脉冲阀和涂敷装置的制作方法

本实施例涉及脉冲阀及涂敷装置。

背景技术：

1、已知一种在涂覆材料干燥工艺中涂敷涂覆材料的技术，在该技术中将挥发性有机化合物(voc)用诸如超临界二氧化碳的超临界流体替代。在专利文献1中公开了将超临界流体以气体状态排出的脉冲阀。

技术实现思路

1、[技术问题]

2、排出超临界流体的脉冲阀将具有高压力的超临界流体喷射到低压力部分，使得流体被喷射以从喷嘴开口扩散。因此，存在难以以期望的分辨率将流体涂敷到基础材料上的问题。

3、为了解决上述问题，本实施例的目的在于提供一种脉冲阀以及一种能够以所期望的分辨率向基础材料上涂敷流体的涂敷装置。

4、[问题的解决方案]

5、在本公开的一方面中，提供一种脉冲阀，该脉冲阀包括：壳体部分，该壳体部分具有通道，以使包含超临界流体的流体流动穿过所述通道；喷嘴板，该喷嘴板具有拉瓦尔（laval）形状的喷嘴孔，以在所述喷嘴孔的中心轴线方向上将流过所述通道的流体排出；孔口，该孔口具有与所述通道连通的开口，所述孔口在所述中心轴线方向上设置在所述壳体部分与所述喷嘴板之间；以及阀针，该阀针对被插入到所述壳体部分内，以领接在所述孔口的开口上，从而可打开地关闭所述通道。

6、[发明的有益效果]

7、根据本实施例，能够以所期望的分辨率将流体涂敷到基础材料上。

1.一种脉冲阀，包括：

2.根据权利要求1所述的脉冲阀，

3.根据权利要求2所述的脉冲阀，

4.根据权利要求1所述的脉冲阀，

5.根据权利要求1所述的脉冲阀，

6.根据权利要求1所述的脉冲阀，还包括驱动机构，所述驱动机构包括：

7.根据权利要求6所述的脉冲阀，

8.根据权利要求7所述的脉冲阀，

9.根据权利要求6所述的脉冲阀，还包括在所述中心轴线方向上在所述壳体部分与所述驱动机构之间的隔热凸缘。

10.一种涂敷装置，包括：