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气体传感器的传感器元件的制作方法

2021-11-06 03:43:00 来源:中国专利 TAG:

技术特征:
1.一种气体传感器的传感器元件,其特征在于,具备:元件基体,该元件基体为具备测定对象气体成分的监测部的陶瓷结构体;以及末端保护层,该末端保护层为在所述元件基体中的起始自具备所述监测部的那侧的端部的规定范围的外周部设置的多孔质层,所述末端保护层包括:第一末端保护层,该第一末端保护层设置在所述元件基体的2个主面上;第二末端保护层,该第二末端保护层设置成将所述端部和包含形成有所述第一末端保护层的所述2个主面在内的所述元件基体的4个侧面覆盖;以及第三末端保护层,该第三末端保护层设置成将所述第二末端保护层覆盖,且气孔率小于所述第二末端保护层的气孔率,所述第二末端保护层具有30%~70%的气孔率且形成为所述第一末端保护层的厚度的6倍~30倍的厚度,所述第三末端保护层具有10%~40%的气孔率且形成为所述第一末端保护层的厚度的2倍~15倍的厚度。2.根据权利要求1所述的传感器元件,其特征在于,所述第二末端保护层具有50%~70%的气孔率。3.根据权利要求1或2所述的传感器元件,其特征在于,所述第一末端保护层的厚度为30μm~50μm。

技术总结
本发明提供一种气体传感器的传感器元件,其具备末端保护层,该末端保护层为在传感器元件的元件基体中的起始自具备监测部的那侧的端部的规定范围的外周部设置的多孔质层,末端保护层包括:第一末端保护层,其设置在元件基体的2个主面上;第二末端保护层,其设置成将该端部和包含形成有第一末端保护层的2个主面在内的元件基体的4个侧面覆盖;以及第三末端保护层,其设置成将第二末端保护层覆盖,第二末端保护层具有30%~70%的气孔率且形成为第一末端保护层的厚度的6倍~30倍的厚度,第三末端保护层具有10%~40%的气孔率且形成为第一末端保护层的厚度的2倍~15倍的厚度。第一末端保护层的厚度的2倍~15倍的厚度。第一末端保护层的厚度的2倍~15倍的厚度。


技术研发人员:大西谅 渡边悠介 幸岛康英 日野隆志
受保护的技术使用者:日本碍子株式会社
技术研发日:2020.03.06
技术公布日:2021/11/5
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