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一种涂覆装置的制作方法

2021-11-03 14:33:00 来源:中国专利 TAG:


1.本发明涉及一种机械设备,尤其涉及一种涂覆装置。


背景技术:

2.目前,现有的涂覆装置在往芯片上滚涂涂敷氯化镉时,一般是通过在基片的上方设置滴管进行定点加药,然后通过涂覆辊进行涂覆,但在使用时,由于加液的方式是定点加液,涂覆辊在涂覆过程中可能无法将药液侵润均匀,从而使得基片的涂覆不均匀,进而导致实际生产中基板的膜层涂覆均匀度差、易发生结晶、受光面药液残留、电池外观不良等问题。


技术实现要素:

3.为解决以上技术问题,本发明实施例提供一种涂覆装置,可以通过在涂覆辊设置弹性多孔材料涂覆层,使得涂覆辊在转动时,能将药剂吸收,并通过上压辊的挤压作用,将弹性多孔材料涂覆层中所吸收的材料挤压至基板上,从而保证基板的膜层涂覆均匀,避免发生结晶等问题。
4.为达上述目的,本发明实施例的技术方案是这样实现的:
5.本发明实施例提供一种涂覆装置,包括:
6.涂覆辊,所述涂覆辊的辊面设置弹性多孔材料涂覆层;
7.上压辊,所述上压辊设置在所述涂覆辊的上方,且所述上压辊和所述涂覆辊之间留有基板通道;
8.加液槽,所述加液槽设置在所述涂覆辊的下方,且所述涂覆辊的下部浸入至所述加液槽内的药剂中。
9.在本发明实施例中,所述上压辊与第一位移调整装置驱动连接,
10.或所述涂覆辊与第一位移调整装置驱动连接,
11.或所述上压辊和所述涂覆辊均与第一位移调整装置驱动连接。
12.在本发明实施例中,所述涂覆装置还包括:
13.挤压辊,所述挤压辊设置在所述涂覆辊的一侧,其中,所述挤压辊的辊面与所述弹性多孔材料涂覆层相抵接。
14.在本发明实施例中,所述挤压辊与第二位移调整装置驱动连接。
15.在本发明实施例中,所述涂覆辊有两个以上,每个所述涂覆辊的上方均设置所述上压辊。
16.在本发明实施例中,所述加液槽包括:
17.供液槽体,所述供液槽体设置在所述涂覆辊的下方,所述供液槽体与储存槽连接,所述储存槽与所述配液槽连连接,所述储存槽内还设置滴定检测装置;
18.漏液槽体,所述漏液槽体设置在所述供液槽体的下方。
19.在本发明实施例中,所述供液槽体储存槽之间通过循环管道连接;
20.所述配液槽与所述储存槽之间通过连接管道连接,所述配液槽、所述储存槽和所述循环管道上还连接输液管;
21.所述储存槽和所述漏液槽体上还连接排液管。
22.在本发明实施例中,所述连接管上和所述循环管道的供液管道上均设置液体过滤器。
23.在本发明实施例中,所述涂覆装置还包括翻转台系统,所述翻转台系统包括上传输皮辊和下传输皮辊,所述上传输皮辊和所述下传输皮辊之间设置基板传输通道,所述基板传输通道与所述基板通道连通,所述上传输皮辊和所述下传输皮辊之间还设置用于控制所述基板传输通道大小的夹紧装置,所述夹紧装置上还连接翻转电机,所述翻转电机安装在基座上。
24.在本发明实施例中,所述涂覆装置还包括保护腔体,所述涂覆辊、所述上压辊和所述加液槽均设置在所述保护腔体内,所述保护腔体的顶部设置负压排风装置。
25.本发明实施例提供一种涂覆装置,包括:涂覆辊,所述涂覆辊的辊面设置弹性多孔材料涂覆层;上压辊,所述上压辊设置在所述涂覆辊的上方,且所述上压辊和所述涂覆辊之间留有基板通道;加液槽,所述加液槽设置在所述涂覆辊的下方,且所述涂覆辊的下部浸入至所述加液槽内的药剂中;这样,在使用时,将基板从所述基板通道内进行输送,在输送过程中,所述上压辊将基板紧压在所述涂覆辊上,所述涂覆辊上的多孔材料涂覆层在转动过程中会浸入到所述加液槽内的药剂中,当与所述基板接触时,会将药剂均匀地涂抹在基板上。
