一种靶材冷却背板的制作方法

本技术涉及靶材冷却背板，尤其涉及一种靶材冷却背板。

背景技术：

1、靶材冷却背板是一种用于磁控溅射镀膜设备中的重要部件，靶材冷却背板是靶材组件的一部分，其主要作用是为靶材提供机械支撑，同时将靶材在溅射过程中产生的热量快速传递出去，防止靶材过热，从而确保溅射过程的稳定性和效率，靶材冷却背板广泛应用于各种磁控溅射镀膜设备中，如半导体制造、光学镀膜、显示面板生产等领域。在这些应用中，靶材冷却背板能够确保溅射过程的稳定性和效率，提高薄膜质量，降低生产成本。

2、因为在溅射过程中，溅射物被轰击导致自身温度升高，所以为了达到降温的效果，需在背板上设计水道，在溅射过程中背板水道通水来达到冷却溅射物的效果，一般背板目前采用的都是在背板上设计水道槽，接着在水道槽中放入盖板通过焊接技术来完成背板水道设计，但是水道一般是弯曲设置，定量水流的流通速度相对较慢，冷却速度相对一般，背板采用单一的散热冷却，冷却速度慢，为此提出一种靶材冷却背板。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种靶材冷却背板，用于解决一般背板目前采用的都是在背板上设计水道槽，接着在水道槽中放入盖板通过焊接技术来完成背板水道设计，但是水道一般是弯曲设置，定量水流的流通速度相对较慢，冷却速度相对一般，背板采用单一的散热冷却，冷却速度慢的问题。

2、为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

3、一种靶材冷却背板，包括靶材本体和背板本体，所述背板本体和靶材本体之间设置有导热组件，所述背板本体内设置有弯曲流道，背板本体的一侧设置有水流多组连接组件，水流多组连接组件与弯曲流道相连通，所述背板本体上设置有空气散热通道组件。

4、优选的，所述水流多组连接组件包括设置在背板本体上的冷却液连接座，冷却液连接座的一侧设置有第一连接头、第二连接头和第三连接头，冷却液连接座与弯曲流道相连通。

5、优选的，所述背板本体的一侧设置有出水管，出水管与弯曲流道相连通。

6、优选的，所述导热组件包括开设在背板本体侧部的环形槽，靶材本体的侧部固定安装有固定环，固定环位于环形槽内，背板本体、靶材本体和固定环的内壁之间形成导热腔，导热腔内设置有导热胶。

7、优选的，所述空气散热通道组件包括设置在背板本体上的进气管道，进气管道的一侧连接有左插管、中部插管和右插管，左插管、中部插管和右插管的一端连接有合流管。

8、优选的，所述左插管、中部插管和右插管的内壁上设置有多个散热翅片，背板本体上设置有进气管接头和出气管接头，进气管接头与进气管道相连通，出气管接头与合流管相连通。

9、优选的，所述靶材本体靠近背板本体的一侧设置有焊接第一槽口，背板本体靠近靶材本体的一侧设置有焊接第二槽口。

10、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

11、本实用新型中，该靶材冷却背板，设置的导热组件，导热腔内填充有导热胶，减少靶材本体与背板本体之间的接触热阻，高温溅射到靶材本体上的热量后，能够快速传导至背板本体上，进行热量传导和散热，利用激光焊接设备，实现靶材本体和背板本体固定在一起，形成靶材冷却背板；

12、本实用新型中，设置的冷却水流多组连接组件，弯曲流道内输送冷却水，背板本体上的热量携带走，从而实现冷却降温，水流多组连接组件上有第一连接头、第二连接头和第三连接头，根据水流携带的温度变化，当弯曲流道首尾液体的温差较大时，开启多个连接头，能够加快水流的速度，通过快速流通的水冷，携带走较大的热量，从而起到很好的降温效果；

13、本实用新型中，设置的空气散热通道组件，外部的冷却风进入进气管道后进行降温，通过左插管、中部插管和右插管的设置，空气流通的面积有效贯穿背板本体，增加了散热的面积，风冷效果好；

14、本实用新型中，通过水冷和风冷的双重冷却，可以充分利用两种散热方式的优势，提高散热效率，降低设备温度，提高设备的运行稳定性和可靠性。

1.一种靶材冷却背板，包括靶材本体（1）和背板本体（2），其特征在于，所述背板本体（2）和靶材本体（1）之间设置有导热组件，所述背板本体（2）内设置有弯曲流道（10），背板本体（2）的一侧设置有水流多组连接组件，水流多组连接组件与弯曲流道（10）相连通，所述背板本体（2）上设置有空气散热通道组件。

2.根据权利要求1所述的一种靶材冷却背板，其特征在于，所述水流多组连接组件包括设置在背板本体（2）上的冷却液连接座（6），冷却液连接座（6）的一侧设置有第一连接头（7）、第二连接头（8）和第三连接头（9），冷却液连接座（6）与弯曲流道（10）相连通。

3.根据权利要求1所述的一种靶材冷却背板，其特征在于，所述背板本体（2）的一侧设置有出水管（11），出水管（11）与弯曲流道（10）相连通。

4.根据权利要求1所述的一种靶材冷却背板，其特征在于，所述导热组件包括开设在背板本体（2）侧部的环形槽（3），靶材本体（1）的侧部固定安装有固定环（4），固定环（4）位于环形槽（3）内，背板本体（2）、靶材本体（1）和固定环（4）的内壁之间形成导热腔（5），导热腔（5）内设置有导热胶。

5.根据权利要求1所述的一种靶材冷却背板，其特征在于，所述空气散热通道组件包括设置在背板本体（2）上的进气管道（12），进气管道（12）的一侧连接有左插管（14）、中部插管（15）和右插管（16），左插管（14）、中部插管（15）和右插管（16）的一端连接有合流管（17）。

6.根据权利要求5所述的一种靶材冷却背板，其特征在于，所述左插管（14）、中部插管（15）和右插管（16）的内壁上设置有多个散热翅片（19），背板本体（2）上设置有进气管接头（13）和出气管接头（18），进气管接头（13）与进气管道（12）相连通，出气管接头（18）与合流管（17）相连通。

7.根据权利要求1所述的一种靶材冷却背板，其特征在于，所述靶材本体（1）靠近背板本体（2）的一侧设置有焊接第一槽口（20），背板本体（2）靠近靶材本体（1）的一侧设置有焊接第二槽口（21）。