一种物料容器及加料系统的制作方法

本技术涉及图案化材料生产，更具体地说，涉及一种物料容器及加料系统。

背景技术：

1、在集成电路制造领域，图案化材料作为核心材料，其纯净度对芯片良品率具有至关重要的影响。然而，在图案化材料树脂的生产过程中，存在一些长期困扰行业的技术难题，这些问题不仅严重影响产品的质量和生产的安全性，还制约了整个行业的技术进步。

2、传统生产工艺中，图案化材料容器通常采用开放式加料方式。这种操作模式使得大量挥发性有机溶剂在加料过程中逸散至生产环境中，不仅造成了环境污染，还可能对操作人员的健康产生危害。同时，开放式操作使得空气中的颗粒污染物和金属杂质容易进入溶剂容器内，进而导致产品中的金杂含量升高以及颗粒物数量增加等问题。这些污染物会显著降低图案化材料的线宽分辨率并增加基材缺陷，从而影响芯片的整体性能和质量。此外，在生产过程中，由于缺乏有效的气体保护措施，增加了静电起火的风险，对生产安全构成了潜在威胁。这些问题的存在，不仅降低了生产效率，还增加了生产成本，严重影响了图案化材料行业的可持续发展。

3、因此，如何解决现有的开放式加料方式容易产生溶剂挥发、杂质污染以及静电起火的问题，是目前本领域技术人员亟待解决的问题。

技术实现思路

1、本技术公开了一种物料容器，用于解决现有的开放式加料方式容易产生溶剂挥发、杂质污染以及静电起火的问题，在物料容器上设置容器盖，以实现对物料容器的密封，避免物料容器内的溶剂挥发与逸散至外界环境，还可以避免空气中的颗粒物和杂质进入物料容器内，通过向物料容器内通入气体，能够有效置换容器内的空气，从而可以防止原料与空气中的氧气接触，有效避免了静电起火风险和产品污染风险。

2、第一方面，本技术提供了一种物料容器，包括：容器体和容器盖，所述容器体的容器口设有可拆卸的容器盖，所述容器盖与所述容器口密封连接，所述容器盖上设有与所述容器体的内腔连通的液体通道、进气通道和排气通道，所述液体通道连接抽液管，所述抽液管伸入所述容器体内，所述进气通道用于外接气体置换装置。通过设置密封连接的容器盖，有效避免了容器口敞开式上料导致的溶剂挥发与逸散。容器盖与容器口的密封连接，能够紧密地封闭容器体，使溶剂在存储和使用过程中不易挥发到外界环境中，减少了对环境的污染，降低了因溶剂挥发而造成的资源浪费，提高了原料的利用率。还避免了因溶剂挥发逸散而可能对操作人员健康产生的危害。进一步的，容器盖的密封能够有效阻止空气中的颗粒物和杂质进入容器内。在传统敞开式上料的容器中，空气中的灰尘、微生物等杂质很容易进入溶剂容器，导致产品质量下降。而本技术的容器盖可以很好地隔离外界环境，避免杂质进入，从而保证了图案化材料的纯净度，降低了产品中金杂含量升高的风险以及颗粒物数量增加的可能性，有助于提高产品的质量和性能。该物料容器外接气体置换装置，通过气体置换装置向物料容器内通入气体，可以置换掉物料容器内的空气。因为图案化材料溶剂通常具有易燃性，而空气中的氧气会增加静电起火的可能性。通过气体的置换，减少了氧气含量，从而为图案化材料提供了一个更安全的存储和使用条件，这种气体保护能够有效降低静电起火的风险。

3、在一种可能的实施方式中，所述容器盖包括上容器盖和相对于所述上容器盖旋转的下容器盖，所述液体通道、所述进气通道和所述排气通道均设于所述上容器盖，所述上容器盖具有延伸部，所述下容器盖设有用于安装所述延伸部的插孔，所述延伸部与所述插孔通过轴封密封连接。将液体通道、进气通道和排气通道集中设置在上容器盖上，使得容器盖的整体结构更加紧凑，采用上容器盖和下容器盖的分体式设计，使得容器盖的安装与拆卸更加方便，还可以避免容器盖上连接的管道在安装的过程中发生缠绕。上容器盖和下容器盖采用轴封进行连接和密封，使得下容器盖能够实现万向旋转，还保证了上容器盖和下容器盖之间的密封性。

