一种产生超宽带双光子态的直波导结构的制作方法

技术特征：
1.一种产生超宽带双光子态的直波导结构，其特征在于，包括衬底层，所述衬底层上设置有linbo3晶体薄膜层，所述linbo3晶体薄膜层掺杂3％
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10％mgo；所述衬底的长度l为6
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10mm，高度d为1.5
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2.5μm；所述linbo3晶体薄膜层的中部设置有linbo3晶体薄膜层凸起，所述linbo3晶体薄膜层凸起的横截面为等腰梯形，等腰梯形的高度d1为350
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450nm，上底的长度w为1400
‑
1800nm，腰与下底的夹角θ为60
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80度。2.如权利要求1所述的一种产生超宽带双光子态的直波导结构，其特征在于，所述衬底层的材质为sio2。3.如权利要求1所述的一种产生超宽带双光子态的直波导结构，其特征在于，linbo3晶体薄膜层掺杂5％mgo。4.如权利要求2所述的一种产生超宽带双光子态的直波导结构，其特征在于，所述衬底的长度l为8mm，高度d为2μm。5.如权利要求1所述的一种产生超宽带双光子态的直波导结构，其特征在于，所述linbo3晶体薄膜层的厚度d2为160
‑
220nm。6.如权利要求1所述的一种产生超宽带双光子态的直波导结构，其特征在于，所述等腰梯形的高度d1为400nm，上底的长度w为1600nm，腰与下底的夹角θ为75度。7.如权利要求1所述的一种产生超宽带双光子态的直波导结构，其特征在于，所述linbo3晶体薄膜层设置有准周期极化结构。8.如权利要求7所述的一种产生超宽带双光子态的直波导结构，其特征在于，所述准周期极化结构为：linbo3晶体薄膜层的二阶非线性极化系数χ
(2)
沿光子传播方向周期性反转，实现二阶非线性极化系数χ
(2)
＝ 1的晶畴和二阶非线性极化系数χ
(2)
＝
‑
1的晶畴规律交替出现。9.如权利要求1所述的一种产生超宽带双光子态的直波导结构，其特征在于，采取啁啾的形式改变二阶非线性极化系数χ
(2)
的翻转周期。10.如权利要求8所述的一种产生超宽带双光子态的直波导结构，其特征在于，所述二阶非线性极化系数χ
(2)
的翻转周期λ表示为：λ＝2π/δk。

技术总结
本发明公开了一种产生超宽带双光子态的直波导结构，包括衬底层，所述衬底层上设置有LiNbO3晶体薄膜层，所述LiNbO3晶体薄膜层掺杂3％


技术研发人员：何广强 姜震 息朝祥 胡敏 郭邦红
受保护的技术使用者：上海交通大学
技术研发日：2021.06.30
技术公布日：2021/11/2