剥单装置的制作方法

1.本发明涉及电子器件制造领域，特别是涉及一种剥单装置。


背景技术：

2.电子器件属于精密器件制造领域，全方位实现自动化一直是精密制造领域的发展发现。而现有的电子器件尤其是芯片的制备过程中，芯片的晶圆从多个带膜的晶圆模组中单独剥离出来，一直是本行业的难题。手工剥离非常影响效率且部利于向自动化方向发展，而现有的机械剥离结构极容易对晶圆造成损伤。


技术实现要素：

3.基于此，有必要针对上述的问题，提供一种改进的剥单装置。该剥单装置通过戳单机构、夹取机构以及接料模组之间的相对运动使得物料与膜之间能够有效且无损地分离，再通过接料模组精准地获取物料，能够大大减少对物料自身的损坏，且极大地提高了剥离效率，此外通过该方式机械分离的膜与物料能够确保分离效率。
4.一种剥单装置，用于分离物料组件的物料与膜，所述膜覆设于所述物料，所述剥单装置包括机架、物料分离模组以及接料模组，所述物料分离模组以及所述接料模组分别设置于所述机架，所述物料分离模组包括相对设置的戳单机构以及夹取机构，所述接料模组包括接料机构以及吸附剥单机构，所述吸附剥单机构能够对所述接料机构进行抽气并固定待分离的所述物料；
5.所述物料组件能够传输至对准所述戳单机构的第一预设位，
6.所述戳单机构对准并将所述膜戳向所述夹取机构，
7.所述夹取机构能够夹取所述膜并向远离所述戳单机构的方向移动，
8.所述接料模组对准所述物料，且所述接料模组能够吸附并与所述物料相对固定；所述物料与所述膜在所述夹取机构以及所述接料模组的相对运动下相分离。
9.进一步地，所述接料模组包括接料机构以及吸附剥单机构，所述吸附剥单机构能够对所述接料机构进行抽气，以使所述物料与所述接料机构相对固定；
10.所述接料机构对准所述物料，且所述吸附剥单机构吸附所述物料至所述接料机构；所述物料与所述膜在所述夹取机构以及所述接料机构的相对运动下相分离。
11.进一步地，所述接料机构包括：
12.接料平台，可活动地设置在所述机架上，所述接料平台能够随待分离的所述物料运动，并接收所述物料。
13.进一步地，所述剥单装置还包括面板，所述面板固定于所述机架上，所述戳单机构包括：
14.戳膜固定架，固定于所述面板；
15.戳膜驱动组件，设置于所述戳膜固定架上；
16.戳膜组件，连接于所述戳膜驱动组件，所述戳膜驱动组件带动所述戳膜组件沿所
述戳膜固定架的长度方向运动，以使所述戳膜组件对准所述物料组件。
17.进一步地，所述戳膜组件包括：
18.戳膜气缸，通过所述戳膜驱动组件安装于所述戳膜固定架；
19.戳膜件，连接于所述戳膜气缸，并能够在所述戳膜气缸的作用下朝向或远离所述物料组件的方向运动，以将所述膜戳向所述夹取机构。
20.进一步地，所述接料模组还包括吸嘴机构，所述吸嘴机构包括：
21.吸嘴驱动组件，设置于所述机架上；
22.吸嘴组件，连接于所述吸嘴驱动组件，并在所述吸嘴驱动组件的带动下能够朝向或远离所述物料组件的方向运动，以吸附所述接料模组上的所述物料。
23.进一步地，所述夹取机构包括：
24.升降电机，安装于所述机架上；
25.夹爪驱动组件，连接于所述升降电机；
26.夹爪安装板，与所述夹爪驱动组件连接，所述夹爪安装板在所述升降电机的驱动下通过所述夹爪驱动组件能够朝向或远离所述物料组件运动；
27.夹爪组件，设置于所述夹爪安装板上，并随所述夹爪安装板的运动而相应运动；当所述夹爪组件运动至能够夹取所述戳单机构所戳离的所述膜的位置时，所述夹爪组件夹取所述膜，且所述升降电机回转，并通过所述夹爪安装板带动所述夹爪组件朝远离所述物料组件的方向运动，以分离所述物料及所述膜。
28.进一步地，所述夹爪驱动组件包括相互配合的夹爪丝杆及夹爪丝母，所述夹爪安装板与所述夹爪丝母固定连接，并在所述升降电机的驱动下沿所述夹爪丝杆相对运动；或，
29.所述夹爪驱动组件包括夹爪同步带、连接于所述夹爪同步带的夹爪主动轮及夹爪从动轮，所述夹爪主动轮连接于所述升降电机，所述夹爪从动轮安装于所述机架，所述夹爪同步带与所述夹爪安装板固定连接，所述夹爪同步带在所述升降电机的驱动下带动所述夹爪安装板相对所述物料组件运动。
30.进一步地，所述夹爪组件包括两个平行设置的气爪，两个所述气爪安装于所述夹爪安装板并能够相对开合，以夹取或松开所述膜。
31.进一步地，所述剥单装置还包括送料模组，所述送料模组安装于所述机架上并承载所述物料组件，所述送料模组将所述物料组件传输至对准所述戳单机构的第一预设位。
32.进一步地，所述剥单装置还包括面板，所述面板固定于所述机架上，所述送料模组包括：
33.送料驱动件，安装在所述面板上；
34.送料传送带机构，与所述送料驱动件连接，并用于放置所述物料组件；
35.所述送料传送带机构在所述送料驱动件的驱动下带动所述物料组件运动至所述第一预设位。
36.进一步地，所述送料模组还包括：
