低温泵及超低温制冷机防振结构的制作方法

技术特征：
1.一种低温泵，其特征在于，具备：低温泵真空容器；超低温制冷机；第1凸缘，固定于所述低温泵真空容器；第2凸缘，固定于所述超低温制冷机，所述第2凸缘与所述第1凸缘气密地连接；及环状层叠防振体，从所述第1凸缘朝向所述第2凸缘依次配置第1环状防振材料、第1环状支承部件、中间环状防振材料、第2环状支承部件及第2环状防振材料而成，所述第2环状支承部件固定于所述第1凸缘且所述第1环状支承部件固定于所述第2凸缘，使得所述第1凸缘及所述第2环状支承部件与所述第2凸缘及所述第1环状支承部件之间隔振。2.根据权利要求1所述的低温泵，其特征在于，还具备：第1紧固部件，以在所述第1凸缘与所述第2环状支承部件之间夹住并保持所述第1环状防振材料、所述第1环状支承部件及所述中间环状防振材料的方式将所述第2环状支承部件固定于所述第1凸缘；及第2紧固部件，以在所述第2凸缘与所述第1环状支承部件之间夹住并保持所述中间环状防振材料、所述第2环状支承部件及所述第2环状防振材料的方式将所述第1环状支承部件固定于所述第2凸缘。3.根据权利要求2所述的低温泵，其特征在于，所述第1紧固部件配置成不与所述第1环状支承部件及所述第2凸缘接触，所述第2紧固部件配置成不与所述第2环状支承部件及所述第1凸缘接触。4.根据权利要求2或3所述的低温泵，其特征在于，所述第1环状支承部件具有直径大于所述第1紧固部件的直径的第1插通孔，所述第2环状支承部件具有直径大于所述第2紧固部件的直径的第2插通孔。5.根据权利要求1至4中任一项所述的低温泵，其特征在于，在所述环状层叠防振体的中心轴方向上，所述中间环状防振材料形成为比所述第1环状防振材料厚。6.根据权利要求1至5中任一项所述的低温泵，其特征在于，在所述第1凸缘与所述第2凸缘之间形成有真空密封部，所述环状层叠防振体配置于所述真空密封部的径向外侧。7.根据权利要求6所述的低温泵，其特征在于，所述第1凸缘具有第1凸缘筒部，所述第2凸缘具有第2凸缘筒部，所述第1凸缘筒部和所述第2凸缘筒部中的一方插入到另一方，所述真空密封部具备配置于所述第1凸缘筒部与所述第2凸缘筒部之间的密封部件。8.根据权利要求6所述的低温泵，其特征在于，还具备波纹管作为所述真空密封部，所述第1凸缘与所述第2凸缘通过所述波纹管连接在一起。9.根据权利要求1至8中任一项所述的低温泵，其特征在于，所述环状层叠防振体由多个部分构成，所述多个部件彼此结合或彼此排列成环状从而形成所述环状层叠防振体。
10.一种超低温制冷机防振结构，其特征在于，具备：第1凸缘；第2凸缘，与所述第1凸缘气密地连接；及环状层叠防振体，从所述第1凸缘朝向所述第2凸缘依次配置第1环状防振材料、第1环状支承部件、中间环状防振材料、第2环状支承部件及第2环状防振材料而成，所述第2环状支承部件固定于所述第1凸缘且所述第1环状支承部件固定于所述第2凸缘，使得所述第1凸缘及所述第2环状支承部件与所述第2凸缘及所述第1环状支承部件之间隔振。11.根据权利要求10所述的超低温制冷机防振结构，其特征在于，还具备：第1紧固部件，以在所述第1凸缘与所述第2环状支承部件之间夹住并保持所述第1环状防振材料、所述第1环状支承部件及所述中间环状防振材料的方式将所述第2环状支承部件固定于所述第1凸缘；及第2紧固部件，以在所述第2凸缘与所述第1环状支承部件之间夹住并保持所述中间环状防振材料、所述第2环状支承部件及所述第2环状防振材料的方式将所述第1环状支承部件固定于所述第2凸缘。12.