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粒子束
具有动态控制的高通过量多束带电粒子检查系统的制作方法
本发明涉及多束带电粒子检查系统和操作多束带电粒子检查系统的方法。更具体地,本发明涉及具有高通过量、高分辨率和高可靠性的用于晶片检查的多束带电粒子束检查系统以及相关的方法和计算机程序产品。该方法和多束带电粒子束检查系统配置成从多个传感器数据中提取一组控制信号来控制多束带电粒子束检查系统。
标签:
束带
粒子束
系统
方法
粒子
2023-02-06
减少基板上污染分子沉积的设备的制作方法
本公开内容的多个实施方式涉及用于减少基板(特别是大面积基板)上污染分子的沉积的设备。多个实施方式涉及具有该设备的带电粒子束系统。本公开内容的方面涉及用于减少在基板上污染分子的沉积的方法。
标签:
多个
基板
粒子束
分子
方式
2022-12-09
基于电机控制调节的永磁四极磁铁
本发明涉及粒子加速器领域及带电粒子束流输运领域,尤其是涉及一种基于电机控制调节的永磁四极磁铁。
标签:
永磁
粒子束
磁铁
粒子
电机
2022-12-02
用带电粒子束进行液体成形的制作方法
本发明涉及纳米技术和微机械加工领域。本发明进一步涉及一种用于通过用带电粒子束照射离子液体并使其流动来制备和/或处理样品的方法。
标签:
粒子束
纳米技术
使其
微机
样品
2022-11-30
多带电粒子束描绘装置以及多带电粒子束描绘方法与流程
本技术是主张以2020年6月12日向日本国提出的jp2020-102168(申请号)为基础申请的优先权的申请。jp2020-102168所记载的内容被并入本技术中。2.本发明的一个方式涉及多带电粒子束描绘装置以及多带电粒子束描绘方法,例如涉及减少因多射束描绘而引起的图案的尺寸偏移的方法。
标签:
粒子束
日本国
多带
方法
优先权
2022-11-28
孔径组件、射束操纵器单元、操纵带电粒子束的方法以及带电粒子投射装置与流程
孔径组件、射束操纵器单元、操纵带电粒子束的方法以及带电粒子投射装置相关申请的交叉引用2.本技术要求于2020年4月6日提交的ep申请20168282的优先权,其全部内容通过引用并入本文。技术领域3.本文提供的实施例总体上涉及用于操纵带电粒子束的装置和方法,特别是在用于检查样品的带电粒子束工具的背景中。
标签:
粒子束
装置
本文
是在
方法
2022-11-19
粒子束流动参数测量装置、测量系统及其测量方法
本发明涉及粒子射流表面处理工艺的技术领域,尤其是涉及一种粒子束流动参数测量装置、测量系统及其测量方法。
标签:
粒子束
测量
射流
粒子
表面处理
2022-11-16
用于信号电子探测的系统和方法与流程
用于信号电子探测的系统和方法相关申请的交叉引用2.本技术要求于2020年3月11日提交的美国申请62/988,282的优先权,该申请整体通过引用并入本文。技术领域3.本文提供的实施例公开了一种带电粒子束装置,更具体地,公开了用于增强电子显微镜中的信号电子收集效率的系统和方法。
标签:
粒子束
信号
本文
电子显微镜
方法
2022-11-14
用于信号电子探测的系统和方法与流程
用于信号电子探测的系统和方法相关申请的交叉引用2.本技术要求于2020年3月11日提交的美国申请62/988,282的优先权,该申请整体通过引用并入本文。技术领域3.本文提供的实施例公开了一种带电粒子束装置,更具体地,公开了用于增强电子显微镜中的信号电子收集效率的系统和方法。
标签:
粒子束
信号
本文
电子显微镜
方法
2022-11-14
用于信号电子探测的系统和方法与流程
用于信号电子探测的系统和方法相关申请的交叉引用2.本技术要求于2020年3月11日提交的美国申请62/988,282的优先权,该申请整体通过引用并入本文。技术领域3.本文提供的实施例公开了一种带电粒子束装置,更具体地,公开了用于增强电子显微镜中的信号电子收集效率的系统和方法。
标签:
粒子束
信号
本文
电子显微镜
方法
2022-11-13
用于信号电子探测的系统和方法与流程
用于信号电子探测的系统和方法相关申请的交叉引用2.本技术要求于2020年3月11日提交的美国申请62/988,282的优先权,该申请整体通过引用并入本文。技术领域3.本文提供的实施例公开了一种带电粒子束装置,更具体地,公开了用于增强电子显微镜中的信号电子收集效率的系统和方法。
标签:
粒子束
信号
本文
电子显微镜
方法
2022-11-12
多光束数字扫描以及图像获取的制作方法
