一种双面抛光机用自动冲洗吹气装置的制作方法

本技术涉及双面抛光，具体为一种双面抛光机用自动冲洗吹气装置。

背景技术：

1、在精密加工领域，如半导体晶圆、光学玻璃、蓝宝石衬底等材料的加工过程中，双面抛光技术是实现工件高平面度、低表面粗糙度及无损伤表面的关键工艺，然而抛光工序完成后，工件表面及抛光机载具上会残留大量的抛光液和抛光碎屑以及化学反应产物，这些残留物若不能及时、彻底地清除，将残留的硬质磨料颗粒在后续操作或取出过程中会划伤已被抛光的精密表面，导致产品良率下降，或者同时残留物可能会凝结在工作盘面上，影响下一批次的产品的质量等一系列严重问题。

2、现阶段常用的清洗方式是人工清洁或简单半自动冲洗，但人工清洁效率低下，劳动强度大，且极易在转移过程中因人为接触造成二次划伤或污染，且无法保证清洁效果的一致性；

3、简单半自动冲洗通常只有冲洗而没有吹气功能或者吹气功能不完善，导致工件和载具表面留有大量水膜或积水，在后续干燥过程中，水分蒸发会留下水渍印记，同样影响工件表面质量。

4、为了解决上述问题，我们对此做出改进，提出一种双面抛光机用自动冲洗吹气装置。

技术实现思路

1、为了解决上述技术问题，本实用新型提供了如下的技术方案：

2、本实用新型提供一种双面抛光机用自动冲洗吹气装置，包括工作台面和吹气组件所述工作台面的底部设置下抛光盘，所述工作台面的顶部设置上抛光盘；

3、所述吹气组件包括冲洗管和吹气管，所述冲洗管和吹气管的末端设置有连接座；

4、所述连接座的上部设置安装支架和旋转气缸，所述安装支架的背部连接支撑杆和连接板；

5、所述工作台面上安装有弧形的挡水板，所述支撑杆的底部与连接板相连。

6、作为本实用新型的一种优选技术方案，所述工作台面的底部设置旋转主轴，所述下抛光盘与旋转主轴同轴固定连接。

7、作为本实用新型的一种优选技术方案，所述工作台面的顶部设置悬吊旋转结构，所述上抛光盘与悬吊旋转结构的转动轴同轴固定连接，所述悬吊旋转结构装配有升降机构。

8、作为本实用新型的一种优选技术方案，所述挡水板位于下抛光盘的两侧，所述连接板与挡水板的顶部通过螺栓固定连接，所述安装支架通过螺栓水平安装于连接板的前段底部。

9、作为本实用新型的一种优选技术方案，所述旋转气缸与安装支架相连，所述安装支架的底部设置连杆，所述连杆与旋转气缸转轴同轴固定连接。

10、作为本实用新型的一种优选技术方案，所述连接座固定于连杆的末端，所述冲洗管和吹气管通过连接座内部分别设置有电磁阀。

11、作为本实用新型的一种优选技术方案，所述冲洗管和吹气管的表面均匀分布有若干高压喷嘴。

12、本实用新型的有益效果是：

13、1、该种双面抛光机用自动冲洗吹气装置,通过采用旋转气缸控制动作方位以及高压喷嘴实现大面积喷淋吹气，达到自动化冲洗干燥的效果，且结构紧凑，对空间的占用率低；

14、2、通过均布的两处冲洗吹气装置，能均匀的喷淋干燥产品，避免抛光液残留，减少对产品造成的腐蚀，且增加了挡水护罩，可以避免人工冲洗吹气导致抛光液溅到台面的问题，无需人工干预，即可自动化实现产品的冲洗干燥，降低了抛光液对人体造成损害。

1.一种双面抛光机用自动冲洗吹气装置，包括工作台面（1）和吹气组件，其特征在于，所述工作台面（1）的底部设置下抛光盘（4），所述工作台面（1）的顶部设置上抛光盘（3）；

2.根据权利要求1所述的一种双面抛光机用自动冲洗吹气装置，其特征在于，所述工作台面（1）的底部设置旋转主轴，所述下抛光盘（4）与旋转主轴同轴固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种双面抛光机用自动冲洗吹气装置，其特征在于，所述工作台面（1）的顶部设置悬吊旋转结构，所述上抛光盘（3）与悬吊旋转结构的转动轴同轴固定连接，所述悬吊旋转结构装配有升降机构。

4.根据权利要求1所述的一种双面抛光机用自动冲洗吹气装置，其特征在于，所述挡水板（2）位于下抛光盘（4）的两侧，所述连接板（8）与挡水板（2）的顶部通过螺栓固定连接，所述安装支架（9）通过螺栓水平安装于连接板（8）的前段底部。

5.根据权利要求1所述的一种双面抛光机用自动冲洗吹气装置，其特征在于，所述旋转气缸（10）与安装支架（9）相连，所述安装支架（9）的底部设置连杆（11），所述连杆（11）与旋转气缸（10）转轴同轴固定连接。

6.根据权利要求5所述的一种双面抛光机用自动冲洗吹气装置，其特征在于，所述连接座（12）固定于连杆（11）的末端，所述冲洗管（5）和吹气管（6）通过连接座（12）内部分别设置有电磁阀。

7.根据权利要求1所述的一种双面抛光机用自动冲洗吹气装置，其特征在于，所述冲洗管（5）和吹气管（6）的表面均匀分布有若干高压喷嘴（13）。