37.送料导轨组件，安装于所述送料传送带机构的外侧，并用以导向所述物料组件的运动方向；
38.第一导向组件，设置于所述面板的第一预设位处，并对接所述传送带机构，用以将所述物料组件从所述送料传送带机构导向至所述第一预设位。
39.进一步地，所述剥单装置还包括面板，所述面板固定于所述机架上，所述剥单装置还包括定位模组，所述定位模组包括：
40.定位环，用于承载所述物料组件，并随所述物料组件放置于所述送料模组上；
41.限位件，固定于所述面板，并限定所述定位环至所述第一预设位；以及，
42.压紧机构，能够压紧所述定位环至第一预设位；
43.所述定位环在所述送料模组的作用下移动至所述限位件的位置，并通过所述压紧机构压紧至所述第一预设位。
44.进一步地，所述压紧机构包括：
45.压紧块，能够垂直于所述面板的板面方向升降；
46.压紧滚轮，多个所述压紧滚轮分别可转动地安装于所述压紧块；
47.所述压紧块带动所述压紧滚轮朝向所述定位环的方向移动，并压紧所述定位环。
48.进一步地，所述剥单装置还包括废膜回收模组，所述废膜回收模组包括相对设置的压膜机构及回收机构，且所述夹取机构设置于所述压膜机构及回收机构之间；
49.压膜机构包括：
50.压膜电机，安装于所述机架，
51.压膜固定板，固定于所述机架，并对应开设有压膜滑槽，
52.压膜传动件，滑动设置于所述压膜滑槽内，
53.压膜滚轮，连接于所述压膜传动件，所述压膜滚轮通过所述压膜传动件设置于所述压膜固定板上，并在所述压膜电机的作用下朝向所述回收机构滑动；
54.回收机构包括：
55.回收电机，安装于所述机架，
56.回收滑轨，安装于所述机架；
57.废膜回收板，连接于所述回收电机，能够沿所述回收滑轨滑动并滑动至所述压膜滚轮的位置；
58.当所述物料与所述膜全部分离后，所述夹取机构夹取所述膜至所述压膜滚轮及所述废膜回收板之间，再通过所述压膜滚轮将所述膜压紧至所述废膜回收板上，以回收所述膜。
附图说明
59.图1为本发明一实施方式中剥单装置的结构示意图；
60.图2为图1所示剥单装置中送料模组及定位模组的结构示意图；
61.图3为图1所示剥单装置中戳单机构及吸嘴机构的结构示意图；
62.图4为图1所示剥单装置中夹取机构的结构示意图；
63.图5为图1所示剥单装置中接料模组的结构示意图；
64.图6为图1所示剥单装置中接料模组另一视角的结构示意图；
65.图7为图1所示剥单装置中废料回收模组的结构示意图；
66.图8为本发明另一实施方式中剥单装置的结构示意图；
67.图9为图8所示剥单装置省略部分元件后的结构示意图；
68.图10为图9所示剥单装置中接料机构的结构示意图；
69.图11为图10所示剥单装置中接料机构另一视角的结构示意图；
70.图12为图9所示剥单装置中夹取机构的结构示意图；
71.图13为本发明另一实施方式中剥单装置的结构示意图；
72.图14为图13所示剥单装置中戳单机构及吸嘴机构的结构示意图；
73.图15为图13所示剥单装置省略部分元件后的结构示意图；
74.图16为图13所示剥单装置另一视角的结构示意图。
75.元件标号说明
76.100、剥单装置；10、机架；11、面板；20、物料分离模组；21、戳单机构；211、戳膜固定架；212、戳膜驱动组件；2121、戳膜驱动件；2122、戳膜同步带组件；2123、戳膜连接块；213、戳膜组件；2131、戳膜气缸；2132、戳膜件；22、夹取机构；221、升降电机；222、夹爪驱动组件；2221、夹爪丝杆；2222、夹爪丝母；2223、夹爪同步带；2224、夹爪主动轮；2225、夹爪从动轮；223、夹爪安装板；224、夹爪组件；2241、气爪；30、接料模组；31、接料机构；311、接料平台；312、接料驱动件；313、接料传动组件；3131、接料丝杆；3132、接料同步带；3133、接料主动轮；3134、接料从动轮；32、校正机构；321、偏移检测机构；3211、偏移驱动组件；3212、偏移检测器；322、找零对接机构；3221、找零驱动组件；3222、找零接收器；323、安装板组件；3231、第一安装板；3232、转动组件；32321、转动环；32322、校正同步带；32323、张紧组件；325、角度校正电机；33、吸嘴机构；331、吸嘴驱动组件；3311、吸嘴电机；3312、吸嘴同步带组件；3313、吸嘴连接件；3314、吸嘴底板；332、吸嘴组件；34、吸嘴驱动机构；40、送料模组；41、送料驱动件；42、送料传送带机构；421、送料同步带；43、送料导轨组件；431、送料轨道；44、第一导向组件；441、导向块；442、导向滚轮；50、定位模组；51、定位环；52、限位件；53、压紧机构；531、压紧块；532、压紧滚轮；54、定位板；55、夹钳；60、废膜回收模组；61、压膜机构；611、压膜电机；612、压膜固定板；613、压膜传动件；614、压膜滚轮；62、回收机构；621、回收电机；622、回收滑轨；623、回收废膜板；200、物料组件；201、物料。
