一种集成式智能化修正轮搬运装置的制作方法

本技术涉及修正轮加工，具体为一种集成式智能化修正轮搬运装置。

背景技术：

1、修正轮是cmp设备中的核心消耗部件，其功能是通过与抛光垫的持续摩擦，去除抛光垫表面附着的抛光副产物并恢复其粗糙度，从而保证抛光过程的稳定性和晶圆的抛光质量，在现有的生产与维护环节中，现阶段修正轮的搬运主要依赖于纯人工搬运或简易工具搬运。

2、人工搬运操作人员直接佩戴手套手动取放修正轮，修正轮边缘可能较为锋利，存在划伤操作人员的风险，且人手操作不可避免地存在力度不均、晃动或磕碰的风险，极易导致修正轮表面微观结构的损伤、崩边或污染，从而造成不可逆的损失，特别是大尺寸设备配套的修正轮，直径大、质量重，人工操作相当吃力。

3、简易工具搬运时通常使用泛用工具比如堆高车和机械卡爪，虽然避免了直接接触，但是操作繁琐，缺乏智能感知，存在抓取不稳或放置不到位的风险，整个过程依赖操作人员的经验及目视判断，同时对尺寸及重量大的修正轮，操作依旧吃力。

4、为了解决上述问题，我们对此做出改进，提出一种集成式智能化修正轮搬运装置。

技术实现思路

1、为了解决上述技术问题，本实用新型提供了如下的技术方案：

2、本实用新型提供一种集成式智能化修正轮搬运装置，包括存放平台、工作台、修正轮和安装背板，所述安装背板的前侧表面设置有导轨滑块模组，所述导轨滑块模组的外部连接有支撑平台，所述支撑平台的前部垂直设置有主支撑臂；

3、所述主支撑臂的底部转动连接有从动齿轮和主动齿轮，所述主支撑臂的末端铰接有支架手臂，所述支架手臂的上部滑动连接有延伸臂；

4、所述延伸臂的顶部连接有伸缩气缸，所述延伸臂的末端底部安装有万向轴，所述万向轴的底部设置有十字型的滑架；

5、所述滑架的外部从四个方向向外延伸有支座，所述支座的末端分别铰接有关节卡爪，所述关节卡爪从修正轮的内部将修正轮夹持。

6、作为本实用新型的一种优选技术方案，所述安装背板的顶部安装有升降电机，所述升降电机的输出轴上同轴固定连接有丝杠，所述丝杠外部连接有滑块，所述滑块与导轨滑块模组相连。

7、作为本实用新型的一种优选技术方案，所述主支撑臂的末端顶部安装有旋转电机，所述旋转电机的输出轴与主动齿轮同轴固定连接，所述从动齿轮与主动齿轮相互啮合。

8、作为本实用新型的一种优选技术方案，所述支架手臂的顶部连接有固定座，所述伸缩气缸的一端与固定座相连，所述伸缩气缸的另一端与延伸臂相连。

9、作为本实用新型的一种优选技术方案，所述延伸臂的末端顶部安装有旋转座，所述旋转座内部安装有驱动组件，所述旋转座与万向轴同轴固定连接。

10、作为本实用新型的一种优选技术方案，所述关节卡爪与支座铰接，所述支座的内部安装有带动关节卡爪转动的驱动组件。

11、作为本实用新型的一种优选技术方案，所述存放平台用于放置加工前及加工完成后的修正轮，所述工作台用于对修成轮进行加工。

12、作为本实用新型的一种优选技术方案，所述支架手臂的顶部安装有防护盖板。

13、本实用新型的有益效果是：该种集成式智能化修正轮搬运装置,通过通过电机与丝杠导轨的配合，实现修正轮定向的搬运动作，该装置结构紧凑，通过安装底板与设备连接，集成化程度高，采用伺服电机驱动主丝杠滑块进行竖直方向的动作，通过气缸带动副丝杠滑块进行水平方向的动作，通过电机驱动主齿轮带动从动轮的结构实现旋转，整体刚性强，不受修正轮尺寸重量的影响，可以兼容任意型号的cmp抛光设备，通过modbus协议接入设备plc，在plc里面调整位移距离及角度等参数，使用更灵活，同时出现故障时能及时报警停止动作，避免损伤设备。

1.一种集成式智能化修正轮搬运装置，包括存放平台（1）、工作台（2）、修正轮（3）和安装背板（4），其特征在于：

2.根据权利要求1所述的一种集成式智能化修正轮搬运装置，其特征在于，所述安装背板（4）的顶部安装有升降电机（6），所述升降电机（6）的输出轴上同轴固定连接有丝杠（12），所述丝杠（12）外部连接有滑块，所述滑块与导轨滑块模组（5）相连。

3.根据权利要求1所述的一种集成式智能化修正轮搬运装置，其特征在于，所述主支撑臂（11）的末端顶部安装有旋转电机（10），所述旋转电机（10）的输出轴与主动齿轮（20）同轴固定连接，所述从动齿轮（19）与主动齿轮（20）相互啮合。

4.根据权利要求1所述的一种集成式智能化修正轮搬运装置，其特征在于，所述支架手臂（14）的顶部连接有固定座，所述伸缩气缸（13）的一端与固定座相连，所述伸缩气缸（13）的另一端与延伸臂（9）相连。

5.根据权利要求1所述的一种集成式智能化修正轮搬运装置，其特征在于，所述延伸臂（9）的末端顶部安装有旋转座（15），所述旋转座（15）内部安装有驱动组件，所述旋转座（15）与万向轴（16）同轴固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种集成式智能化修正轮搬运装置，其特征在于，所述关节卡爪（18）与支座（21）铰接，所述支座（21）的内部安装有带动关节卡爪（18）转动的驱动组件。

7.根据权利要求1所述的一种集成式智能化修正轮搬运装置，其特征在于，所述存放平台（1）用于放置加工前及加工完成后的修正轮（3），所述工作台（2）用于对修正轮（3）进行加工。

8.根据权利要求1所述的一种集成式智能化修正轮搬运装置，其特征在于，所述支架手臂（14）的顶部安装有防护盖板（8）。