光刻设备和用于电机温度控制的方法与流程

技术特征：
1.一种光刻设备，所述光刻设备包括：照射系统，所述照射系统被配置成照射图案形成装置的图案；投影系统，所述投影系统被配置成将所述图案的图像投影至衬底上；平台，所述平台被配置成支撑所述图案形成装置或所述衬底；电机，所述电机被配置成移动所述平台；热控制系统，所述热控制系统被配置成调节所述电机的温度；和控制器，所述控制器被配置成在所述电机的空转期间控制所述电机的温度，使得所述电机在空转期间的最高温度与最低温度之间的差减小。2.根据权利要求1所述的光刻设备，所述光刻设备还包括设置于所述电机上或附近的温度传感器，所述温度传感器被配置成产生电机温度信息，其中所述控制器被进一步配置以：接收所述电机温度信息；基于所述电机温度信息来确定温度调节指令；和将所述温度调节指令发送至所述热控制系统，以维持所述电机在空转期间的温度。3.根据权利要求1所述的光刻设备，其中所述热控制系统包括热耦合至电机的导管系统，并且所述导管系统被配置成使传热流体循环至所述电机和使所述传热流体循环离开所述电机。4.根据权利要求3所述的光刻设备，其中所述传热流体包括水。5.根据权利要求3所述的光刻设备，其中：所述导管系统包括一个或更多个阀；并且所述控制器被进一步配置以致动所述一个或更多个阀，以减少或停止所述传热流体的循环，从而维持所述电机在空转期间的温度。6.根据权利要求1所述的光刻设备，其中：所述控制器被进一步配置以将ac电流供应至所述电机以维持所述电机在空转期间的温度；并且所述ac电流具有使得电机空转的频率。7.根据权利要求1所述的光刻设备，其中：所述电机包括第一线圈和以电气方式独立于第一线圈的第二线圈；控制器被进一步配置以将第一电流供应至所述第一线圈并且将第二电流供应至所述第二线圈以维持所述电机在空转期间的温度；且所述第一电流和所述第二电流产生相反的力，使得所述电机空转。8.根据权利要求1所述的光刻设备，所述光刻设备还包括设置于所述电机上或附近的加热元件，其中所述控制器被进一步配置成允许所述加热元件加热所述电机，从而维持所述电机在空转期间的温度。9.一种非暂时性计算机可读介质，在所述非暂时性计算机可读介质上储存有指令，所述指令在由控制器执行时使得控制器执行操作，所述操作包括：启动光刻设备中的平台的电机的空转；将温度调节指令发送至所述光刻设备的热调节部件；和使用所述热调节部件来调整所述电机在空转期间的温度，使得所述电机在空转期间的
最高温度与最低温度之间的差减小。10.根据权利要求9所述的非暂时性计算机可读介质，其中所述操作还包括：接收由设置于所述电机上或附近的温度传感器所产生的电机温度信息；和基于所述电机温度信息来确定所述温度调节指令。11.根据权利要求10所述的非暂时性计算机可读介质，其中：所述光刻设备包括热控制系统，所述热控制系统包括被配置成使传热流体循环至所述电机和使所述传热流体循环离开所述电机的导管系统，所述导管系统包括一个或更多个阀，并且所述调整包括致动所述一个或更多个阀以减少或停止所述传热流体的循环以维持所述电机在空转期间的温度；和/或所述光刻设备包括设置于所述电机上或附近的加热元件，并且所述调整包括使用所述加热元件来加热电机以维持所述电机在空转期间的温度。12.根据权利要求9所述的非暂时性计算机可读介质，其中：所述调整包括将ac电流供应至所述电机以维持所述电机在空转期间的温度，所述ac电流具有使得电机空转的频率；和/或所述电机包括第一线圈和第二线圈，并且所述调整包括将第一电流供应至所述第一线圈并且将第二电流供应至所述第二线圈，以维持所述电机在空转期间的温度，所述第一电流和所述第二电流产生相反的力，使得所述电机空转。13.一种用于维持致动器在所述致动器的空转期间的温度的系统，所述系统包括：台，所述台被配置成支撑物件；致动器，所述致动器被配置成移动所述台；热控制系统，所述热控制系统被配置成调节所述致动器的温度；和控制器，所述控制器被配置成在所述空转期间控制所述致动器的温度，使得所述致动器在空转期间的最高温度与最低温度之间的差减小。14.根据权利要求13所述的系统，所述系统还包括设置于所述致动器上或附近的温度传感器，所述温度传感器被配置成产生致动器温度信息，其中所述控制器被进一步配置以：接收所述致动器温度信息；基于所述致动器温度信息来确定温度调节指令；和将所述温度调节指令发送至所述热控制系统，以维持所述致动器在空转期间的温度。15.根据权利要求13所述的系统，其中：所述热控制系统包括热耦合至所述致动器且被配置成使传热流体循环至所述致动器和使所述传热流体循环离开所述致动器的导管系统，所述导管系统包括一个或更多个阀，并且所述控制器被进一步配置成致动所述一个或更多个阀来减少或停止传热流体的循环以维持所述致动器在空转期间的温度；和/或所述系统包括设置于所述致动器上或附近的加热元件，并且所述控制器被进一步配置成允许所述加热元件加热致动器以维持所述致动器在空转期间的温度。16.根据权利要求13所述的系统，其中：所述控制器被进一步配置成将ac电流供应至所述致动器以维持所述致动器在空转期间的温度，ac电流具有使得所述致动器空转的频率；和/或所述致动器包括第一线圈和以电气方式独立于所述第一线圈的第二线圈，并且所述控
制器被进一步配置成将第一电流供应至所述第一线圈并且将第二电流供应至所述第二线圈以维持所述致动器在空转期间的温度，所述第一电流和所述第二电流产生相反的力，使得所述致动器空转。

技术总结
一种光刻设备，包括照射系统、投影系统、平台、电机、热控制系统和控制器。所述照射系统照射图案形成装置的图案。所述投影系统将所述图案的图像投影至衬底上。所述平台支撑所述图案形成装置或所述衬底。所述电机移动所述平台。所述热控制系统调节所述电机的温度。所述控制器在所述电机的空转期间控制所述电机的温度，使得所述电机在所述空转期间的最高温度与最低温度之间的差减小。低温度之间的差减小。低温度之间的差减小。


技术研发人员：I
受保护的技术使用者：ASML控股股份有限公司
技术研发日：2020.03.12
技术公布日：2021/11/4