77.以上主要元件符号说明结合附图及具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。
具体实施方式
78.为使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及具体实施方式，对本发明进行进一步的详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用以解释本发明，并不限定本发明的保护范围。
79.需要说明的是，当组件被称为“安装于”另一个组件，它可以直接在另一个组件上或者也可以存在居中的组件。当一个组件被认为是“设置于”另一个组件，它可以是直接设置在另一个组件上或者可能同时存在居中组件。当一个组件被认为是“固定于”另一个组件，它可以是直接固定在另一个组件上或者可能同时存在居中组件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。
80.除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本发明。本文所使用的术语“或/及”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
81.本发明一实施方式提供一种剥单装置100，用于分离物料组件200中的物料201及膜(未标号)。该剥单装置100能够避免剥离后物料201的损伤，同时能够确保物料201剥离的效率。
82.物料组件200的生产商通常将多个物料201统一装设于同一张膜材料上，以形成物料组件200，再将物料组件200包装及售卖。如此，能够提升物料201的包装效率及装载率。
83.在本实施方式中，物料组件200中所分离的物料201为晶圆。当然，在其他实施方式中，所分离的物料201还可以是其他极易受损且能够用于制备精密电子器件的器材。在此，物料组件200、相应的物料201以及膜为剥单装置100所分离的对象，在此不做具体限定，只要剥单装置100所分离的原理与本技术相近，不管分离的对象是否与本技术一致，均属于本技术所要保护的方案。
84.请一并参阅图1至图16，图1为本发明一实施方式中剥单装置100的结构示意图；图2为图1所示剥单装置100中送料模组40及定位模组50的结构示意图；图3为图1所示剥单装置100中戳单机构21及吸嘴机构33的结构示意图；图4为图1所示剥单装置100中夹取机构22的结构示意图；图5为图1所示剥单装置100中接料模组30的结构示意图；图6为图1所示剥单装置100中接料模组30另一视角的结构示意图；图7为图1所示剥单装置100中废料回收模组的结构示意图；图8为本发明另一实施方式中剥单装置100的结构示意图；
85.图9为图8所示剥单装置100省略部分元件后的结构示意图；图10为图9所示剥单装置100中接料机构31的结构示意图；图11为图10所示剥单装置100中接料机构31另一视角的结构示意图；图12为图9所示剥单装置100中夹取机构22的结构示意图；图13为本发明另一实施方式中剥单装置100的结构示意图；图14为图13所示剥单装置100中戳单机构21及吸嘴机构33的结构示意图；图15为图13所示剥单装置100省略部分元件后的结构示意图；图16为图13所示剥单装置100另一视角的结构示意图。
86.如图1所示，剥单装置100包括机架10、物料分离模组20以及接料模组30。物料分离模组20以及接料模组30分别设置于机架10。其中，物料分离模组20包括相对设置的戳单机构21以及夹取机构22。接料模组30包括接料机构31以及吸附剥单机构(未标号)；吸附剥单机构能够对接料机构31进行抽气，以使物料201与接料机构31相固定；吸附剥单机构通过抽取物料201下方的空气(抽真空)，使得物料201上方的气压将物料201压抵至接料机构31上。
87.物料组件200传输至对准戳单机构21的第一预设位，戳单机构21对准并将物料组件200中的膜戳向夹取机构22；夹取机构22夹取膜并向远离戳单机构21的方向移动，接料机构31对准物料201；当待分离的物料201落于接料机构31时，吸附剥单机构吸附物料201至接料机构31；物料组件200在夹取机构22以及吸附剥单机构的相对运动下相分离。在夹取机构22将膜向远离物料组件200的方向拉动时，由于膜的变形，形变的膜附近的物料201随着膜的拉伸而相应朝向接料平台311的方向移动，并逐步移动至接料平台311，而此时，吸附剥单机构的开启能够进一步使物料201固定于接料平台311。膜与物料201通过夹取机构22及吸附剥单机构分别朝向两个方向施力时，膜与物料201迅速分离。夹取机构22将膜拉动的第一方向与吸附剥单机构将物料201吸附至接料平台311的第二方向之间具有夹角。该夹角可以是0
