和下极板，所述上极板的上表面设有镜面，所述上极板的一侧连接有悬臂，所述悬臂与所述下极板之间设有阳极键合用微晶玻璃，所述上极板和所述下极板之间设有至少一个防吸合支撑构件。本发明通过在上极板和下极板之间设置防吸合支撑构件，当镜面向下极板方向移动时，镜面最多与防吸合支撑构件接触，而不会与下极板接触，从而有效防止吸合现象发生。从而有效防止吸合现象发生。从而有效防止吸合现象发生。


技术研发人员：李青云 毛德栋 王建生
受保护的技术使用者：毛德栋 王建生
技术研发日：2021.08.11
技术公布日：2021/11/14