工件搬运装置的制作方法

本申请涉及自动化设备，尤其涉及一种工件搬运装置。

背景技术：

1、在半导体芯片、微电子机械系统（mems）、平板显示器、精密光学元件等高科技产品的制造过程中，经常需要使用自动化设备对晶圆、玻璃基板、透镜等精密工件进行抓取、搬运和精确定位。这些工件对生产环境的洁净度要求极高，微米甚至纳米级别的粉尘或油污都可能导致产品报废。

2、传统的吸附搬运设备，通常将升降模组（如滚珠丝杠、螺杆、齿轮等）等结构直接设置在工件的正上方。这些结构的材质通常为金属或塑料，运行时容易因摩擦产生金属碎屑或塑料颗粒，表面防锈油、润滑油等也会挥发滴落形成油污，静电吸附的灰尘也会随移动掉落，因此容易污染下方的工件，造成损失。

技术实现思路

1、有鉴于此，本申请提出一种工件搬运装置，以降低污染工件的概率。

2、一种工件搬运装置，包括基座、驱动模组和吸附模组。所述驱动模组设于所述基座，其包括第一驱动单元、与所述第一驱动单元连接的第二驱动单元以及与所述第二驱动单元连接的安装座。所述第一驱动单元用于驱动所述第二驱动单元沿水平方向移动，所述第二驱动单元用于驱动所述安装座沿竖直方向移动。吸附模组包括连接杆、安装板和吸盘。所述连接杆的一端与所述安装座固定连接，另一端与所述安装板固定连接。所述连接杆的材质为碳纤维，所述吸盘固定于所述安装板。所述吸盘的正投影与所述第一驱动单元的正投影以及所述第二驱动单元的正投影均不重叠。

3、一种实施方式中，所述第一驱动单元包括第一驱动件、第一传动件、传动轴和第二传动件。所述第一传动件的一端与所述第一驱动件连接，另一端与所述传动轴连接。所述第二传动件与所述传动轴连接，所述第二驱动单元固定于所述第二传动件。

4、一种实施方式中，所述第一驱动件包括伺服电机或步进电机。所述第一传动件包括传送带，所述第二传动件包括传送带。

5、一种实施方式中，所述第二驱动单元包括外壳、第二驱动件、第三传动件和第四传动件。所述第二驱动件、所述第三传动件和所述第四传动件均设于所述外壳内，所述外壳固定于所述第二传动件。所述第三传动件的两端分别连接于所述第二驱动件和所述第四传动件，所述安装座与所述第四传动件连接。所述第二驱动件用于驱动所述第三传动件旋转，所述第四传动件用于带动所述安装座沿所述竖直方向移动。

6、一种实施方式中，所述第二驱动单元还包括联轴器，所述联轴器连接所述第四传动件和所述安装座。

7、一种实施方式中，所述第二驱动单元还包括滑轨。所述滑轨固定于所述外壳背离所述第二驱动件的表面，所述安装座被配置为可沿着所述滑轨移动。

8、一种实施方式中，所述第二驱动件包括伺服电机或步进电机。所述第三传动件包括传送带，所述第四传动件包括滚珠丝杠。

9、一种实施方式中，所述工件搬运装置还包括监测模组。所述监测模组包括支撑杆和传感器，所述支撑杆固定于所述基座。所述传感器固定于所述支撑杆，所述传感器包括激光位移传感器。

10、一种实施方式中，所述驱动模组和所述吸附模组的数量为两个。两个所述驱动模组分别设于所述基座的相对两侧，每个所述驱动模组均与一个吸附模组连接。

11、一种实施方式中，所述连接杆的外表面设有防静电涂层。

12、本申请的工件搬运装置，利用碳纤维材质的连接杆连接驱动模组和吸盘，使得连接杆本身无碎屑掉落，无挥发物且不沾油污或灰尘，从而降低了工件被污染的概率。此外，通过将驱动模组的第一驱动单元和第二驱动单元设置在吸盘的投影之外，使得第一驱动单元和第二驱动单元运行时产生的碎屑、油污等污染物掉落在工件的外侧区域而非正上方，从而进一步降低了工件被污染的概率。

1.一种工件搬运装置，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的工件搬运装置，其特征在于，所述第一驱动单元包括第一驱动件、第一传动件、传动轴和第二传动件；所述第一传动件的一端与所述第一驱动件连接，另一端与所述传动轴连接；所述第二传动件与所述传动轴连接，所述第二驱动单元固定于所述第二传动件。

3.如权利要求2所述的工件搬运装置，其特征在于，所述第一驱动件包括伺服电机或步进电机，所述第一传动件包括传送带，所述第二传动件包括传送带。

4.如权利要求2所述的工件搬运装置，其特征在于，所述第二驱动单元包括外壳、第二驱动件、第三传动件和第四传动件；所述第二驱动件、所述第三传动件和所述第四传动件均设于所述外壳内，所述外壳固定于所述第二传动件；所述第三传动件的两端分别连接于所述第二驱动件和所述第四传动件，所述安装座与所述第四传动件连接；所述第二驱动件用于驱动所述第三传动件旋转，所述第四传动件用于带动所述安装座沿所述竖直方向移动。

5.如权利要求4所述的工件搬运装置，其特征在于，所述第二驱动单元还包括联轴器，所述联轴器连接所述第四传动件和所述安装座。

6.如权利要求4所述的工件搬运装置，其特征在于，所述第二驱动单元还包括滑轨，所述滑轨固定于所述外壳背离所述第二驱动件的表面，所述安装座被配置为可沿着所述滑轨移动。

7.如权利要求4所述的工件搬运装置，其特征在于，所述第二驱动件包括伺服电机或步进电机，所述第三传动件包括传送带，所述第四传动件包括滚珠丝杠。

8.如权利要求1所述的工件搬运装置，其特征在于，所述工件搬运装置还包括监测模组，所述监测模组包括支撑杆和传感器，所述支撑杆固定于所述基座，所述传感器固定于所述支撑杆，所述传感器包括激光位移传感器。

9.如权利要求1所述的工件搬运装置，其特征在于，所述驱动模组和所述吸附模组的数量为两个，两个所述驱动模组分别设于所述基座的相对两侧，每个所述驱动模组均与一个吸附模组连接。

10.如权利要求1所述的工件搬运装置，其特征在于，所述连接杆的外表面设有防静电涂层。