°
～180
°
之间除了0
°
以外的任意夹角。
88.本实施方式中的吸附剥单机构通过抽气的方式对物料201进行吸附，能够大大减少对物料201自身的损坏，且通过该方式机械分离的膜与物料201能够确保分离效率。
89.为了进一步将物料组件200运送至第一预设位，剥单装置100还包括面板11及送料模组40。机架10大致呈长方体框状结构，面板11安装于机架10的其中一个侧面上。物料分离模组20的戳单机构21及夹取机构22分别设置于面板11的两侧。接料机构31及吸附剥单机构设置于面板11的上方；送料模组40与接料机构31安装于面板11的同侧，并能够沿面板11的长度方向输送物料组件200。在本实施方式中，机架10的形状及构造可以随对应安装的机构而相应设置，在此不做限定；若各个机构可直接安装于机架10，则对应的面板11可相应省略。
90.可以理解，在其他实施方式中，物料组件200可以通过机械手等方式直接放置于第一预设位，则对应的送料模组40可相应省略。
91.当然，机架10底部还可以相应设有多个轮子，以便于剥单装置100整体的移动。
92.如图2所示，送料模组40包括送料驱动件41以及送料传送带机构42。送料驱动件41安装在面板11上。送料传送带机构42与送料驱动件41连接，并用于放置物料组件200。送料传送带机构42在送料驱动件41的驱动下带动物料组件200运动至第一预设位。其中，送料驱动件41为电机。送料传送带机构42包括送料同步带421以及连接于同步带两端的送料主动轮(未标号)与送料从动轮(未标号)。送料主动轮连接于送料驱动件41的输出端并与送料同步带421的一侧相连；送料从动轮连接于送料同步带421的另一侧。通过送料驱动件41提供动力。送料主动轮用于带动送料同步带421和送料从动轮运动，以传递动力。当物料组件200放置于送料同步带421的上方时，物料组件200随送料同步带421运动。
93.优选地，送料传送带机构42的数量为两组。两组传送带机构的送料主动轮之间通过连接轴(未标号)相连，且两组传送带机构沿着面板11的长度方向平行设置。物料组件200平置于两组送料传送件机构之间，以使送料机构能够实现平稳送料。
94.进一步地，送料模组40还包括送料导轨组件43以及第一导向组件44。送料导轨组件43包括两条送料轨道431，且两条送料轨道431平行设置于面板11上，第一导向组件44将每条送料轨道431截成两部分。每条送料轨道431安装于对应的两组送料传送带机构42的外侧，并用以导向物料组件200的运动方向。物料组件200平置于两个送料轨道431之间，并通过两个送料轨道431导向送料同步带421的传动方向，以防止物料组件200在运送过程中的偏斜。第一导向组件44设置于面板11的第一预设位处，并对接传送带机构；第一导向组件44用以将物料组件200从送料传送带机构42导向至第一预设位。第一导向组件44包括两个平行设置的导向块441以及连接于导向块441的多个导向滚轮442。多个导向滚轮442朝向对侧的导向块441方向设置。
95.当物料组件200从送料同步带421输送至与第一导向组件44对接的位置时，通过多个导向滚轮442的夹持及引导，物料组件200顺利从送料同步带421进入位于第一预设位的导向块441上方。
96.在另一些实施方式中，如图8、图9、图13以及图15所示，物料组件200是通过送料模组40直接运送至第一预设位。物料组件200在第一预设位的时候，仍处于送料模组40的轨道上。此时，剥单装置还包括用于检测物料组件200位置的感应器，以使送料驱动件41将物料组件200运送至第一预设位时能够停止输送。
97.对应地，为了便于将物料组件200固定至第一预设位，如图2所示，剥单机构还包括定位模组50。定位模组50包括定位环51、限位件52以及压紧机构53。定位环51夹设物料组件
200，并与物料组件200相互固定。定位环51用于承载所述物料组件200。限位件52固定于面板11，并将定位环51限定至第一预设位。压紧机构53能够将定位环51压紧至第一预设位。在如图所示的实施方式中，限位件52相当于上述检测物料组件200位置的感应器。
98.工作时，先将物料组件200固定于定位环51上，再将带有物料组件200的定位环51放置于送料模组40的送料同步带421上，让两者一同在送料同步带421的作用下运送；当定位环51在送料同步带421的作用下运送至与限位件52的位置时，定位环51定位至第一预设位；最后通过压紧机构53将带有物料组件200的定位环51压紧至第一预设位。
