基材成膜设备的制作方法

本发明涉及成膜，尤其涉及一种基材成膜设备。

背景技术：

1、真空蒸镀装置在可形成真空气氛的真空室（主腔室）内，从基材行进装置的送出辊连续送出片状的基材，该送出的基材卷绕在冷却用的辊筒上，并对该辊筒从在其径向上留出规定间隔设置的蒸镀单元进行蒸镀物质的蒸镀，用基材行进装置的卷取辊卷取已蒸镀的片状的基材。此时，真空室由配置在辊筒周围的隔板划分为两室，分别在一侧的室（蒸镀室）中配置基材行进装置，在另一侧的室（相邻室）中配置蒸镀单元。通过加热使坩埚内收纳的蒸镀物质升华或气化，使该升华或气化了的蒸镀粒子附着堆积在辊筒上卷绕的片状的基材的部分上并对其进行蒸镀（成膜）。

2、经检索，经检索，中国专利cn112368413b公开了“一种真空蒸镀装置”，其在对辊筒上卷绕的片状的基材的部分进行蒸镀时，可确保设置有蒸镀单元的蒸镀室和与其相邻的主腔室内的相邻室气氛分离。其具有：主腔室（1），其具有基材行进装置和辊筒（2）；以及蒸镀单元（vu），其对卷绕在辊筒上的片状的基材（sw）的部分进行蒸镀。主腔室内还具有第一隔壁（75）和第二隔壁（7a、7b），所述第一隔壁（75）划分容纳有蒸镀单元的蒸镀室，所述第二隔壁（7a、7b）与第一隔壁相连设置并间隔以上述曲率弯曲的第一间隙（gp1）覆盖位于蒸镀单元的周向两侧的辊筒的外筒部分，蒸镀室（vs）和与该蒸镀室相邻的主腔室内的相邻室（as）以第一间隙为边界彼此连通，以第二隔壁确定蒸镀室和相邻室之间的电导。

3、但是，采用上述对蒸镀物质进行升华或气化时，并没有对其进行均匀的混合，无法使该升华或气化了的蒸镀粒子均匀的堆积在卷筒上，导致蒸镀的质量和效果较差，降低了蒸镀装置的蒸镀效果。

技术实现思路

1、本发明的目的是提供一种基材成膜设备，该基材成膜设备能够多次对蒸镀物质进行均匀混合，并对蒸镀物质进行多次过滤，有效改善了蒸镀物质的混合效果以及蒸镀颗粒的一致性，从而提高了装置的蒸镀质量。

2、为达到上述目的，本发明采用的技术方案是：一种基材成膜设备，包括：底板，其特征在于：在所述底板的上方设置有一蒸镀箱，此蒸镀箱的顶部固定安装有一内部具有蒸镀物质的气化罐，所述气化罐与蒸镀箱之间设置有一净化箱、导气泵，所述净化箱与气化罐之间通过一第一导管连通连接，所述净化箱与导气泵的进气端之间通过一第二导管连通连接，所述导气泵的出气端与所述蒸镀箱之间通过一第三导管连通连接，所述底板的顶部外壁四角均设置有一支撑杆，且四个所述支撑杆的外壁之间设置有一支撑板，所述蒸镀箱固定安装在所述支撑板的顶部；

3、在所述气化罐的内部转动安装有一第二转杆，在所述第二转杆的外壁上且沿其长度方向设置有若干个波浪形结构的第二搅拌杆，若干个所述第二搅拌杆相互交错分布，且所述第二搅拌杆的端部设置有一具有搅拌针、搅拌柱的连接杆，所述搅拌柱设置在所述连接杆端部的中央位置，所述搅拌针以搅拌柱为圆心呈环形等距间隔分布，在所述气化罐的内部且位于所述第二转杆的上方弹性安装有一具有若干个过滤孔的过滤板；

4、在所述净化箱的内部一侧转动安装有一第三转杆，所述第三转杆的外壁设置有若干个弧形结构的第三搅拌杆，所述第三搅拌杆等距间隔分布，且所述第三搅拌杆的外壁相对设置有搅拌块、具有波浪形结构的搅拌板，所述搅拌块、搅拌板均倾斜设置；在所述净化箱的内部另一侧且垂直于第三转杆设置有一具有若干旋转板的连接轴，等距离分布的所述旋转板与连接轴的外壁活动连接；在所述净化箱的内部间隔设置有一下部开设有第一通风槽的隔板、上部开设有第二通风槽的弧形板，位于所述隔板与弧形板之间设置有活性炭吸附层、细过滤网和粗过滤网，且所述活性炭吸附层、细过滤网和粗过滤网自上而下依次分布；

