一种石墨筒吊装系统的制作方法

本技术涉及半导体制造，具体涉及一种石墨筒吊装系统。

背景技术：

1、在半导体热场中，石墨筒用于隔绝固化毡与加热器，并支撑上部的导流筒等部件，其重量通常超过60kg，直径大于1000mm，高度大于750mm。此类构件尺寸大、重量重且属于脆性材料，人工搬运安装困难，极易造成损坏。

2、目前，对于此类石墨筒的吊装，现有技术主要存在两种方式：其一，采用卡爪卡入石墨筒外壁的凹口进行吊装，然而，该方法要求石墨筒的壁厚较大(通常大于20mm)以形成足够的结构强度，同时需要在石墨筒外围预留充足的卡爪操作空间，这在空间紧凑的热场结构中往往无法满足；其二，采用抱箍锁紧方式，依靠摩擦力提起石墨筒，但石墨材料自身润滑性好，需要极大的锁紧力才能提供足够的摩擦力，存在吊装过程中筒体滑落的风险，同时，抱箍锁紧机构本身也需要较大的径向操作空间，这与石墨筒外侧通常包裹有保温毡、空间受限的现实情况相矛盾。

3、因此，现有技术难以在不增加石墨筒壁厚且外围空间受限的条件下，实现对于大型薄壁石墨筒的安全、可靠吊装。

技术实现思路

1、鉴于现有技术中采用卡爪或抱箍方式吊装大型石墨筒时，因依赖厚重筒壁或外部操作空间而无法适用于薄壁且外围空间受限的热场环境，同时存在吊装受力不均、安全性差的问题，本申请提供一种石墨筒吊装系统。该石墨筒吊装系统通过设置沿石墨筒径向穿设筒壁吊装孔的吊杆以及带有吊钩的吊装工装，实现了石墨筒轴向两侧同步、平稳提拉，结构简单可靠，保障了吊装过程的安全性与稳定性，有效提升安装效率并避免部件损坏。

2、本申请提供石墨筒吊装系统，包括：

3、吊装承载部，包括多个吊装孔和多个吊杆；所述吊装孔设置于石墨筒的筒壁上；所述吊杆与所述吊装孔对应设置，所述吊杆沿所述石墨筒的径向方向穿设所述吊装孔，所述吊杆的一端位于所述石墨筒的外部空间，另一端位于所述石墨筒的内部空间；

4、吊装工装，包括支架及设置于所述支架上的多个吊钩，每个所述吊钩均设有两个勾爪，两个所述勾爪分别用于同时钩挂同一所述吊杆位于所述石墨筒外部空间的一端和位于所述石墨筒内部空间的另一端。

5、作为一种实施方式，每个所述吊钩均通过一个弹性组件与所述支架连接。

6、作为一种实施方式，每个所述弹性组件均包括限位件、导向杆、弹性件、压块和锁紧件，所述导向杆从下至上依次穿设所述吊钩、所述支架、所述限位件、所述压块和所述锁紧件，所述弹性件设置于所述限位件的内部空腔内，所述限位件通过所述弹性件套设于所述导向杆上，所述压块设置于所述弹性件的顶部。

7、作为一种实施方式，所述弹性件在自然状态下，其顶部高度高于所述限位件的顶部；所述弹性件受到的力超过其预设最大弹力后，所述压块的底部与所述限位件的顶部抵接。

8、作为一种实施方式，所述弹性件为弹簧。

9、作为一种实施方式，所述勾爪包括勾爪本体和设置于所述勾爪本体上的开口，所述开口包括顶部、底部和侧壁，所述顶部和所述底部由外至内均包括依次连接的斜面段和平面段，所述平面段与所述侧壁连接。

10、作为一种实施方式，所述平面段与所述侧壁之间通过圆弧面段连接。

11、作为一种实施方式，所述石墨筒的筒壁的厚度介于8mm～20mm。

12、作为一种实施方式，所述支架的几何中心设置有万向吊环。

13、作为一种实施方式，所述吊装孔为螺纹孔，所述吊杆的中间处设置有螺纹。

14、如上所述，本申请的石墨筒吊装系统，具有以下有益效果：

15、本申请的石墨筒吊装系统通过吊杆径向穿设石墨筒筒壁并由吊钩同时钩挂吊杆的内外端，有效克服了现有卡爪与抱箍方式对厚壁及外部空间的依赖，能够在石墨筒外围空间受限的条件下，安全、平稳地吊装薄壁石墨筒，并通过双爪同步提拉确保各吊装孔均匀受力，整体结构简洁可靠，有效提升了吊装安全性与对紧凑热场环境的适应性。

1.一种石墨筒吊装系统，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的石墨筒吊装系统，其特征在于，每个所述吊钩均通过一个弹性组件与所述支架连接。

3.根据权利要求2所述的石墨筒吊装系统，其特征在于，每个所述弹性组件均包括限位件、导向杆、弹性件、压块和锁紧件，所述导向杆从下至上依次穿设所述吊钩、所述支架、所述限位件、所述压块和所述锁紧件，所述弹性件设置于所述限位件的内部空腔内，所述限位件通过所述弹性件套设于所述导向杆上，所述压块设置于所述弹性件的顶部。

4.根据权利要求3所述的石墨筒吊装系统，其特征在于，所述弹性件在自然状态下，其顶部高度高于所述限位件的顶部；所述弹性件受到的力超过其预设最大弹力后，所述压块的底部与所述限位件的顶部抵接。

5.根据权利要求3或4所述的石墨筒吊装系统，其特征在于，所述弹性件为弹簧。

6.根据权利要求1所述的石墨筒吊装系统，其特征在于，所述勾爪包括勾爪本体和设置于所述勾爪本体上的开口，所述开口包括顶部、底部和侧壁，所述顶部和所述底部由外至内均包括依次连接的斜面段和平面段，所述平面段与所述侧壁连接。

7.根据权利要求6所述的石墨筒吊装系统，其特征在于，所述平面段与所述侧壁之间通过圆弧面段连接。

8.根据权利要求1所述的石墨筒吊装系统，其特征在于，所述石墨筒的筒壁的厚度介于

9.根据权利要求1所述的石墨筒吊装系统，其特征在于，所述支架的几何中心设置有万向吊环。

10.根据权利要求1所述的石墨筒吊装系统，其特征在于，所述吊装孔为螺纹孔，所述吊杆的中间处设置有螺纹。