99.结合参阅图2及图9,，下面对几种具体的压紧机构53的结构和工作过程进行详细说明，但是本领域技术人员应当知道，能够压紧定位环51的压紧机构53的结构并不限于本实施例中所例举的几种结构。
100.如图2所示，压紧机构53包括设置于第一导向组件44上方的压紧块531以及对应设置在压紧块531上的压紧滚轮532。通过调节压紧滚轮532相对于定位环51的高度能够相应调节压紧机构53的压紧程度。
101.在其他一些实施方式中，如图9所示，压紧机构53包括定位板54以及夹钳55。定位板54的尺寸略大于定位环51，且定位板54的中部也相应开口，以形成供定位环51内物料组件200的剥离空间。
102.物料分离模组20包括相对设置的戳单机构21以及夹取机构22。戳单机构21对准物料组件200的膜后将膜戳向夹取机构22；夹取机构22夹取戳离的膜并向远离戳单机构21的方向运动，从而使物料组件200的物料201及膜朝向两个不同的方向运动，进而达到物料201与膜分离的目的。在本发明的其中一个实施方式中，如图3所示，戳单机构21与吸嘴机构33设置于面板11的同侧，则相应地夹取机构22设置于面板11的另一侧。在另一个实施方式中，如图14所示，戳单机构21与吸嘴机构33设置在面板11的相对两侧；则对应地夹取机构22与吸嘴机构33设置于面板11的同侧。在上述的实施方式中，物料组件200带有物料201的一侧始终朝向戳单机构21的一侧放置，而物料组件200中全面覆盖膜的一侧背向戳单机构21放置。
103.以图3为例，戳单机构21包括戳膜固定架211、戳膜驱动组件212以及戳膜组件213。戳膜固定架211将戳膜组件213以及戳膜驱动组件212固定在面板11的一侧。戳膜固定架211横向固定于面板11，且横向固定的区域覆盖物料组件200的横向距离。戳膜驱动组件212设置于戳膜固定架211上，并用于驱动戳膜组件213。戳膜组件213连接于戳膜驱动组件212，并能够伸缩将膜戳向夹取机构22。戳膜驱动组件212带动戳膜组件213沿戳膜固定架211的长度方向运动，以使戳膜组件213对准物料组件200。
104.其中，戳膜驱动组件212包括戳膜驱动件2121、戳膜同步带组件2122以及戳膜连接块2123。戳膜驱动件2121固定于戳膜固定架211的一端；戳膜同步带组件2122连接于戳膜驱动件2121的输出端；戳膜连接块2123部分与戳膜组件213相固定，另一部分固定安装于戳膜同步带组件2122，以使戳膜组件213随同戳膜同步带运动。戳膜同步带能够在戳膜驱动件2121的作用下带动戳膜连接块2123沿戳膜固定架211的长度方向移动，以带动戳膜组件213相应运动至对准物料组件200中膜的上方。如此设置，以便于戳膜组件213进一步准确地将膜戳向夹取机构22；或将戳膜组件213移动至其他位置，以便其他机构能够执行相应动作。
105.在本实施方式中，戳膜驱动件2121为电机。在其他实施方式中，戳膜驱动件2121可
以为油压驱动机构等，只要能够实现驱动戳膜组件213沿戳膜固定架211运动即可。
106.进一步地，戳膜组件213包括戳膜气缸2131以及戳膜件2132。戳膜气缸2131通过戳膜连接块2123安装于戳膜固定架211。对应地，戳膜固定架211沿长度方向设置气缸滑道(未标号)，戳膜连接块2123与气缸滑道相适配，以使戳膜气缸2131能够通过戳膜连接块2123沿戳膜固定架211的长度方向滑动。戳膜件2132连接于戳膜气缸2131，并能够在戳膜气缸2131的作用下朝向或远离物料组件200的方向运动，以将物料组件200的膜戳向夹取机构22。可以理解，在一些实施方式中，戳膜组件213还可以包括定位传感器等，以检测物料组件200或定位环51是否已到位。
107.优选地，戳膜件2132的数量可以是多个，且多个戳膜件2132根据所戳离膜的空间而相应布设。
108.如图4及图12所示，夹取机构22包括升降电机221、夹爪驱动组件222、夹爪安装板223以及夹爪组件224。升降电机221安装于机架10上。夹爪驱动组件222连接于升降电机221。夹爪安装板223与夹爪驱动组件222连接，夹爪安装板223在升降电机221的驱动下通过夹爪驱动组件222能够朝向或远离物料组件200运动。夹爪组件224设置于夹爪安装板223上，并随夹爪安装板223的运动而相应运动。夹爪组件224用于夹取戳单机构21所戳离的膜。
109.具体地，如图4所示，夹爪驱动组件222包括夹爪丝杆2221及夹爪丝母2222。夹爪安装板223与夹爪丝母2222固定连接。升降电机221驱动夹爪丝杆2221转动，夹爪丝母2222在升降电机221的驱动下沿夹爪丝杆2221上升或下降，从而带动与之固定的夹爪安装板223运动。
110.在其他一些实施方式中，如图12所示，夹爪驱动组件222包括夹爪同步带2223、连接于夹爪同步带2223的夹爪主动轮2224及夹爪从动轮2225。夹爪从动轮2225安装于机架10，夹爪同步带2223与夹爪安装板223固定连接，夹爪同步带2223在升降电机221的驱动下带动夹爪安装板223相对物料组件200运动。
