状态判断装置、状态判断方法和计算机可读取的存储介质与流程

技术特征：
1.一种状态判断装置，其特征在于：所述状态判断装置判断构成为能够在基片处理装置中保持基片并且使之动作的驱动机构的状态，并包括：构成为能够获取所述驱动机构的动作数据的获取部；模型生成部，其构成为能够基于正常动作数据，执行使用自动编码器的机器学习，来生成所述驱动机构的监视模型，其中，所述正常动作数据来自于在所述驱动机构的正常动作时由所述获取部获取到的所述动作数据；和第一判断部，其构成为能够基于将评价数据输入所述监视模型而得到的第一输出数据，判断所述驱动机构的状态，其中，所述评价数据来自于在所述驱动机构的评价时由所述获取部获取到的所述动作数据。2.如权利要求1所述的装置，其特征在于：所述第一判断部执行以下处理：基于所述正常动作数据与将所述正常动作数据输入所述监视模型而得到的第二输出数据之间的第一误差，获取容许误差的处理；通过将所述评价数据和所述第一输出数据之间的第二误差与所述容许误差进行比较，获取从所述容许误差的第一偏差率的处理；以及基于所述第一偏差率判断所述驱动机构的状态的处理。3.如权利要求2所述的装置，其特征在于：在将参数μ1、σ1分别设为：μ1：所述第一误差的平均值σ1：所述第一误差的标准偏差时，所述容许误差为μ1±
3σ1的范围。4.如权利要求2或3所述的装置，其特征在于：所述第一偏差率为，基于所述第二误差和所述容许误差计算均方根误差(rmse)而得到的值。5.如权利要求2～4中任一项所述的装置，其特征在于：基于所述第一偏差率判断所述驱动机构的状态的处理，包括基于所述第一偏差率是否超过了规定的阈值来进行判断的处理。6.如权利要求5所述的装置，其特征在于：在将参数σ2设为σ2：基于所述第一误差与所述容许误差的比较而得到的、与所述容许误差的第二偏差率的标准偏差时，所述阈值为根据3σ2而求取的值。7.如权利要求6所述的装置，其特征在于：所述第二偏差率为基于所述第一误差和所述容许误差计算均方根误差(rmse)而得到的值。8.如权利要求5～7中任一项所述的装置，其特征在于，还包括：存储部，其构成为能够存储在规定期间将基于所述第一偏差率的所述驱动机构的状态的判断结果存积而得的数据组；和
第二判断部，其构成为能够基于所述数据组之中所述第一偏差率超过所述阈值的数据的比例，判断所述驱动机构接近异常状态的程度。9.如权利要求1～8中任一项所述的装置，其特征在于：还包括调整部，其构成为能够将由所述获取部获取到的所述动作数据的数据量调整成一定数量，所述正常动作数据为用所述调整部将在所述驱动机构的正常动作时由所述获取部获取到的所述动作数据的数据量调整成一定数量而得到的数据，所述评价数据为用所述调整部将在所述驱动机构的评价时由所述获取部获取到的所述动作数据的数据量调整成一定数量而得到的数据。10.如权利要求1～9中任一项所述的装置，其特征在于：所述驱动机构包括：支承所述基片的支承部件；和使所述支承部件动作的电动机，所述获取部构成为能够获取所述电动机的扭矩信号作为所述动作数据。11.一种状态判断方法，其特征在于，包括：基于正常动作数据，执行使用自动编码器的机器学习，来生成所述驱动机构的监视模型的步骤，其中，所述正常动作数据来自于构成为能够保持基片并使之动作的驱动机构的正常动作时的动作数据；和基于将评价数据输入所述监视模型而得到的第一输出数据，判断所述驱动机构的状态的步骤，其中，所述评价数据来自于所述驱动机构的评价时的动作数据。12.一种计算机可读取的存储介质，其特征在于：存储有用于使基片处理装置的驱动机构执行权利要求11所述的状态判断方法的程序。

技术总结
本发明提供状态判断装置、状态判断方法和计算机可读取的存储介质，判断构成为能够在基片处理装置中保持基片并且使之动作的驱动机构的状态。该状态判断装置包括：构成为能够获取驱动机构的动作数据的获取部；模型生成部，其构成为能够基于正常动作数据，执行使用自动编码器的机器学习，来生成驱动机构的监视模型，其中，正常动作数据来自于在驱动机构的正常动作时由获取部获取到的动作数据；和第一判断部，其构成为能够基于将评价数据输入监视模型而得到的第一输出数据，判断驱动机构的状态，其中，评价数据来自于在驱动机构的评价时由获取部获取到的动作数据。由获取部获取到的动作数据。由获取部获取到的动作数据。


技术研发人员：牧准之辅 丰永真臣 太田敦 冈田基 筒井拓郎 佐野圭 矢野光辉
受保护的技术使用者：东京毅力科创株式会社
技术研发日：2020.03.18
技术公布日：2021/11/4