一种柔性神经电极结构及其制备方法与流程

技术特征：
1.一种柔性神经电极结构，其特征在于，包括探针结构(1)；所述探针结构(1)包括主干结构(2)和支干结构(3)；所述支干结构(3)的端部与所述主干结构(2)的侧面连接；且所述主干结构(2)与所述支干结构(3)的连接处存在预设夹角，所述预设夹角为a，且0<a<180
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；所述主干结构(2)和所述支干结构(3)上均设有记录电极(4)，用于采集脑部神经信号。2.根据权利要求1所述的柔性神经电极结构，其特征在于，所述探针结构(1)还包括应力结构(5)；所述应力结构(5)位于所述支干结构(3)的端部，且靠近所述主干结构(2)；以使当所述探针结构(1)植入脑部前，所述支干结构(3)处于收缩状态，当所述探针结构(1)植入脑部后，所述支干结构(3)处于张开状态；所述应力结构(5)为柔性材料。3.根据权利要求1所述的柔性神经电极结构，其特征在于，所述支干结构(3)包括第一支干(31)和第二支干(32)；所述主干结构(2)包括相对的第一侧和第二侧；所述第一侧与所述第一支干(31)连接；所述第二侧与所述第二支干(32)连接。4.根据权利要求3所述的柔性神经电极结构，其特征在于，所述第一支干(31)与所述第二支干(32)以所述主干结构(2)为轴对称。5.根据权利要求1所述的柔性神经电极结构，其特征在于，所述主干结构(2)上设有阵列排布的记录电极(4)；所述支干结构(3)的第一端部上设有记录电极(4)；所述第一端部远离所述主干结构(2)。6.根据权利要求1所述的柔性神经电极结构，其特征在于，还包括信号引出结构(8)；所述信号引出结构(8)的第一端与所述主干结构(2)连接；所述信号引出结构(8)的第二端上设有连接电极(9)，所述连接电极(9)与处理设备连接；所述信号引出结构(8)与所述探针结构(1)内设有与所述记录电极(4)、所述连接电极(9)连接的导线(7)，以使所述记录电极(4)将采集到的所述脑部神经信号通过所述导线(7)、所述连接电极(9)传输给处理设备。7.一种柔性神经电极结构的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：获取衬底(12)；在所述衬底(12)上制备牺牲层(13)；在所述牺牲层(13)上形成柔性基底(14)，并图形化所述柔性基底(14)；所述柔性基底(14)包括探针结构(1)基底，所述探针结构(1)基底包括主干结构(2)和支干结构(3)，所述支干结构(3)的端部与所述主干结构(2)的侧面连接；且所述主干结构(2)与所述支干结构(3)的连接处存在预设夹角a，0<a<180
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；在所述柔性基底(14)上制备出记录电极(4)，得到待封装结构；所述主干结构(2)和所述支干结构(3)上均设有记录电极(4)，用于采集脑部神经信号；在所述待封装结构上制备柔性封装层(15)，并图形化所述柔性封装，以暴露出所述记
录电极(4)；释放所述牺牲层(13)，得到所述柔性神经电极结构。8.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于，所述在所述待封装结构上制备柔性封装层(15)，并图形化所述柔性封装，以暴露出所述记录电极(4)之后，还包括：在所述柔性封装层(15)上制备应力结构(5)，所述应力结构(5)位于所述支干结构(3)的端部，且靠近所述主干结构(2)；以使当所述探针结构(1)植入脑部前，所述支干结构(3)处于收缩状态，当所述探针结构(1)植入脑部后，所述支干结构(3)处于张开状态。9.根据权利要求8所述的制备方法，其特征在于，所述应力结构(5)的材料、所述柔性基底(14)的材料和所述柔性封装层(15)的材料相同。10.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于，所述柔性基底(14)还包括信号引出结构(8)；所述信号引出结构(8)的第一端与所述主干结构(2)连接；所述在所述柔性基底(14)上制备出记录电极(4)，得到待封装结构，包括：在所述柔性基底(14)上制备出记录电极(4)、导线(7)和连接电极(9)，得到待封装结构；所述连接电极(9)位于所述信号引出结构(8)的第二端，所述连接电极(9)与处理设备连接；所述导线(7)与所述记录电极(4)、所述连接电极(9)连接，以使所述记录电极(4)将采集到的所述脑部神经信号通过所述导线(7)、所述连接电极(9)传输给处理设备。

技术总结
本发明涉及神经科学技术领域，本发明公开了一种柔性神经电极结构及其制备方法。该柔性神经电极结构包括探针结构；且该探针结构包括主干结构和支干结构；该支干结构的端部与该主干结构的侧面连接；且该主干结构与该支干结构的连接处存在预设夹角a，0<a<180


技术研发人员：陶虎 周志涛
受保护的技术使用者：江西脑虎科技有限公司
技术研发日：2021.08.30
技术公布日：2021/11/8