111.当然，夹爪驱动组件222还可以是其他结构，例如齿轮组件等，只要能够实现夹爪安装板223的驱动作用即可。
112.夹爪组件224包括两个平行设置的气爪2241。两个气爪2241安装于夹爪安装板223并能够相对开合，以夹取或松开膜。可以理解，在其他实施方式中，气爪2241可以设置为其他结构，只要能够实现夹取物料组件200的膜即可。
113.接料模组30包括接料机构31及吸附剥单机构。接料机构31安装于面板11上，并用于对接待分离的物料201。吸附剥单机构用于设置于接料机构31上，能够对接料机构31进行抽气，以使物料201进一步被固定在接料机构31上。
114.具体地，接料机构31包括接料平台311、接料驱动件312以及接料传动组件313。接料平台311可活动地设置于面板11上，并能够相对面板11运动。接料驱动件312固定于面板11。接料平台311通过接料传动组件313连接于接料驱动件312上。接料驱动件312为电机。接料平台311开设有多个吸附孔，吸附剥单机构通过吸附孔对接料平台311进行抽气。当然，接料驱动件312可以是其他驱动方式，例如气缸，只要能够实现驱动接料平台311的目的即可。
115.可以理解，在其他实施方式中，吸附剥单机构还可以其他方式对接料平台进行抽气，例如通过对接料平台311的侧向进行抽气，只要能够实现吸附物料的功能即可。
116.在其中一个实施方式中，如图5及图9所示，接料平台311滑动地安装于面板11上，
且接料平台311安装于相对靠近物料组件200戳膜的一侧。当物料组件200的膜被戳单机构21戳离时，对应待分离的物料201因接料平台311的靠近而相应落于接料平台311上，此时再开启吸附剥单机构使待分离的物料201能够进一步稳定地固定于接料平台311。当吸附剥单机构的吸附力与夹取机构22的夹取方向之间形成一定的夹角时，膜及物料201通过两者的作用力进一步被分离。而此时，若物料组件200仍以图9中所示的方式固定于送料模组40上，且送料模组40沿物料组件200的送料方向进一步施力，则送料模组40的施力能够进一步使戳离的膜处于绷紧状态。如此能够进一步通过绷紧的膜使物料201快速分离至接料平台311上。
117.在另一实施方式中，如图15所示，与上述的实施方式不同的是，接料平台311与物料组件200相固定。与物料组件200相固定后的接料平台311。对应地，戳单机构21设置于面板11的下方，且戳单机构21戳膜的空间为定位环51与接料平台311之间的空间；夹取机构22设置于面板11的上方。当戳单机构21将物料组件200的膜戳向夹取机构22时，夹取机构22夹取膜；再通过吸附剥单机构对接料平台311下方进行抽气，从而使物料201被固定于接料平台311上，通过夹取机构22以及吸附剥单机构一上一下的施力，使物料组件200的物料201和膜相分离。在此，物料组件200的物料201朝向与图5或图9中的物料组件200的物料201朝向相反，以便于吸附剥单机构对物料201的吸附及固定。
118.上述的多个实施方式中，吸附剥单机构的吸附力与夹取机构22的夹取方向之间的夹角略不同；但夹角范围在0
°
～180
°
之间，且除0
°
以外的角度均可。
119.如图5及图6所示，接料传动组件313包括接料丝杆3131及接料丝母(未标号)。接料平台311与接料丝母固定连接，并在接料驱动件312的驱动下沿接料丝杆3131相对运动。接料平台311在接料驱动件312的作用下朝向或远离物料组件200的方向移动。当接料平台311准备接收物料201时，接料平台311朝向物料组件200的方向移动；当接料平台311在吸附剥单机构的作用下固定物料201后，接料驱动件312回转，并使接料平台311向远离物料组件200的方向移动，进一步完成最后的物料201与膜的剥离。
120.在其他一些实施方式中，如图9至图11所示，接料传动组件313包括接料同步带3132、连接于接料同步带3132的接料主动轮3133及接料从动轮3134。接料主动轮3133连接于接料驱动件312，接料主动轮3133以及接料从动轮3134分别安装于面板11上；接料同步带3132与接料平台311连接。接料同步带3132连接于接料主动轮3133及接料从动轮3134之间并在接料驱动件312的驱动下带动接料平台311相对物料组件200运动。
121.进一步地，接料组件包括接料轨道组件。接料轨道组件包括两条平行设置的接料轨道。接料平台311通过接料轨道导向并沿着面板11的长度方向滑动。
122.接料平台311上还设有物料到位检测器(未标号)。物料到位检测器用于检测物料201是否落于接料平台311；在物料到位检测器检测到接料平台311接收待分离的物料201后，吸附剥单机构开启，并将物料201固定于所述接料平台311上。
