方阻测试仪自动化平台的制作方法

1.本实用新型涉及半导体生产设备技术领域，尤其涉及方阻测试仪自动化平台。


背景技术：

2.晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。目前国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主。晶圆的主要加工方式为片加工和批加工，即同时加工1片或多片晶圆。随着半导体特征尺寸越来越小，加工及测量设备越来越先进，使得晶圆加工出现了新的数据特点。同时，特征尺寸的减小，使得晶圆加工时，空气中的颗粒数对晶圆加工后质量及可靠性的影响增大，而随着洁净的提高，颗粒数也出现了新的数据特点。
3.现有的方阻测试仪是一款手动用的测量仪器，适合科研院校的小批量测试，如果需要用于大批量连续测试的话，晶圆没有一个相对安全的地方进行存储。为此，我们提出方阻测试仪自动化平台。


技术实现要素：

4.(一)实用新型目的
5.为解决大批量连续测试晶圆的话没有一个相对安全的地方进行存储的技术问题，本实用新型提出方阻测试仪自动化平台。
6.(二)技术方案
7.本实用新型提供了方阻测试仪自动化平台，包括检测仪外壳、机械安装舱、放置舱、托盘移动机构和机械手移动机构，所述机械安装舱和放置舱均位于所述检测仪外壳的内部，所述放置舱固定安装在机械安装舱的顶部壳体外壁上，所述托盘移动机构安装在机械安装舱的内部，所述机械手移动机构安装在放置舱的顶部壳体上，且放置舱的底部壳体内壁设有放置架，所述放置架与托盘移动机构连接，且放置架与机械手移动机构位于同一个经线上，所述检测仪外壳的顶部壳体外壁从左到右分别安装有机械手臂、晶圆放置托盘和检测舱。
8.优选的，所述托盘移动机构包括伺服电机，所述伺服电机的底部壳体通过螺栓连接在机械安装舱的底部壳体内壁上，且伺服电机的输出轴固定连接有转轴一，所述转轴一的左端通过支撑板一安装在机械安装舱的底部壳体上，且转轴一的中部外圈固定套设有直齿轮。
9.优选的，所述直齿轮的顶部上方设有齿板，所述齿板的顶部壳体固定连接有连接件，所述连接件的外圈活动贯穿出机械安装舱和放置舱的一侧壳体，且连接件与放置架固定连接，所述齿板与直齿轮相互啮合，所述放置架的底部壳体固定连接有滑轮，所述放置舱的底部壳体内壁安装有滑轨，所述滑轮与滑轨相配合。
10.优选的，所述机械手移动机构包括转轴二，所述转轴二的中部外圈转动套设有两
个支撑板二，所述支撑板二的底部壳体固定连接在放置舱的顶部壳体上，且转轴二的左端外圈和转轴一的外圈均固定套设有皮带轮，两个所述皮带轮通过皮带传动。
11.优选的，所述放置舱的顶部壳体内圈转动套设有螺纹杆，所述螺纹杆的顶端和转轴二的右端均固定连接有锥齿轮，两个所述锥齿轮相互啮合。
12.优选的，所述螺纹杆的底端外圈转动套设有螺纹筒，所述螺纹筒的底部壳体固定连接有安装板，所述安装板的底部壳体通过螺栓连接有清洁臂，且安装板的顶部右侧壳体固定连接有限位轴，所述限位轴的外圈活动贯穿出放置舱的顶部壳体。
13.优选的，所述连接件包括套杆和套筒，所述套筒活动套设在套杆的外圈上，所述套杆的底端固定连接在齿板的壳体上，所述套筒的顶端与放置架固定连接，且套杆和套筒的一侧壳体均固定连接有横板，一个所述横板的一侧壳体固定连接有推杆电机，所述推杆电机的输出轴固定连接在另一个所述横板的壳体上。
14.与现有的技术相比，本实用新型的有益效果是：
15.通过伺服电机、转轴一、支撑板一、直齿轮、齿板、连接件、放置架等结构，伺服电机可以带动转轴一和直齿轮同步进行转动，直齿轮的转动能够通过齿板和连接件带动放置架在放置舱的壳体上进行移动，从而方便存储晶圆，使得测试人员有一个安全的地方对晶圆进行放置；
16.通过转轴二、螺纹杆、锥齿轮、螺纹筒、安装板、限位轴、清洁臂等结构，转轴一转动的同时可以通过皮带轮和皮带带动转轴二在支撑板二的内圈里进行转动，支撑板二的转动能够通过两个锥齿轮带动螺纹杆在放置舱的壳体内圈里进行转动，螺纹杆的转动在通过限位轴的限制可以带动螺纹筒、安装板和清洁臂上下移动，当放置架向放置舱的外部移动时，清洁臂就会上升，当放置架向向放置舱的内部移动时，清洁臂就会下降，由此在对晶圆进行移动时，可以有效的防止方阻测试仪内部的清洁装置刮伤晶圆，从而提高了半导体生产的良品率。
附图说明
17.图1为本实用新型提出的方阻测试仪自动化平台的立体结构示意图；
18.图2为本实用新型提出的方阻测试仪自动化平台的正视剖视结构示意图；
19.图3为本实用新型提出的方阻测试仪自动化平台的a处放大结构示意图。