根据权利要求11所述的超低温制冷机防振结构，其特征在于，所述第1紧固部件配置成不与所述第1环状支承部件及所述第2凸缘接触，所述第2紧固部件配置成不与所述第2环状支承部件及所述第1凸缘接触。13.一种超低温制冷机防振结构，其特征在于，具备：第1凸缘；第2凸缘，与所述第1凸缘气密地连接；及层叠防振体，从所述第1凸缘朝向所述第2凸缘依次配置第1防振材料、第1支承部件、中间防振材料、第2支承部件及第2防振材料而成；第1固定部件，将所述第2支承部件固定于所述第1凸缘，并与所述第1凸缘及所述第2支承部件一同形成支承所述第1防振材料及所述中间防振材料的第1支承结构；及第2固定部件，将所述第1支承部件固定于所述第2凸缘，并与所述第2凸缘及所述第1支承部件一同形成支承所述中间防振材料及所述第2防振材料的第2支承结构，所述第1支承结构与所述第2支承结构通过所述第1防振材料、所述中间防振材料及所述第2防振材料而被隔振。14.根据权利要求13所述的超低温制冷机防振结构，其特征在于，所述第1固定部件配置成不与所述第1支承部件及所述第2凸缘接触，所述第2固定部件配置成不与所述第2支承部件及所述第1凸缘接触。15.根据权利要求13或14所述的超低温制冷机防振结构，其特征在于，所述第1固定部件具备第1紧固部件，所述第1紧固部件以在所述第1凸缘与所述第2支承部件之间夹住并保持所述第1防振材料、所述第1支承部件及所述中间防振材料的方式将所述第2支承部件固定于所述第1凸缘，所述第2固定部件具备第2紧固部件，所述第2紧固部件以在所述第2凸缘与所述第1支承部件之间夹住并保持所述中间防振材料、所述第2支承部件及所述第2防振材料的方式将所述第1支承部件固定于所述第2凸缘。
16.根据权利要求13至15中任一项所述的超低温制冷机防振结构，其特征在于，在所述第1凸缘与所述第2凸缘之间形成有真空密封部，所述层叠防振体配置于所述真空密封部的径向外侧。17.根据权利要求16所述的超低温制冷机防振结构，其特征在于，所述第1凸缘具有第1凸缘筒部，所述第2凸缘具有第2凸缘筒部，所述第1凸缘筒部和所述第2凸缘筒部中的一方插入到另一方，所述真空密封部具备配置于所述第1凸缘筒部与所述第2凸缘筒部之间的密封部件。18.根据权利要求16所述的超低温制冷机防振结构，其特征在于，还具备波纹管作为所述真空密封部，所述第1凸缘与所述第2凸缘通过所述波纹管连接在一起。19.根据权利要求13至18中任一项所述的超低温制冷机防振结构，其特征在于，多个层叠防振体彼此结合或彼此排列成环状。20.一种低温泵，其特征在于，具备：权利要求13至19中任一项所述的超低温制冷机防振结构；低温泵真空容器；及超低温制冷机，所述第1凸缘固定于所述低温泵真空容器，所述第2凸缘固定于所述超低温制冷机。

技术总结
低温泵(10)具备：低温泵真空容器(12)；超低温制冷机(14)；第1凸缘(28)，固定于低温泵真空容器(12)；第2凸缘(30)，固定于超低温制冷机(14)且与第1凸缘(28)气密地连接；及环状层叠防振体(32)，从第1凸缘(28)朝向第2凸缘(30)依次配置第1环状防振材料(38)、第1环状支承部件(40)、中间环状防振材料(42)、第2环状支承部件(44)及第2环状防振材料(46)而成。第2环状支承部件(44)固定于第1凸缘(28)且第1环状支承部件(40)固定于第2凸缘(30)，使得第1凸缘(28)及第2环状支承部件(44)与第2凸缘(30)及第1环状支承部件(40)之间隔振。支承部件(40)之间隔振。支承部件(40)之间隔振。


技术研发人员：中西嵩裕
受保护的技术使用者：住友重机械工业株式会社
技术研发日：2020.02.26
技术公布日：2021/11/14