附图说明
26.图1为本发明实施例提供的一种涂覆装置的结构示意图;
27.图2为本发明实施例提供的一种涂覆装置的结构示意剖视图;
28.图3为本发明实施例提供的加液槽的结构示意简图;
29.图4为本发明实施例提供的翻转台系统的结构示意图;
30.图5为本发明实施例提供的带有翻转台系统的涂覆装置的结构示意图。
具体实施方式
31.下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
32.本发明实施例提供一种涂覆装置,如图1和2所示,包括:涂覆辊1,所述涂覆辊1的辊面设置弹性多孔材料涂覆层;上压辊2,所述上压辊2设置在所述涂覆辊1的上方,且所述上压辊2和所述涂覆辊1之间留有基板通道;加液槽4,所述加液槽4设置在所述涂覆辊1的下方,且所述涂覆辊1的下部浸入至所述加液槽4内的药剂中。
33.这里,所述涂覆辊1用于将药剂涂覆在基板上,所述涂覆辊1上设置弹性多孔材料涂覆层,其中,所述弹性多孔材料涂覆层包括但不限海绵,在使用时,所述弹性多孔材料涂覆层包覆在所述涂覆辊1上,所述弹性多孔材料涂覆层可以通过浸入到药剂中进行吸收药剂,也可以通过人工滴加的方式吸收药剂,当所述弹性多孔材料涂覆层受到挤压时,吸收的药剂可以从所述弹性多孔材料涂覆层中溢出。
34.所述上压辊2设置在所述涂覆辊1的上方,具体地,所述上压辊2设置在所述涂覆辊1的正上方,在使用时,所述上压辊2一方面用于传输基板,另一方面可以对基板施加压力,从而使得处于基板下方的所述涂覆辊1上弹性多孔材料涂覆层受挤压,进而溢出药剂,对基板进行涂覆。
35.所述加液槽4设置在所述涂覆辊1的下方,当所述涂覆辊1转动时,所述涂覆辊1上的弹性多孔材料涂覆层的下部浸入到所述加液槽4的药剂内。
36.在使用时,所述涂覆辊1和所述加液槽4设置在基板的下方,所述上压辊2设置在基板的上方,基板从通过所述基板通道两侧设置的传输装置从所述基板通道内通过,所述涂覆辊1在滚动过程中下部吸掉所述加液槽4内的药剂,然后在滚动至基板处时,由于基板通过所述上压辊2挤压所述涂覆辊1,使得药剂能从所述弹性多孔材料涂覆层中挤出,并对基板进行涂覆。这样,将加液方式从药剂滴加改为通过所述涂覆辊1在基板下方使用弹性多孔材料涂覆层沾染加液槽4的方式,完成自动均匀加药。且由于改变了所述涂覆辊1的涂覆方式,因此不会出现所述涂覆辊1因缺液导致的结晶。同时改变为下加液方式,即使所述涂覆辊1边缘磨损,但不会对膜层工艺有影响。进一步地,在本发明实施例中,所述涂覆装置还包括:挤压辊3,所述挤压辊3设置在所述涂覆辊1的一侧,其中,所述挤压辊3的辊面与所述弹性多孔材料涂覆层相抵接。
37.这里,所述挤压辊3设置在所述涂覆辊1的一侧,所述挤压辊3与所述涂覆辊1的转动方向相反,具体地,沿所述涂覆辊1的转动方向,所述挤压辊3设置在所述涂覆辊1的后侧,同时,所述挤压辊3的辊面与所述弹性多孔材料涂覆层相抵接,既所述挤压辊3与所述涂覆辊1在相对转动时,所述挤压辊3的辊面能将所述涂覆辊1上的弹性多孔材料涂覆层相互挤压,从而完成对所述涂覆辊1的吸收液体量的调整。同时,所述涂覆辊1设计在基板表面下方滚涂,还可以与所述挤压辊3配合排出多余液体,因此不会产生液体滴落导致的非滚涂的受光面污染现象。
