一种应用于太阳能电池的AZO靶材及其制备方法与流程

技术特征：
1.一种应用于太阳能电池的azo靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：s01、将锌盐和铝盐加入到第一溶剂中，分散均匀，配制成第一溶液；s02、将草酸加入到第二溶剂中，分散均匀，配制成第二溶液；s03、将第二溶液加入到第一溶液中，在水浴下混合均匀，得到浆料，在常温下挥发去除溶剂，静置，干燥，烧结，得到前驱体粉末；s04、将前驱体粉末加入到去离子水中，分散均匀，置于超声波处理器中，超声处理，干燥，得到氧化锌铝粉体；s05、将氧化锌铝粉末压制成型，得到坯块；s06、将坯块烧结，得到靶材。2.根据权利要求1所述的应用于太阳能电池的azo靶材的制备方法，其特征在于，所述锌盐为二水合乙酸锌，所述铝盐为乙酰丙酮铝。3.根据权利要求1所述的应用于太阳能电池的azo靶材的制备方法，其特征在于，所述第一溶剂为无水乙醇，所述第二溶剂为去离子水或乙醇。4.根据权利要求1所述的应用于太阳能电池的azo靶材的制备方法，其特征在于，所述静置时间为24~48h，所述s03中烧结温度为400~550℃，所述烧结时间为1~3h。5.根据权利要求1所述的应用于太阳能电池的azo靶材的制备方法，其特征在于，所述压制成型采用冷等静压成型，所述冷等静压成型的压力为100~160mpa。6.根据权利要求1所述的应用于太阳能电池的azo靶材的制备方法，其特征在于，所述超声处理功率为1000~1200w，所述超声处理时间为25~50min。7.根据权利要求1所述的应用于太阳能电池的azo靶材的制备方法，其特征在于，所述s06中的烧结采用微波烧结法进行烧结，具体为：将坯块置于微波烧结炉中，在微波功率为200~500w、微波频率2000~2400mhz下，以8~15℃/min升温至700~800℃，保持10~20min；调节微波功率为600~800w、微波频率为2500~2800mhz，以8~15℃/min升温至1100~1250℃，保持30~70min；随炉自然冷却。8.根据权利要求1所述的应用于太阳能电池的azo靶材的制备方法，其特征在于，所述锌盐、铝盐、草酸重量比为：100：1~3：101~103草酸；所述锌盐与第一溶剂的重量比为1：3~6；所述草酸与第二溶剂的重量比为1：3~6。9.根据权利要求1所述的应用于太阳能电池的azo靶材的制备方法，其特征在于，所述s04中前驱体粉末与去离子水重量比为1：3~6。10.一种应用于太阳能电池的azo靶材，其特征在于，采用权利要求1~9任一所述的应用于太阳能电池的azo靶材的制备方法制备得到。

技术总结
本发明公开了一种应用于太阳能电池的AZO靶材及其制备方法，包括以下步骤：将锌盐和铝盐加入到第一溶剂中，分散均匀，配制成第一溶液；将草酸加入到第二溶剂中，分散均匀，配制成第二溶液；将第二溶液加入到第一溶液中，在水浴下混合均匀，得到浆料，在常温下挥发去除溶剂，静置，干燥，烧结，得到前驱体粉末；将前驱体粉末加入到去离子水中，分散均匀，置于超声波处理器中，超声处理，干燥，得到氧化锌铝粉体；将氧化锌铝粉末压制成型，得到坯块；将坯块烧结，得到靶材。由本发明所述的AZO靶材制备得到的薄膜应用于太阳能电池，具有良好的开路电压与短路电流，能够有效提高太阳能电池的光电转化效率。化效率。


技术研发人员：周志宏 雷雨 刘芳
受保护的技术使用者：广州市尤特新材料有限公司
技术研发日：2021.07.05
技术公布日：2021/11/4