本发明关于一种多光束带电粒子束扫描检验系统,其包含一具有高灵活性和高通量的多光束扫描和图像获取系统、以及一相关方法和一计算机程序产品。该多光束带电粒子束检验系统包含一改良的扫描仪架构和偏转扫描仪操作控制器、以及一用于同步图像获取的改良的图像获取模组。
标签:
光束
粒子束
图像
扫描仪
系统
2022-09-15
一种粒子束激发用发光材料及其制备方法
本发明涉及靶体粒子束成像领域,具体涉及一种粒子束激发用发光材料及其制备方法。
标签:
粒子束
制备方法
材料
2022-09-15
带电粒子束装置以及粗糙度指标计算方法与流程
本公开涉及带电粒子束装置以及粗糙度指标计算方法,特别涉及在成为测定对象的图案的边缘出现的粗糙度指标的测量中的带电粒子束装置间的机差校正。
标签:
粒子束
装置
指标
粗糙度
计算方法
2022-09-08
在带电粒子系统中使用电压对比进行缺陷检查的系统和方法与流程
在带电粒子系统中使用电压对比进行缺陷检查的系统和方法相关申请的交叉引用2.本技术要求于2019年12月19日提交的美国申请62/950,786的优先权,并且该申请的全部内容通过引用并入本文。技术领域3.本公开总体上涉及在带电粒子束系统中使用电压对比来检查晶片的缺陷的领域。
标签:
系统
电压
粒子束
缺陷
优先权
2022-09-08
带电粒子束照射系统的制作方法
本技术主张基于2021年3月3日申请的日本专利申请第2021-033429号的优先权。该日本技术的全部内容通过参考援用于本说明书中。2.本发明涉及一种带电粒子束照射系统。
标签:
粒子束
优先权
专利申请
日本
书中
2022-09-07
一种宽能谱粒子束传输与均匀化装置及其实现方法
本发明涉及粒子束传输与激光加速器应用技术,具体涉及一种宽能谱粒子束传输与均匀化装置及其实现方法。
标签:
粒子束
加速器
应用技术
均匀
激光
2022-09-03
粒子束治疗装置的制作方法
本技术主张基于2021年2月25日申请的日本专利申请第2021-028634号的优先权。该日本技术的全部内容通过参考援用于本说明书中。2.本发明涉及一种粒子束治疗装置。
标签:
粒子束
优先权
专利申请
日本
书中
2022-08-31
带电粒子源模块的制作方法
带电粒子源模块相关申请引用2.本技术是国际申请号为pct/jp2018/015632、国际申请日为2018年4月10日、进入中国国家阶段日期为2019年11月12日、中国国家申请号为201880031355.3、发明名称为“带电粒子源模块”的发明专利申请的分案申请。技术领域3.本发明涉及一种用于产生和发射带电粒子束的带电粒子源模块。本发明还涉及一种具有所述带电粒子源模块的曝光系统、带电粒子源装置、用于制造半导体器件的方法以及用于检查目标的方法。
标签:
粒子
模块
粒子束
方法
国家
2022-08-23
用于控制带电粒子束的设备和方法与流程
用于控制带电粒子束的设备和方法相关申请的交叉引用2.本技术要求于2020年1月6日提交的ep申请20150384.4的优先权,该ep申请通过引用被整体并入本文中。技术领域3.本文中所描述的实施例涉及具有一个或多个带电粒子束的带电粒子装置,诸如利用一个或多个电子束的电子显微镜设备。
标签:
粒子束
多个
文中
电子束
电子显微镜
2022-08-21
用于检查样本的方法及带电粒子束装置
实施例涉及带电粒子束装置,例如用于检查系统应用、测试系统应用、缺陷检验或临界尺寸应用等。实施例还涉及带电粒子束装置的操作的方法。更具体地,实施例涉及作为用于通用目的(诸如成像生物结构)和/或用于高产量ebi(电子束检查)的多射束系统的带电粒子束装置。实施例涉及使用多射束带电粒子柱来检查样品的表面的设备及方法。
标签:
粒子束
装置
系统
电子束
束带
2022-07-29
一种防溅射法拉第筒及其制备方法
本发明涉及带电粒子束流测量领域,尤其涉及一种防溅射法拉第筒及其制备方法
标签:
法拉第
粒子束
测量
制备方法
防溅射
2022-07-23
带电粒子束描绘方法以及带电粒子束描绘装置与流程
本发明涉及带电粒子束描绘方法以及带电粒子束描绘装置。
标签:
粒子束
装置
方法
2022-07-23
多带电粒子束描绘方法以及多带电粒子束描绘装置与流程
本发明涉及多带电粒子束描绘方法以及多带电粒子束描绘装置。
标签:
粒子束
多带
装置
方法
2022-07-23
包含多束偏转装置和束终止器的粒子束系统,操作粒子束系统的方法及相关的计算机程序产品与流程
本发明关于以多个粒子束操作的粒子束系统。
标签:
粒子束
多个
操作
系统
2022-07-16
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