38.进一步地,如图1和2所示,在本发明实施例中,所述上压辊2与第一位移调整装置驱动连接,或所述涂覆辊1与第一位移调整装置驱动连接,或所述上压辊2和所述涂覆辊1均与第一位移调整装置驱动连接。
39.所述挤压辊3与第二位移调整装置驱动连接。
40.这里,为了适应不同厚度的基板,所述上压辊2和/或所述涂覆辊1与所述第一位移调整装置连接,进而通过所述第一位位移调整装置可以调整所述上压辊2和所述涂覆辊1之间的相对位置。
41.具体地,当所述上压辊2与第一位移调整装置驱动连接时,所述涂覆辊1固定,所述上压辊2可以通过所述第一位移调整装置进行移动,从而改变所述上压辊2和所述涂覆辊1之间的位置。
42.当所述涂覆辊1与所述第一位移调整装置连接时,所述上压辊2固定,所述涂覆辊1可以通过所述第一位移调整装置进行移动,从而改变所述上压辊2和所述涂覆辊1之间的位置。
43.当所述上压辊2和所述涂覆辊1均驱动连接所述第一位移调整装置时,所述上压辊2和所述涂覆辊1均可以通过所述第一位移调整装置进行移动,从而改变所述上压辊2和所述涂覆辊1之间的位置。
44.更具体地,所述第一位移装置包括但不限于电动推杆、机械臂等驱动装置,所述第一位移装置驱动所述上压辊2和/或所述涂覆辊1上下移动,或者沿着非水平的方向移动。
45.为了方便所述挤压辊3对所述弹性多孔材料涂覆层进行挤压,从而使得所述弹性多孔材料涂覆层更加容易吸附所述加液槽4的药剂,因此所述涂覆辊1可以通过所述第一位移调整装置调整与所述挤压辊3的相对位置,也可以通过调整与所述第二位移调整装置连接的所述挤压辊3的位置,从而调整与所述涂覆辊1的相对位置。其中,上述的相对位置包括所述涂覆辊1与所述挤压辊3的靠近和远离。
46.具体地,所述第二位移调整装置包括但不限于电动推杆、机械臂等驱动装置,所述第二位移装置驱动所述挤压辊3做与所述涂覆辊1的靠近动作和远离动作。
47.进一步地,如图1和2所示,在本发明实施例中,所述涂覆辊1有两个以上,每个所述涂覆辊1的上方均设置所述上压辊2。
48.这里,沿基板进行涂覆的传输方向,第一组所述涂覆辊1和所述上压辊2用于预滚涂,第二组所述涂覆辊1和所述上压辊2用于重复涂覆,确保液体涂覆均匀无盲区。
49.实际地,当基板大小为1200mm宽时,所述涂覆辊1的宽度设计为1130mm,并与基板中心对应。此时基板的两边缘10mm区域为无用区域,可以减少边缘液体绕边沾染。
50.进一步地,如图3所示,在本发明实施例中,所述加液槽包括:供液槽体41,所述供液槽体41设置在所述涂覆辊1的下方,所述供液槽体41与储存槽42连接,所述储存槽42与所述配液槽43连连接;漏液槽体44,所述漏液槽体44设置在所述供液槽体41的下方。所述供液槽体41与储存槽42之间通过循环管道51连接;所述配液槽43与所述储存槽42之间通过连接管道连接,所述配液槽43、所述储存槽42和所述循环管道51上还连接输液管52;所述储存槽42和所述漏液槽体44上还连接排液管53。
51.所述连接管上和所述循环管道51的供液管道上均设置液体过滤器6。
52.这里,所述供液槽体41内设置药剂,所述涂覆辊1的下部设置在所述涂覆辊1内的药剂中,为了保证所述供液槽体41内药剂的量保持稳定,故通过所述储存槽42和所述配液槽43与所述供液槽体41连接。更进一步地,可以通过循环供液泵将所述储存槽42内的液体持续供给给所述涂覆辊1下方的所述供液槽体41,保证整个系统循环,持续,并防止结晶的产生。