20.图中：1检测仪外壳、2机械安装舱、3放置舱、4伺服电机、5转轴一、6支撑板一、7直齿轮、8齿板、9连接件、10放置架、11支撑板二、12转轴二、13螺纹杆、14锥齿轮、15螺纹筒、16安装板、17限位轴、18清洁臂、19、20、21。
具体实施方式
21.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
22.如图1
‑
3所示，本实用新型提出的方阻测试仪自动化平台，包括检测仪外壳1、机械安装舱2、放置舱3、托盘移动机构和机械手移动机构，机械安装舱2和放置舱3均位于检测仪外壳1的内部，放置舱3固定安装在机械安装舱2的顶部壳体外壁上，托盘移动机构安装在机
械安装舱2的内部，机械手移动机构安装在放置舱3的顶部壳体上，且放置舱3的底部壳体内壁设有放置架10，放置架10与托盘移动机构连接，且放置架10与机械手移动机构位于同一个经线上，检测仪外壳1的顶部壳体外壁从左到右分别安装有机械手臂19、晶圆放置托盘20和检测舱21。
23.在一个可选的实施例中，托盘移动机构包括伺服电机4，伺服电机4的底部壳体通过螺栓连接在机械安装舱2的底部壳体内壁上，且伺服电机4的输出轴固定连接有转轴一5，转轴一5的左端通过支撑板一6安装在机械安装舱2的底部壳体上，且转轴一5的中部外圈固定套设有直齿轮7。
24.在一个可选的实施例中，直齿轮7的顶部上方设有齿板8，齿板8的顶部壳体固定连接有连接件9，连接件9的外圈活动贯穿出机械安装舱2和放置舱3的一侧壳体，且连接件9与放置架10固定连接，齿板8与直齿轮7相互啮合，放置架10的底部壳体固定连接有滑轮，放置舱3的底部壳体内壁安装有滑轨，滑轮与滑轨相配合。
25.在一个可选的实施例中，机械手移动机构包括转轴二12，转轴二12的中部外圈转动套设有两个支撑板二11，支撑板二11的底部壳体固定连接在放置舱3的顶部壳体上，且转轴二12的左端外圈和转轴一5的外圈均固定套设有皮带轮，两个皮带轮通过皮带传动。
26.在一个可选的实施例中，放置舱3的顶部壳体内圈转动套设有螺纹杆13，螺纹杆13的顶端和转轴二12的右端均固定连接有锥齿轮14，两个锥齿轮14相互啮合。
27.在一个可选的实施例中，螺纹杆13的底端外圈转动套设有螺纹筒15，螺纹筒15的底部壳体固定连接有安装板16，安装板16的底部壳体通过螺栓连接有清洁臂18，且安装板16的顶部右侧壳体固定连接有限位轴17，限位轴17的外圈活动贯穿出放置舱3的顶部壳体。
28.在一个可选的实施例中，连接件9包括套杆和套筒，套筒活动套设在套杆的外圈上，套杆的底端固定连接在齿板8的壳体上，套筒的顶端与放置架10固定连接，且套杆和套筒的一侧壳体均固定连接有横板，一个横板的一侧壳体固定连接有推杆电机，推杆电机的输出轴固定连接在另一个横板的壳体上。
29.工作原理：首先，因为伺服电机4的输出轴与转轴一5的一端固定连接，转轴一5的另一端与支撑板一6连接，且转轴一5的外圈固定套设有直齿轮7，所以伺服电机4可以带动转轴一5和直齿轮7同步进行转动，而齿板8位于直齿轮7的上方，齿板8通过连接件9与放置架10固定连接，且直齿轮7与齿板8相互啮合，所以直齿轮7的转动能够通过齿板8和连接件9带动放置架10在放置舱3的壳体上进行移动，从而方便存储晶圆，使得测试人员有一个安全的地方对晶圆进行放置；
30.其次，由于转轴二12的左端外圈和转轴一5的外圈均固定套设有皮带轮，两个皮带轮通过皮带传动，因此转轴一5转动的同时可以通过皮带轮和皮带带动转轴二12在支撑板二11的内圈里进行转动，而螺纹杆13的顶端和转轴二12的右端均固定连接有锥齿轮14，两个锥齿轮14相互啮合，因此支撑板二11的转动能够通过两个锥齿轮14带动螺纹杆13在放置舱3的壳体内圈里进行转动，并且因为安装板16的顶部右侧壳体固定连接有限位轴17，限位轴17的外圈活动贯穿出放置舱3的顶部壳体，所以螺纹杆13的转动在通过限位轴17的限制可以带动螺纹筒15、安装板16和清洁臂18上下移动，当放置架10向放置舱3的外部移动时，清洁臂18就会上升，同时推杆电机能够电动放置架10向上移动，使其与检测仪外壳1的顶部壳体位于一个水平上，当放置架10向向放置舱3的内部移动时，清洁臂18就会下降，由此在
对晶圆进行移动时，可以有效的防止方阻测试仪内部的清洁装置刮伤晶圆，从而提高了半导体生产的良品率。
31.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
32.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
33.以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。