123.为了使接料平台311在靠近待分离的物料201时，能够精准地对齐至待分离物料201，接料模组30还包括校正机构32。校正机构32用于检测物料201的位置并根据所检测的物料201位置对接料平台311的位置进行校正。
124.在其中一个实施方式中，如图5及图6所示，校正机构32包括偏移检测机构321以及找零对接机构322。偏移检测机构321能够相对于物料201以及接料平台311移动，并用于检
测物料201相对于接料平台311的偏移量，且进一步将偏移量信号反馈至找零对接机构322上。找零对接机构322连接于接料平台311。找零对接机构322用于接收偏移量信号并对接料平台311的位置进行校正，以使接料平台311能够准确对接至待分离物料201。
125.其中，偏移检测机构321包括偏移驱动组件3211以及偏移检测器3212。偏移驱动组件3211安装于机架10上；偏移检测器3212连接于偏移驱动组件3211，并在偏移驱动组件3211的作用下相对接料平台311移动，以检测物料201的偏移量，并发送偏移量信号。找零对接机构322包括找零驱动组件3221以及找零接收器3222。找零驱动组件3221安装于机架10上，并与接料平台311相连。找零驱动组件3221用于驱动接料平台311对准待分离的物料201。找零接收器3222安装在接料平台311上并耦合于找零驱动组件3221，找零接收器3222接收偏移量信号后，驱动找零驱动组件3221运行并校正接料平台311的位置，以使接料平台311对准待分离的物料201。
126.找零驱动组件3221对接料平台311的驱动方向垂直于物料的送料方向。当然，在其他实施方式中，找零驱动组件3221的驱动方向可以根据物料调节方向的实际需求而相应设置，在此不做具体限定。
127.在本实施方式中，偏移检测机构321以及找零对接机构322分别沿面板11横向移动。偏移驱动组件3211带动偏移检测器3212进行横移并检测物料201偏移量；偏移检测器3212在检测待分离的物料201的偏移量后，发送偏移量信号至找零接收器3222，找零接收器3222控制找零驱动组件3221带动接料平台311进行横移，直至完成接料平台311的找零。接料平台311在完成找零后，才驱动接料驱动件312，并使接料平台311朝向物料组件200移动。
128.进一步地，偏移驱动组件3211为偏移同步带组件以及对应的偏移驱动件。与偏移检测器3212所固定的偏移滑块能够在偏移同步带的作用下相对物料组件200或接料平台311进行横移。同理，找零驱动组件3221为找零同步带组件以及对应的找零驱动件。同理，接料驱动件312以及对应的接料平台311通过相应滑动结构滑动地安装于面板11上，并能够在找零驱动组件3221的驱动下沿面板11的横向滑动。
129.在另一些实施方式中，如图9、图10及图15所示，校正机构32包括安装板组件323、物料检测器(未标号)以及角度校正电机325。安装板组件323用于转动带有物料组件200的定位板54。安装板组件323包括第一安装板3231以及转动组件3232。第一安装板3231平置于送料模组40上并在送料模组40的作用下运送至第一预设位；定位板54通过转动组件3232可转动地安装于第一安装板3231上，且定位板54用于夹持物料组件200。物料检测器用于检测待分离的物料201的位置并发送位置信号。角度校正电机325固定安装于第一安装板3231，并能够通过转动组件3232带动定位板54相对于第一安装板3231转动。角度校正电机325接收位置信号并通过转动定位板54的方式，以校正物料组件200的位置。与上述校正机构32的结构不同的是：校正机构32通过角度校正电机325将带有物料组件200的定位板54通过转动的方式进行校正。
130.角度校正电机325至少具有以下几种校正目的之一：1、主动将物料201对接至接料平台311，以使待分离的物料201对准接料平台311；2、角度校正电机325将物料组件200对正戳单机构21等。
131.在本实施方式中，对应的安装板组件323的底部设有用于检测第一预设位的找零感应器，以使送料模组40在感应到该找零传感器发出的信号后，对第一板安装板沿面板11
的长度方向找零，以使第一安装板3231准确移动至第一预设位。
132.如图16所示，转动组件3232包括转动环32321及校正同步带32322。转动环32321转动设置于第一安装板3231上，转动环32321通过校正同步带32322连接于角度校正电机325，且与定位板54相对固定。角度校正电机325控制转动环32321的转动角度，以使带有物料组件200的定位板54校正定位。