53.其中,所述配液槽43用于配制药剂,具体地,所述配液槽43主要为化学药液的配置槽体,通过添加氯化镉药粉和di水(即离子水),并在所述配液槽43进行循环搅拌,完成药液的与预配置。所述储液槽用于储存好配制后的药剂,具体地,配好的溶液可以通过供给泵打入所述储液槽内,通过所述储液槽内的滴定检测系统,控制di水(即离子水)精确加入控制所述储液槽内的浓度。
54.具体地,所述供液槽体41与所述储存槽42之间通过循环管道51连接,这样,所述供液槽体41与所述储存槽42之间的药剂可以循环流动,从而保证所述供液槽体41内药剂量的稳定,使得所述涂覆辊1在所述供液槽体41内每次浸入量稳定,保证了对基板涂覆量的稳定,提高了基板的涂覆质量。更进一步地,所述供液槽体41上可以溢流孔,进而保持液位稳定。其中,所述循环管道51的供液管道上还设置所述液体过滤器6,进而避免进入到所述供液槽体41内杂质较多。
55.所述输液管52主要用于控制所述供液槽体41、所述储存槽42和所述配液槽43内药
剂中成分含量的浓度,具体地,所述输液管52中输送的液体可以为di水(即离子水),所述输液管52与所述循环管道51的供液管道的连接处沿供给方向位于所述液体过滤器6后。
56.所述供液槽体41的下方还设置所述漏液槽体44,所述漏液槽体44用于收集从所述供液槽体41中溢出的液体。
57.进一步地,如图4所示,在本发明实施例中,所述涂覆装置还包括翻转台系统,所述翻转台系统包括上传输皮辊71和下传输皮72辊,所述上传输皮辊71和所述下传输皮72辊之间设置基板传输通道,所述基板传输通道与所述基板通道连通,所述上传输皮辊71和所述下传输皮72辊之间还设置用于控制所述基板传输通道大小的夹紧装置73,所述夹紧装置73上还连接翻转电机74,所述翻转电机74安装在基座上。
58.这里,所述上传输皮辊71和所述下传输皮72辊构成传输皮辊结构,主要用于传输夹紧作用。传输基板时,接触基板左右两边各<10mm的间距,等传输到达预定位置时;配合夹紧装置73,固定夹紧基板的两边,通过翻转电机74进行反转动作,待翻转完成后,夹紧装置73松开进行传送。
59.更进一步地,所述上传输皮辊71上的传输辊轮和所述下传输皮72辊上的传输辊轮均起到传输和支撑的作用。传输辊轮仅接触基板三点,与生产镀膜时接触点一致。避免额外接触。
60.进一步地,如图5所示,在本发明实施例中,所述涂覆装置还包括保护腔体8,所述涂覆辊1、所述上压辊2和所述加液槽4均设置在所述保护腔体8内,所述保护腔体8的顶部设置负压排风装置81。
61.这里,所述保护腔体8用于保护生产环境,减少毒害气体挥发。其中,所述保护腔体8的腔壁为可视透明有机玻璃。所述保护腔体8的顶部安装一个负压排风装置81。同时安装维修门窗方便检测及维护。
62.以上仅是本发明的优选实施方式,应当指出的是,上述优选实施方式不应视为对本发明的限制,本发明的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明的精神和范围内,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。
再多了解一些

本文用于企业家、创业者技术爱好者查询,结果仅供参考。

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