用于锂离子电池阳极的组成调整的硅涂层的制作方法

技术特征：
1.一种用于锂电池的阳极，其包括：基底；根植于所述基底的纳米线阵列，每个纳米线具有表面；涂覆纳米线的大部分或全部表面的第一层，该层包含sie
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材料；以及在第一层、纳米线的任何暴露表面和基底上方的第二层，该第二层包含硅或sif
y
材料；其中x大于零且小于1；其中y大于零且小于1；并且其中e和f各自独立地选自氮、碳、硼、磷、氧、镁、铝、锗、锡、镍、铜及其组合。2.根据权利要求1所述的阳极，其中x在0.01和0.5之间。3.根据权利要求1所述的阳极，其中x在0.01和0.3之间。4.根据权利要求1所述的阳极，其中x在0.01和0.1之间。5.根据权利要求1所述的阳极，其中e的浓度分布在第一层的厚度上变化和/或f的浓度分布在第二层的厚度上变化。6.根据权利要求1所述的阳极，其中第二层的密度大于第一层的密度。7.根据权利要求1所述的阳极，其中第一层的平均密度小于2.1g/cm3。8.根据权利要求1所述的阳极，其中第二层的平均密度大于2.0g/cm3。9.根据权利要求1所述的阳极，其中第一层的密度在整个第一层中变化。10.根据权利要求1所述的阳极，其中第二层的密度在整个第二层中变化。11.根据权利要求1所述的阳极，其中第一层与纳米线模版非保形。12.根据权利要求1所述的阳极，其中第二层与第一层保形。13.根据权利要求1所述的阳极，还包括处在第二层上方的第三层，所述第三层不包含硅。14.根据权利要求1所述的阳极，其中所述纳米线模版包括硅化物纳米线。15.根据权利要求1所述的阳极，其中所述第一层在其最大直径处的厚度为约5至20微米。16.根据权利要求1所述的阳极，其中所述第二层的厚度为5至500纳米。17.根据权利要求1所述的阳极，其中所述第二层的厚度为5至100纳米。18.一种锂电池，其包括：如权利要求1所述的阳极；含锂的阴极；与阳极和阴极都离子连通的电解质。19.一种制造用于锂电池的阳极的方法，包括以下步骤：提供基底；从基底生长纳米线，每个纳米线具有表面；使用pecvd方法沉积第一层以涂覆纳米线的大部分或全部表面，该第一层包含第一富硅sie
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；使用热cvd方法在第一层、纳米线的任何暴露表面和基底上方沉积第二层，该第二层包含第二富硅sie
x
。20.根据权利要求19所述的方法，其中该pecvd方法是膨胀热等离子体方法。
21.根据权利要求19所述的方法，其中所述纳米线是硅化物纳米线。22.根据权利要求19所述的方法，其中在所述热cvd方法期间的腔室压力小于约2托。

技术总结
本文提供了用于锂离子电池电极的纳米结构和制造方法。在一些实施方案中，提供了涂覆有硅基涂层的纳米结构模版。所述硅涂层可以包括非保形的较多孔的富硅SiE


技术研发人员：C
受保护的技术使用者：安普瑞斯股份有限公司
技术研发日：2020.02.21
技术公布日：2021/11/14