133.进一步地，校正同步带32322上设有张紧组件32323。张紧组件32323用于控制校正同步带32322的张紧程度。
134.接料模组30还包括吸嘴机构33。吸嘴机构33设置于面板11的上方，且吸嘴机构33具有两个不同的安装方式。在其中一个实施方式中，如图3所示，吸嘴机构33安装于戳单机构21的戳单固定架上，并能够随戳单驱动件的带动下相对滑动。
135.在另一个实施方式中，如图14所示，由于戳单机构21设置于面板11的下方；吸嘴机构33设置于面板11的上方，并通过吸嘴驱动机构34的吸嘴固定架滑动安装于面板11上。其中，吸嘴驱动机构34包括吸嘴固定架(未标号)以及对应的滑动组件(未标号)，滑动组件结构与戳单驱动组件大致相同，作用在于驱动吸嘴机构33沿面板11的横向滑移，滑动组件的具体结构在此不做赘述。
136.以下具体以吸嘴机构33安装于戳膜固定架211的实施方式为例，来阐述吸嘴机构33的具体结构，但该吸嘴机构33同样适用并安装至吸嘴驱动机构34。吸嘴机构33包括吸嘴驱动组件331以及吸嘴组件332。吸嘴驱动组件331设置于戳膜固定架211上；吸嘴组件332连接于吸嘴驱动组件331，并在吸嘴驱动组件331的带动下能够朝向或远离物料组件200的方向运动，以吸附接料机构31上的物料201。其中，吸嘴驱动组件331包括吸嘴电机3311、吸嘴同步带组件3312、吸嘴连接件3313以及吸嘴底板3314。吸嘴组件332与吸嘴连接件3313相固定，且吸嘴连接件3313滑动设置于吸嘴底板3314上，并通过吸嘴同步带组件3312的驱动能够相对于吸嘴底板3314滑动。吸嘴电机3311作为吸嘴同步带组件3312的驱动件。
137.在吸嘴电机3311的驱动下，吸嘴同步带组带动吸嘴连接件3313上下滑动，进一步带动吸嘴组件332能够相对于吸嘴底板3314朝向或远离接料平台311的方向运动，以吸附物料201。当物料201被物料分离模组20分离后，物料201落于接料平台311上，再通过吸嘴组件332将分离后的物料201吸附至放料平台等位置，最后将这些分离后的物料201通过送料模组40运送至下一模组，以备使用。
138.在本发明的多个实施方式中，吸嘴组件332的吸嘴(未标号)数量为并排设置的两个。而在其他实施方式中，吸嘴的数量可以为一个或三个以上，吸嘴的具体数量根据所需要吸附的物料201数量以及安装空间决定。
139.上述的任意一种实施方式的校正机构32还能够使接料平台311上的物料201在校正后，对准于吸嘴组件332，以使得吸嘴组件332便于吸附分离后的物料201。
140.如图7所示，剥单装置100还包括废膜回收模组60。废膜回收模组60包括相对设置的压膜机构61及回收机构62；压膜机构61用于将来自于夹取机构22的膜压抵至回收机构62上，以回收分离后的废膜。
141.其中，压膜机构61包括压膜电机611、压膜固定板612、压膜传动件613以及压膜滚轮614。压膜电机611安装于机架10；压膜固定板612固定于机架10，并对应开设有压膜滑槽(未标号)；压膜传动件613滑动设置于压膜滑槽内；压膜滚轮614连接于压膜传动件613，压
膜滚轮614过压膜传动件613设置于压膜固定板612上，并在压膜电机611的作用下朝向回收机构62滑动。回收机构62包括回收电机621、回收滑轨622以及回收废膜板623。回收电机621安装于机架10；回收滑轨622安装于机架10；废膜回收板连接于回收电机621，能够沿回收滑轨622滑动并滑动至压膜滚轮614的位置。当物料201与膜全部分离后，夹取机构22夹取膜至压膜滚轮614及废膜回收板之间，再通过压膜滚轮614将膜压紧至废膜回收板上，以回收膜。由于废膜朝向废膜回收板的一侧具有粘性，因此当压膜滚轮614将废膜压向废膜回收板时，废膜粘附于废膜回收板。
142.当然，回收废膜板623与回收电机621之间设有一定的传动组件，用于传递回收电机621的动力，该传动组件可以是传送带组件或丝杆组件等。
143.废膜回收模组60在不同的实施方式中，安装于不同的位置，但废膜回收模组60始终与夹取机构22设置于面板11的同侧。如图所示，在戳单机构21设置于面板11的上方时，废膜回收模组60设置于面板11的下方。而在另一些实施方式中，废膜回收模块还可以设置在上方。
144.本发明一实施方式提供一种剥单装置，剥单装置通过戳单机构、夹取机构以及接料模组之间的相对运动使得物料与膜之间能够有效且无损地分离，再通过接料模组精准地获取物料，能够大大减少对物料自身的损坏，且极大地提高了剥离效率，此外通过该方式机械分离的膜与物料能够确保分离效率。
145.以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
146.以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。