一种石墨舟传送装置及镀膜设备的制作方法

本技术涉及光伏，特别涉及一种石墨舟传送装置及镀膜设备。

背景技术：

1、在光伏镀膜领域中，以石墨舟作为载具的pecvd镀膜过程中，加工设备通过将石墨舟送入至反应室内进行镀膜。硅片镀膜时，石墨舟会在净化台和镀膜反应炉之间来回移动以满足工艺需求。

2、相关技术中，在对多个石墨舟同时进行传送时，由于这些石墨舟的间距不能根据工况需要灵活调节，从而导致对各石墨舟进行上下料等操作时，容易发生动作干涉或碰撞等事故。

技术实现思路

1、有鉴于此，本申请实施例提供了一种石墨舟传送装置及镀膜设备，用于解决上述至少一种技术问题。

2、本实用新型采用的技术方案是，设计一种石墨舟传送装置，包括用于夹持石墨舟的夹持组件及承载夹持组件的承载板，夹持组件包括两个相对的夹爪及控制两个夹爪靠近或远离的第一驱动组件，至少两个夹持组件相对的设置在承载板上。

3、在某些实施方式中，每个夹爪上均设置有第一滑块，第一驱动组件包括与第一滑块滑动配合的滑轨及控制两个第一滑块沿滑轨相对靠近或远离的驱动件。

4、在某些实施方式中，夹爪位于滑轨的一侧，两个夹持组件的夹爪朝向相背。

5、在某些实施方式中，夹持组件还包括与夹爪上下对应的夹紧组件，夹紧组件包括相对夹爪与滑轨同侧设置的伸缩架及与夹爪相对设置的夹板，伸缩架控制夹板靠近或远离夹爪，夹爪用于夹持石墨舟一端，夹紧组件用于将石墨舟另一端朝向夹爪方向压紧。

6、在某些实施方式中，两个夹爪的外侧设置有相对滑轨固定的外限位件，外限位件限制两个夹爪的最大间距；两个夹爪上设有相对的内限位件，内限位件限制两个夹爪的最小间距。

7、在某些实施方式中，承载板上设置有控制两个夹持组件相对靠近或远离的第二驱动组件。

8、在某些实施方式中，第二驱动组件包括分别独立驱动夹持组件移动的驱动机构，驱动机构包括丝杠及驱动丝杠转动的电机，电机设在两个夹持组件之间的承载板上，驱动组件上设置有与丝杠螺纹配合的螺母。

9、在某些实施方式中，承载板上还设置有两条并列的导杆，每个夹持组件上均设置有与两个导杆滑动配合的第二滑块，第二驱动组件的丝杠及电机均位于两个导杆之间。

10、一种镀膜设备，包括石墨舟传送装置。

11、在某些实施方式中，承载板设置在位于净化台与反应炉之间的传送导轨上。

12、与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：

13、本实用新型提供的石墨舟传送装置通过在承载板上相对布置多个夹持组件，并结合夹爪的协同配合，实现了对石墨舟的高效、稳定传送。夹爪在第一驱动组件作用下可灵活调节，确保对不同规格石墨舟的可靠夹持，避免偏移和振动，保证传送过程平稳，避免在取送过程中发生干涉或碰撞等事故导致电池片损坏的问题，提升传送效率与可靠性。

14、本实用新型还进一步结合设置有第二驱动组件，从而使装置在传送过程中具备更高的灵活性。第一驱动组件用于控制夹爪的开合，实现对石墨舟一端的可靠夹持；第二驱动组件则可调节两个夹持组件的间距，从而为夹取石墨舟提供充足的空间。

1.一种石墨舟传送装置，其特征在于，包括用于夹持石墨舟的夹持组件及承载所述夹持组件的承载板，所述夹持组件包括两个相对的夹爪及控制两个所述夹爪靠近或远离的第一驱动组件，至少两个所述夹持组件相对的设置在所述承载板上。

2.根据权利要求1所述的石墨舟传送装置，其特征在于，每个所述夹爪上均设置有第一滑块，所述第一驱动组件包括与所述第一滑块滑动配合的滑轨及控制两个所述第一滑块沿所述滑轨相对靠近或远离的驱动件。

3.根据权利要求2所述的石墨舟传送装置，其特征在于，所述夹爪位于所述滑轨的一侧，两个所述夹持组件的夹爪朝向相背。

4.根据权利要求3所述的石墨舟传送装置，其特征在于，所述夹持组件还包括与所述夹爪上下对应的夹紧组件，所述夹紧组件包括相对所述夹爪与所述滑轨同侧设置的伸缩架及与所述夹爪相对设置的压板，所述伸缩架控制所述压板靠近或远离所述石墨舟，所述夹爪用于夹持所述石墨舟一端，所述夹紧组件用于将所述石墨舟另一端朝向所述夹爪方向压紧。

5.根据权利要求2所述的石墨舟传送装置，其特征在于，两个所述夹爪的外侧设置有相对所述滑轨固定的外限位件，所述外限位件限制两个所述夹爪的最大间距；两个所述夹爪上设有相对的内限位件，所述内限位件限制两个所述夹爪的最小间距。

6.根据权利要求1-5任意一项所述的石墨舟传送装置，其特征在于，所述承载板上设置有控制两个所述夹持组件相对靠近或远离的第二驱动组件。

7.根据权利要求6所述的石墨舟传送装置，其特征在于，所述第二驱动组件包括分别独立驱动所述夹持组件移动的驱动机构，所述驱动机构包括丝杠及驱动所述丝杠转动的电机，所述电机设在两个所述夹持组件之间的所述承载板上，所述驱动组件上设置有与所述丝杠螺纹配合的螺母。

8.根据权利要求7所述的石墨舟传送装置，其特征在于，所述承载板上还设置有两条并列的导杆，每个所述夹持组件上均设置有与两个所述导杆滑动配合的第二滑块，所述第二驱动组件的丝杠及电机均位于两个所述导杆之间。

9.一种镀膜设备，其特征在于，包括如权利要求1-8任意一项所述的石墨舟传送装置。

10.根据权利要求9所述的镀膜设备，其特征在于，所述承载板设置在位于净化台与反应炉之间的传送导轨上。