用于薄膜微器件传感性能监测的夹具的制作方法

技术特征：
1.一种用于薄膜微器件传感性能监测的夹具，其特征在于，其包括主检测台和支脚；所述主检测台的下方设置有多个所述支脚；所述主检测台包括上台板、下台板、缓震定位筒、紧固组件和气泡水平仪，所述上台板与所述下台板依靠多个所述缓震定位筒和多个所述紧固组件固定连接，所述气泡水平仪设置在所述上台板的上表面；所述缓震定位筒包括定位外壳和定位柱，所述定位外壳的第一端连接所述上台板的下表面，所述定位外壳的第二端套设在所述定位柱的第一端的外部，所述定位柱的第二端连接所述下台板的上表面，所述紧固组件的第一端和第二端分别连接所述上台板的主体和所述下台板并伸出所述下台板，所述缓震定位筒与所述紧固组件间隔设置；所述支脚包括支撑杆和支撑脚，所述支撑杆的第一端连接所述下台板的下表面，所述支撑杆的第二端套设在所述支撑脚的第一端的内部。2.根据权利要求1所述的用于薄膜微器件传感性能监测的夹具，其特征在于，所述上台板和所述下台板上均匀的开设有多个螺纹孔，所述下台板上开设有多个用于连接支撑杆的连接孔，所述紧固组件能通过螺纹孔将所述上台板与所述下台连接。3.根据权利要求1所述的用于薄膜微器件传感性能监测的夹具，其特征在于，所述支撑杆的第二端能够调节伸入所述支撑脚内部的长度，从而对所述支脚进行升降调节。4.根据权利要求2所述的用于薄膜微器件传感性能监测的夹具，其特征在于，所述支撑杆通过所述连接孔与所述下台板固定链接，所述支脚的数量与所述连接孔的数量相等。5.根据权利要求1所述的用于薄膜微器件传感性能监测的夹具，其特征在于，所述定位外壳的上端设有贯通螺纹孔，所述定位柱的下端设有螺纹孔，所述定位柱与定位外壳之间设置有弹性元件。6.根据权利要求2所述的用于薄膜微器件传感性能监测的夹具，其特征在于，所述紧固组件包括加长螺杆、缓冲垫片和弹性法兰扣，所述加长螺杆通过螺纹孔固定在所述上台板和所述下台板上，所述加长螺杆上设置有两个所述缓冲垫片，所述弹性法兰扣设在所述加长螺杆与所述下台板接触处的下表面。7.根据权利要求2所述的用于薄膜微器件传感性能监测的夹具，其特征在于，所述支撑脚的第二端设置有胶垫。8.根据权利要求2所述的用于薄膜微器件传感性能监测的夹具，其特征在于，所述上台板和所述下台板上的螺纹孔数量相等。9.根据权利要求1所述的用于薄膜微器件传感性能监测的夹具，其特征在于，所述上台板的中心开设有多个安装孔，所述气泡水平仪通过安装孔固定在所述上台板上表面。

技术总结
本实用新型涉及一种用于薄膜微器件传感性能监测的夹具，其包括主检测台、缓震定位筒、和紧固组件。所述缓震定位筒安装在所述主检测台的内测，所述紧固组件安装在主检测台的外侧，所述主检测台包括上台板、下台板、支脚，所述缓震定位筒包括定位外壳、定位立柱，所述紧固组件包括加长螺杆、缓冲垫片，弹性法兰扣。本实用新型通过检测夹具固定所要检测的薄膜微器件，监测其传感性能，过程中避免了因手持操作所造成的微器件受力不当所引起的数据误差、错误甚至器件的损坏的问题，并能通过改进的紧固组件实现长时间的动态微数据监测以及短时均匀的冲击监测。均匀的冲击监测。均匀的冲击监测。


技术研发人员：关雪飞 郭文浩 袁洪魏 唐维 何晶靖
受保护的技术使用者：中国工程物理研究院研究生院
技术研发日：2021.04.12
技术公布日：2021/11/9