一种新型蒸发舟的制作方法

摘要: 本技术涉及蒸发镀膜,具体地涉及一种新型蒸发舟。背景技术:1、蒸发镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料,使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而...
一种新型蒸发舟的制作方法

本技术涉及蒸发镀膜,具体地涉及一种新型蒸发舟。

背景技术:

1、蒸发镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料,使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法。

2、蒸发镀膜时会用到蒸发舟,但是现有的蒸发舟的舟槽往往都是平的,送丝过程中融化点在中间,腐蚀面会比较集中,从而会影响到蒸发舟的使用寿命,进而会增加成本。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是为了解决现有蒸发舟的腐蚀面集中的问题,提供一种新型蒸发舟,通过修改蒸发舟表面的结构,提高蒸发舟的使用寿命。

2、为了实现上述目的,本实用新型技术方案如下:

3、一种新型蒸发舟,包括蒸发舟本体,所述蒸发舟本体上设置有熔池,所述熔池内设置有多个盛液平台,多个所述盛液平台沿着所述熔池的长度方向依次布置,且在所述熔池中间向其两端延伸的方向上,所述盛液平台逐渐变深。

4、优选地,所述盛液平台的数量设置为奇数,所述熔池中部的盛液平台为第一盛液平台,其他的盛液平台镜像设置在所述第一盛液平台的两侧。

5、优选地,深度最深的盛液平台位于所述熔池的端部。

6、优选地,深度最深的盛液平台的深度不大于所述蒸发舟本体的厚度的五分之一。

7、优选地,多个所述盛液平台的盛液面积相同。

8、优选地,多个所述盛液平台的盛液面积在所述熔池中间向其两端延伸的方向上递减。

9、优选地,所述第一盛液平台的盛液面积小于其相邻两个所述盛液平台的盛液面积之和。

10、优选地,所述熔池的盛液面积不小于所述蒸发舟本体的顶面面积的五分之四。

11、与现有技术相比,本实用新型的有益效果为:

12、在本实用新型提供的技术方案中,通过在熔池中间向其两端延伸的方向上的深度逐渐增加的盛液平台,使得熔液从熔池高处的中部流向低处的端部,增加有效蒸发面积,一方面避免熔液集中从而能够减缓腐蚀速度,增加蒸发舟的使用寿命,另一方面可以提高蒸镀的工作效率。

1.一种新型蒸发舟,其特征在于:包括蒸发舟本体(1),所述蒸发舟本体(1)上设置有熔池(2),所述熔池(2)内设置有多个盛液平台,多个所述盛液平台沿着所述熔池(2)的长度方向依次布置,且在所述熔池(2)中间向其两端延伸的方向上,所述盛液平台逐渐变深。

2.根据权利要求1所述的新型蒸发舟,其特征在于:所述盛液平台的数量设置为奇数,所述熔池(2)中部的盛液平台为第一盛液平台(201),其他的盛液平台镜像设置在所述第一盛液平台(201)的两侧。

3.根据权利要求1所述的新型蒸发舟,其特征在于:深度最深的盛液平台位于所述熔池(2)的端部。

4.根据权利要求1所述的新型蒸发舟,其特征在于:深度最深的盛液平台的深度不大于所述蒸发舟本体(1)的厚度的五分之一。

5.根据权利要求1所述的新型蒸发舟,其特征在于:多个所述盛液平台的盛液面积相同。

6.根据权利要求2所述的新型蒸发舟,其特征在于:多个所述盛液平台的盛液面积在所述熔池(2)中间向其两端延伸的方向上递减。

7.根据权利要求6所述的新型蒸发舟,其特征在于:所述第一盛液平台(201)的盛液面积小于其相邻两个所述盛液平台的盛液面积之和。

8.根据权利要求1所述的新型蒸发舟,其特征在于:所述熔池(2)的盛液面积不小于所述蒸发舟本体(1)的顶面面积的五分之四。