5、所述蒸镀箱的顶部内壁相对设置有第一蒸镀盘、第二蒸镀盘，且第一蒸镀盘、第二蒸镀盘的倾斜方向相反；所述蒸镀箱的内壁设置有上下相互交错分布的第二传动辊；

6、位于一侧的两个支撑杆之间活动连接有第一传动辊，位于另一侧的两个支撑杆之间活动连接有收卷辊，上述第二搅拌杆外壁开设有搅拌槽。

7、上述技术方案中进一步改进的方案如下：

8、1、上述方案中，位于所述活性炭吸附层的上方设置有一通风框，此通风框的内部填充有若干个火山石。

9、2、上述方案中，所述净化箱的外壁设置有一第三电机，且第三电机的输出轴通过联轴器连接有所述第三转杆。

10、3、上述方案中，所述气化罐的一侧外壁设置有一内壁设置有第二电机的电机架，此电机架与固定杆固定连接，所述第二电机的输出端通过联轴器连接有所述第二转杆。

11、由于上述技术方案的运用，本发明与现有技术相比具有下列优点：

12、1、本发明基材成膜设备，其第二转杆具有若干个波浪形结构的第二搅拌杆，若干个第二搅拌杆相互交错分布，且第二搅拌杆的端部设置有一具有搅拌针、搅拌柱的连接杆，搅拌针以搅拌柱为圆心呈环形等距间隔分布，在气化罐的内部且位于第二转杆的上方弹性安装有一具有若干个过滤孔的过滤板，通过第二搅拌杆进行转动时产生较大的旋涡，有利于蒸镀物质混合均匀，且过滤板可以对聚团的蒸镀物质进行过滤，改善了蒸镀颗粒的一致性，同时，过滤板与本体内壁之间弹性连接，通过旋涡带动过滤板弹性震动，也大大减少了过滤板堵塞的情况，从而提高了蒸镀物质附着的均匀性；进一步的，其具有弧形结构的第三搅拌杆在第三转杆的外壁等距间隔分布，且第三搅拌杆的外壁相对设置有搅拌块、具有波浪形结构的搅拌板，搅拌块、搅拌板均倾斜设置，在净化箱的内部另一侧且垂直于第三转杆设置有一具有若干旋转板的连接轴，等距离分布的旋转板与连接轴的外壁活动连接，在气化管对蒸镀物质进行混合、过滤的基础上，通过第三转杆进行转动，进而带动第三搅拌杆、搅拌块和搅拌板转动，对蒸镀物质再次进行均匀混合，且搅拌块和搅拌板均为倾斜搅拌且为不同的形状可产生不同大小和角度的旋涡，进一步提高了蒸镀物质的混合效果。

13、2、本发明基材成膜设备，其净化箱的内部间隔设置有一下部开设有第一通风槽的隔板、上部开设有第二通风槽的弧形板，位于隔板与弧形板之间设置有活性炭吸附层、细过滤网和粗过滤网，且活性炭吸附层、细过滤网和粗过滤网自上而下依次分布，通过设置有活性炭吸附层、细过滤网和粗过滤网，将升华和气化后的蒸镀物质通过粗过滤网、细过滤网和活性炭吸附层进行有效的过滤和吸附，提高了过滤效果，大大降低了蒸镀物质中的杂质含量，提升了蒸镀物质的质量。

1.一种基材成膜设备，包括：底板（1），其特征在于：在所述底板（1）的上方设置有一蒸镀箱（18），此蒸镀箱（18）的顶部固定安装有一内部具有蒸镀物质的气化罐（11），所述气化罐（11）与蒸镀箱（18）之间设置有一净化箱（14）、导气泵（17），所述净化箱（14）与气化罐（11）之间通过一第一导管（13）连通连接，所述净化箱（14）与导气泵（17）的进气端之间通过一第二导管（15）连通连接，所述导气泵（17）的出气端与所述蒸镀箱（18）之间通过一第三导管（16）连通连接，所述底板（1）的顶部外壁四角均设置有一支撑杆（4），且四个所述支撑杆（4）的外壁之间设置有一支撑板（3），所述蒸镀箱（18）固定安装在所述支撑板（3）的顶部；

2.根据权利要求1所述的基材成膜设备，其特征在于：位于所述活性炭吸附层（35）的上方设置有一通风框（46），此通风框（46）的内部填充有若干个火山石（47）。

3.根据权利要求1所述的基材成膜设备，其特征在于：所述净化箱（14）的外壁设置有一第三电机（32），且第三电机（32）的输出轴通过联轴器连接有所述第三转杆（40）。

4.根据权利要求1所述的基材成膜设备，其特征在于：所述气化罐（11）的一侧外壁设置有一内壁设置有第二电机（10）的电机架（9），此电机架（9）与固定杆（8）固定连接，所述第二电机（10）的输出端通过联轴器连接有所述第二转杆（24）。