4、在一种可能的实施方式中，所述下容器盖设有与所述容器口配合的内螺纹连接部，所述内螺纹连接部的内顶部设有与所述容器口密封配合的垫片。通过设置垫片，能够密封物料容器的容器口与容器盖，有效防止溶剂气味从容器口与容器盖的接触面逃逸。

5、在一种可能的实施方式中，所述垫片包括致密增强层和膨体层，所述膨体层位于两层所述致密增强层之间。致密增强层具有较高的密度和强度，能够有效阻挡液体和气体的渗透；而膨体层则具有良好的弹性，能够在受压时膨胀，填充连接部位的微小间隙，进一步增强密封性能。

6、在一种可能的实施方式中，所述延伸部的下端设有压环，所述垫片通过所述压环固定于所述下容器盖的内腔。通过压环将垫片固定在下容器盖的内腔，能够确保垫片在使用过程中不会发生移位或脱落，从而保证密封性能的持续性和可靠性。

7、在一种可能的实施方式中，所述液体通道设于所述上容器盖的中部且贯穿所述延伸部，所述进气通道和所述排气通道对称设于所述液体通道的两侧。这种对称布局不仅使容器盖的整体结构更加均衡和稳定，还优化了气体的流动路径。对称的进气和排气通道能够确保惰性气体置换过程更加均匀和高效，避免了局部气体积聚或置换不完全的问题，还减少了气体流动过程中的阻力，提高了气体置换的效率。

8、在一种可能的实施方式中，所述液体通道的进液口和出液口、所述进气通道和所述排气通道的外接端口均为扩口。液体通道的进液口和出液口、进气通道和排气通道的外接端口均为扩口设计，可以与外部管道或设备的连接件形成更紧密的配合，从而增强密封性，减少泄漏风险。

9、在一种可能的实施方式中，所述容器盖为ptfe（polytetrafluoroethylene，聚四氟乙烯）结构，所述垫片为ptfe结构或pe（polyethylene，聚乙烯）结构，所述轴封为ffkm（perfluoroelastomer，全氟醚橡胶）结构。图案化材料通常含有多种化学成分，ptfe材料的耐化学腐蚀性可以确保容器盖和垫片在长期使用过程中不会被腐蚀，从而延长使用寿命，pe材料具有良好的柔韧性和弹性，能够适应不同的容器口尺寸和形状，确保密封性能的可靠性，ffkm材料具有极高的密封性能，能够在高压和高温环境下保持良好的密封效果。

10、在一种可能的实施方式中，所述液体通道的出液口通过管道外接反应釜，所述管道上设有计量泵，所述计量泵与控制器信号连接。通过精确控制原料输送量，可以减少因原料用量波动而导致的产品质量问题，从而提高图案化材料产品的质量和稳定性。

11、在一种可能的实施方式中，所述排气通道的排气口通过管道外接气体回收装置。气体回收装置能够有效收集和处理容器内排出的废气，减少了废气直接排放到环境中的可能性，降低了对环境的污染。

12、在一种可能的实施方式中，还包括检测装置，所述检测装置与所述排气通道连通，用于实时检测所述排气通道内的氧气浓度，并将实时检测到的数据发送给所述控制器。检测装置能够实时反馈排气通道内的氧气浓度，使得控制器可以根据这些数据进行动态调整，如排气速度或气体的补充量，确保容器体内的环境始终处于最佳状态，提高生产效率，增强产品质量稳定性，降低维护成本，还提高了整体的可靠性和稳定性。

13、第二方面，本技术提供了一种加料系统，包括反应釜，所述反应釜通过管道连接如上述的物料容器。通过气体置换使容器内隔绝空气或氧气，有效避免了静电起火风险和产品污染风险，有效防止了溶剂气味的逸散，减少了对环境的污染，保障了操作人员的健康，不仅提高了生产的安全性和操作人员的健康保障，还提高了产品质量，优化了生产环境，提高了生产效率，增强了系统的可靠性和稳定性。