液体供给装置、设备的制造方法以及设备与流程

本发明的实施方式涉及液体供给装置、设备（device）的制造方法以及设备。

背景技术：

1、正在进行通过喷墨（ink-jet）法来形成波导芯等微细的形状。例如，公开了：通过从喷头（head）喷出光波导的前体的液滴，在基材上形成基于该液滴的波导芯。

2、然而，在现有技术中，供给到基材上的液体的供给量存在偏差，由于该供给量的偏差，有时供给到基材上的供给液的形状精度降低。

技术实现思路

1、本发明是鉴于上述情况而完成的，其目的在于提供能够实现供给液的形状精度的提高的液体供给装置、设备的制造方法以及设备。

2、用于解决课题的手段

3、实施方式的液体供给装置具备喷头、光量传感器、计算部和电压控制部。喷头向基材上的亲水区域供给液体。光量传感器对供给到基材上的所述液体即供给液照射照射光，计测所述照射光因所述供给液而产生的反射光的反射光量。计算部基于所述反射光量，计算用于使所述供给液的剖面形状成为目标形状的供给时间。电压控制部控制向所述喷头以及所述基材中的至少一者的施加电压，以使按照计算出的所述供给时间、供给所述液体。

4、根据上述液体供给装置、设备的制造方法以及设备，能够实现供给液的形状精度的提高。

1.一种液体供给装置，具备：

2.如权利要求1所述的液体供给装置，其中，

3.如权利要求1所述的液体供给装置，其中，

4.如权利要求3所述的液体供给装置，其中，

5.如权利要求3所述的液体供给装置，其中，

6.如权利要求2所述的液体供给装置，其中，

7.如权利要求1所述的液体供给装置，其中，

8.如权利要求1所述的液体供给装置，其中，

9.一种设备的制造方法，包含：

10.如权利要求9所述的设备的制造方法，包含：

11.一种设备，其是通过如权利要求9所述的设备的制造方法来制造的设备。